烤胶机制造技术

本申请涉及一种烤胶机，包括工作台。工作台的顶面设有加热装置，工作台的内部设有安装腔体，安装腔体内设有控制器和空气压缩装置。加热装置和空气压缩装置均与控制器电连接。加热装置的加热板面上开设有吸附孔，吸附孔贯穿加热面板的板面设置，吸附孔与空气压缩装置连通。通过在加热装置的加热板面设置吸附孔和与之连通空气压缩装置，使吸附孔与放置在加热装置的加热面板上的待加热基片之间形成负压，进而使基片紧密贴合在加热装置的加热面板上，起到受热均匀效果。到受热均匀效果。到受热均匀效果。

Glue baking machine

【技术实现步骤摘要】
烤胶机


[0001]本申请涉及晶圆加工
，尤其涉及一种烤胶机。

技术介绍

[0002]目前，在光刻领域，需要对涂敷好胶的基片进行烘烤处理，实现基片膜层的固化。根据基片以及所涂胶液的类型，需要选择不同的烤胶工艺。有些基片上的胶需要与加热板直接接触进行烤胶。
[0003]但是，现有的烤胶机在直接接触基片进行烤胶时，不能使被加热材料与加热表面紧密贴合，使受热更加均匀。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请提出了一种烤胶机，通过在加热装置的加热板面设置吸附孔，将待加热基片吸附在加热板面上。
[0005]根据本申请的一方面，提供了一种烤胶机，包括；
[0006]工作台；
[0007]所述工作台的顶面设有加热装置，所述工作台的内部设有安装腔体，所述安装腔体内设有控制器和空气压缩装置；
[0008]所述加热装置和所述空气压缩装置均与所述控制器电连接；
[0009]所述加热装置的加热板面上开设有吸附孔，所述吸附孔贯穿所述加热面板的板面设置，所述吸附孔与所述空气压缩装置连通。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烤胶机，其特征在于，包括；工作台和罩体；所述工作台的顶面设有加热装置，所述工作台的内部设有安装腔体，所述安装腔体内设有控制器和空气压缩装置；所述加热装置和所述空气压缩装置均与所述控制器电连接；所述加热装置设有加热面板，所述加热面板上开设有吸附孔，所述吸附孔贯穿所述加热面板设置，所述吸附孔与所述空气压缩装置连通；所述罩体安装在所述工作台的顶部设置，所述罩体的开口一侧覆盖所述加热面板。2.根据权利要求1所述的烤胶机，其特征在于，所述罩体的一端与所述工作台铰接，所述罩体的另一端设有锁扣结构，用于锁定所述罩体和所述工作台。3.根据权利要求2所述的烤胶机，其特征在于，所述锁扣结构的开关设置在所述罩体的背离所述罩体与所述工作台铰接一端，所述锁扣结构的锁钩设置在所述罩体的朝向所述工作台一侧；所述工作台设有锁扣，所述锁扣与所述锁钩相匹配。4.根据权利要求2所述的烤胶机，其特征在于，所述罩还设有把手，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘敬河，
申请(专利权)人：深圳市博大精科技实业有限公司，
类型：新型
国别省市：