【技术实现步骤摘要】
,谐振电路,半导体集成电路,振荡器以及通信装置的制作方法
本专利技术涉及用半导体装置的制造工艺构成的螺线及使用它的谐振器、振荡器(例如电压控制振荡电路)以及通信装置(例如高频发送接收器)。
技术介绍
在例如卫星广播用的调谐器和有线电视用的调谐器中，采用电压控制振荡电路作为本地振荡源。电压控制振荡电路包括有可变电容元件的谐振电路或具有有源元件的负电阻电路部，根据供给可变电容元件的控制电压振荡规定的频率(谐振频率)信号。表示这种电压控制振荡电路的性能的指标之一，有相位噪声(在输出频率近旁发生的不要的能量)。相位噪声受到谐振电路Q值的影响。即，谐振电路的Q值越高，在信号与噪声之间越能增加电平差，越能使相位噪声降低。图18与图19示出用于谐振电路的多层配线型的现有例。图18是该从来的的顶视图，图19是图18所示的的A-A’剖视图。如图18和图19所示，121包括，半导体基板106及形成在该半导体基板106上的SiO2膜(未图示)，多个绝缘层108，直线形配线103，螺线形配线102，以及通孔115。多个绝缘层108通过SiO2膜层叠在半导体基板106上。螺线形配线102...
【技术保护点】
一种电感器，将线圈图案形成在层叠的多个绝缘层中的规定层上，其特征在于，线圈图案至少形成在２个绝缘层上，同时将各线圈图案之间进行电气连接。
【技术特征摘要】
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