温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，所述谐振器包括：带空腔的基底、压电薄膜堆叠结构和至少一个支撑连接件；所述压电薄膜堆叠结构设置在所述基底的空腔上，且所述压电薄膜堆叠结构通过所述至少一个支撑连接件与所述基底表面固定连接；本申请中的压...
该专利属于杭州左蓝微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州左蓝微电子技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。