一种薄膜体声波谐振器及其制备方法技术

本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，所述方法包括：提供剥离基板，在所述剥离基板上制备带至少一个弹性连接结构的压电薄膜堆叠结构；提供一带空腔的基底；将所述压电薄膜堆叠结构置于所述基底的空腔中，并使所述压电薄膜堆叠的至少一个弹性连接结构与所述基底固定连接；剥离所述剥离基板，形成薄膜体声波谐振器；本申请解决了相关技术中的薄膜体声波谐振器在压电薄膜堆叠结构与基底在键合连接处发生断裂的问题，提高了谐振器在结构上的稳定性。上的稳定性。上的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜体声波谐振器及其制备方法


[0001]本申请涉及通信滤波
，尤其是一种谐振式滤波
，具体涉及薄膜体声波谐振器及其制备方法。

技术介绍

[0002]随着无线通讯应用的发展，人们对于数据传输速度的要求越来越高。在移动通信领域，第一代通信技术是模拟技术，第二代通信技术实现了数字化语音通信，第三代通信技术以多媒体通信为特征，第四代通信技术将通信速率提高到1Gbps、时延减小到10ms，第五代通信技术是第四代通信技术之后的新一代移动通信技术，第五代通信技术拟解决人与人之外的人与物、物与物之间的沟通，实现“万物互联”的愿景。
[0003]数据率上升相对应的是频谱资源的高利用率以及通讯协议的复杂化。由于频谱有限，为了满足数据率的需求，必须充分利用频谱；同时为了满足数据率的需求，从第四代通信技术开始还使用了载波聚合技术，使得一台设备可以同时利用不同的载波频谱传输数据。另一方面，为了在有限的带宽内支持足够的数据传输率，通信协议变得越来越复杂，因此对射频系统的各种性能也提出了严格的需求。射频滤波器最主流的实现方式是声表面波滤波器和基于薄本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：提供剥离基板，在所述剥离基板上制备带至少一个弹性连接结构的压电薄膜堆叠结构；提供一带空腔的基底；将所述压电薄膜堆叠结构置于所述基底的空腔中，并使所述压电薄膜堆叠的至少一个弹性连接结构与所述基底固定连接；剥离所述剥离基板，形成薄膜体声波谐振器。2.如权利要求1所述的薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，提供剥离基板，在所述剥离基板上制备带至少一个弹性连接结构的压电薄膜堆叠结构，包括：提供所述剥离基板，在所述剥离基板上涂布光刻层；对所述光刻层进行蚀刻，使在所述剥离基板上的预设区域形成若干个光刻凸起；在带有所述若干个光刻凸起的剥离基板上依次沉积第一电极层、压电层和第二电极层，使在所述若干个光刻凸起上形成至少一个弹性连接结构，得到所述带至少一个弹性连接结构的压电薄膜堆叠结构。3.如权利要求2所述的薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，剥离所述剥离基板之后，所述方法还包括：对所述压电薄膜堆叠结构中若干个光刻凸起进行蚀刻，得到所述薄膜体声波谐振器。4.如权利要求1所述的薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，提供带空腔的基底，包括：提供二氧化硅层，所述二氧化硅层具有相对设置的第一面和第二面；在所述二氧化硅层的第一面沉积第一绝缘层，在所述二氧化硅层的第二面沉积第二绝缘层；按照预设尺寸对所述第二绝缘层进行蚀刻，使在所述第二绝缘层中形成空腔；在带有所述空腔的第二绝缘层表面沉积金属层，得到所述带空腔的基底。5.如权利要求1
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4任一项所述的薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，提供剥离基板，在所述剥离基板上制备带至少一个弹性连接结构的压电薄膜堆叠结构，包括：提供所述剥离基板，在所述剥离基板上沉积缓冲层；在所述缓冲层上制备所述带至少一个弹性连接结构的压电薄膜堆叠结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛玉娇，张树民，
申请(专利权)人：杭州左蓝微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：