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本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法,所述方法包括:提供剥离基板,在所述剥离基板上制备带至少一个弹性连接结构的压电薄膜堆叠结构;提供一带空腔的基底;将所述压电薄膜堆叠结构置于所述基底的空腔中,并使所述压电薄膜堆叠的至少一个弹性连接结构...该专利属于杭州左蓝微电子技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州左蓝微电子技术有限公司授权不得商用。
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本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法,所述方法包括:提供剥离基板,在所述剥离基板上制备带至少一个弹性连接结构的压电薄膜堆叠结构;提供一带空腔的基底;将所述压电薄膜堆叠结构置于所述基底的空腔中,并使所述压电薄膜堆叠的至少一个弹性连接结构...