薄膜体声波谐振器及其制备方法技术

本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，所述谐振器包括：带空腔的基底、压电薄膜堆叠结构和至少一个支撑连接件；所述压电薄膜堆叠结构设置在所述基底的空腔上，且所述压电薄膜堆叠结构通过所述至少一个支撑连接件与所述基底表面固定连接；本申请中的压电薄膜堆叠结构的第一电极层或/和第二电极层通过所述支撑连接件实现与基底的固定连接，减小了第一电极层或第二电极层的锚接面积，从而使在锚接处具有较大的弹性形变能力，有利于压电薄膜堆叠结构在空腔上方的自由振动，进而减少了anchor loss，提高了谐振器的滤波性能。提高了谐振器的滤波性能。提高了谐振器的滤波性能。

【技术实现步骤摘要】
薄膜体声波谐振器及其制备方法


[0001]本申请涉及通信滤波
，尤其是一种谐振式滤波
，具体涉及薄膜体声波谐振器及其制备方法。

技术介绍

[0002]随着无线通讯应用的发展，人们对于数据传输速度的要求越来越高。在移动通信领域，第一代通信技术是模拟技术，第二代通信技术实现了数字化语音通信，第三代通信技术以多媒体通信为特征，第四代通信技术将通信速率提高到1Gbps、时延减小到10ms，第五代通信技术是第四代通信技术之后的新一代移动通信技术，第五代通信技术拟解决人与人之外的人与物、物与物之间的沟通，实现“万物互联”的愿景。
[0003]数据率上升相对应的是频谱资源的高利用率以及通讯协议的复杂化。由于频谱有限，为了满足数据率的需求，必须充分利用频谱；同时为了满足数据率的需求，从第四代通信技术开始还使用了载波聚合技术，使得一台设备可以同时利用不同的载波频谱传输数据。另一方面，为了在有限的带宽内支持足够的数据传输率，通信协议变得越来越复杂，因此对射频系统的各种性能也提出了严格的需求。射频滤波器最主流的实现方式是声表面波滤波器和基于薄膜体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述谐振器包括：带空腔的基底、压电薄膜堆叠结构和至少一个支撑连接件；所述压电薄膜堆叠结构设置在所述基底的空腔上，且所述压电薄膜堆叠结构通过所述至少一个支撑连接件与所述基底表面固定连接。2.如权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述压电薄膜堆叠结构包括：第一电极层、压电材料层和第二电极层；所述压电材料层位于所述第一电极层和所述第二电极层之间，且所述第一电极层和所述第二电极层相对设置，所述第一电极层或/和所述第二电极层通过所述至少一个支撑连接件与所述基底表面固定连接。3.如权利要求2所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述至少一个支撑连接件设置在所述第一电极层或/和所述第二电极层与所述基底之间。4.如权利要求3任一项所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，每个支撑连接件的一端与所述基底固定连接，所述每个支撑连接件的另一端伸入所述空腔内与所述第一电极层或/和所述第二电极层连接。5.如权利要求2所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述至少一个支撑连接件与所述第一电极层或/和所述第二电极层一体成型。6.一种薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：提供一带空腔的基底，在所述基底上形成至少一个支撑连接件；在所述至少一个支撑连接件上制备压电薄膜堆叠结构，使所述压电薄膜堆叠结构通过所述至少一个支撑连...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛玉娇，张树民，
申请(专利权)人：杭州左蓝微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：