本实用新型专利技术公开了一种石英管转运装置，其可以水平放置或垂直放置石英管，使得在生产过程中取放石英管方便、在石英管使用后方便运输且可保证石英管完好，其技术方案：一种石英管转运装置，包括可移动的机架，所述机架上设有放置座，还包括一固定板，所述固定板上设有用于与外设石英管配合的固定孔；所述放置座的一侧设有放置凹槽，所述放置凹槽的深度小于外设石英管的长度；所述固定板可横向或竖向插入到放置凹槽中且以可拆卸的方式布置；所述固定板竖直放置时，外设石英管水平布置且其一端从放置凹槽的开放侧伸出，属于半导体晶体生产技术领域。领域。领域。
【技术实现步骤摘要】
一种石英管转运装置
[0001]本技术属于半导体晶体生产
，更具体而言，涉及一种石英管转运装置。
技术介绍
[0002]VGF/VB法是一种定向凝固单晶生长技术，长晶过程必然发生液
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固相变，而要生长出优质的砷化镓单晶体，则需要抑制相变过程中异质形核的发生，从而避免枝蔓晶、孪晶等缺陷的产生，最终达到成品率提升的目的。
[0003]在砷化镓单晶生产过程中，石英管是必不可少的辅助用具，其贯穿整个生产过程，如，如：备料过程中将石英管处理完毕后转移到装料处；将装好料的PBN坩埚及石英管转移到密封处；单晶在单晶炉中生长完毕后，需要将装有PBN坩埚及晶体的石英管从单晶炉中取出，冷却至一定温度，再转移至进行下一步操作；在上述的过程中，石英管需要水平放置，以保证运输工作的正常进行；
[0004]现有技术中，石英管的转运装置，其是水平承托石英管进行转运的，如技术专利公开号CN205311670U公开的一种石英管周转手推车，其是通过相邻两个支撑杆承托石英管并使其水平放置。
[0005]而在石英管使用完毕后，需要对其进行清洗、晾干等操作，以便于下一次使用；此时，无需限定石英管要水平布置。
[0006]上述方案中，其是将石英管全部放入到手推车内的，在生产过程中取出极为不方便；所以为了方便石英管的取出，石英管的一部分可以突出到转运装置外，但是，此种情况存在的缺陷在于，石英管以水平状态进行运输时，突出的部分容易触碰到外设阻碍物，如墙壁、其它设备等，而触碰到外设障碍物容易使得石英管破裂，无法安全运输石英管，使其保持完整，所以，不能完全将石英管包裹在内的转运装置，若其只能水平承托石英管，则容易使石英管触碰到外设阻碍物而出现石英管破裂的情况，不利于石英管的运输。
技术实现思路
[0007]本技术的主要目的在于提供一种石英管转运装置，其可以水平放置或垂直放置石英管，使得在生产过程中取放石英管方便、在石英管使用后方便运输且可保证石英管完好。
[0008]根据本技术的第一方面，提供了一种石英管转运装置，包括可移动的机架，所述机架上设有放置座，还包括一固定板，所述固定板上设有用于与外设石英管配合的固定孔；所述放置座的一侧设有放置凹槽，所述放置凹槽的深度小于外设石英管的长度；所述固定板可横向或竖向插入到放置凹槽中且以可拆卸的方式布置；所述固定板竖直放置时，外设石英管水平布置且其一端从放置凹槽的开放侧伸出。
[0009]本技术一个特定的实施例中，所述放置凹槽的供水平布置的外设石英管伸出的一侧为第一开放侧；所述放置座的顶部为与所述放置凹槽导通的开放部，所述开放部使
所述放置凹槽形成第二开放侧；所述固定板从所述放置座的顶部竖直插入到放置凹槽内。
[0010]本技术一个特定的实施例中，所述放置凹槽内设有竖直布置的第一限位槽，所述第一限位槽为对称布置的2个，其分别布置在所述放置凹槽相对的两侧，所述第一限位槽的一端为延伸至所述放置座顶部的开放端；所述固定板从所述第一限位槽的开放端插入。
[0011]本技术一个特定的实施例中，所述固定板与所述第一限位槽配合的侧边设有用于增加紧固力的弹性伸缩件。
[0012]本技术一个特定的实施例中，所述弹性伸缩件包括固定设置在固定板上的座体，所述座体内设有一弹簧、伸缩体，所述伸缩体的一端延伸至座体外，所述伸缩体与所述弹簧配合实现可伸缩。
[0013]本技术一个特定的实施例中，所述放置凹槽内还设有用于支撑所述固定板横向布置的支撑结构；固定板横向布置时，外设石英管的一端从所述放置座的顶部伸出。
[0014]本技术一个特定的实施例中，所述支撑结构包括水平布置的第二限位槽，所述第二限位槽为对称布置的2个，其分别布置在所述放置凹槽相对的两侧，所述第二限位槽的一端为延伸至所述放置凹槽的第一开放侧的开放端，所述固定板从第二限位槽的开放端处插入；
[0015]所述固定板设有弹性伸缩件的侧边与所述第二限位槽配合。
[0016]本技术一个特定的实施例中，所述第二限位槽上设有与所述弹性伸缩件配合的限位凹部；
[0017]当固定板插入第二限位槽内时，弹性伸缩件延伸至所述限位凹部内使所述固定板卡紧。
[0018]本技术一个特定的实施例中，所述机架上设有一用于驱动所述放置座升降的第一升降机构，所述第一升降机构通过一控制装置驱动工作。
[0019]本技术一个特定的实施例中，所述第一升降机构的动力输出端上还设有一用于微调所述放置座的高度的第二升降机构，所述放置座设置在所述第二升降机构的动力输出端上，所述第二升降机构通过所述控制装置驱动工作。
[0020]本技术上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：
[0021]在晶体生产的过程中，石英管装载有晶体生产的原料，在生产时石英管需要转移到不同的工序，此时，将固定板竖向插入到放置凹槽内，通过固定孔使得石英管水平布置，避免原料泄露，同时石英管的一端从所述放置凹槽的开放侧伸出，便于石英管的取放；当石英管使用完毕后，转换固定板的插入状态，使其从竖向插入状态转为横向插入状态，从而使得插入到固定孔中的石英管竖直布置，避免了石英管从放置凹槽的开放侧伸出，从而避免在转运的过程中出现碰坏石英管的现象，以保证石英管的完好；石英管竖直布置也便于清洗后的沥干。
附图说明
[0022]下面结合附图和实施例对本技术进一步地说明；
[0023]图1是本技术的实施例1的固定板竖直布置时的结构图；
[0024]图2是本技术的实施例1的固定板横向布置时的结构图；
[0025]图3是本技术的实施例1的放置座的结构图；
[0026]图4是本技术的实施例1的固定板的结构图。
具体实施方式
[0027]下面详细描述本技术的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0028]实施例1
[0029]参照图1至图4所示，一种石英管转运装置，包括可移动的机架1，所述机架1上设有放置座2，还包括一固定板3，所述固定板3上设有用于与外设石英管配合的固定孔A；所述放置座2的一侧设有放置凹槽21，所述放置凹槽21的深度小于外设石英管的长度；所述固定板3可横向或竖向插入到放置凹槽21中且以可拆卸的方式布置；所述固定板3竖直放置时，外设石英管水平布置且其一端从放置凹槽21的开放侧伸出。
[0030]在晶体生产的过程中，石英管装载有晶体生产的原料，在生产时石英管需要转移到不同的工序，此时，将固定板3竖向插入到放置凹槽21内，通过固定孔A使得石英管水平布置，避免原料泄露，同时石英管的一端从所述放置凹槽21的开放侧伸出，便于石英管的取放；当石英管使用完毕后，转换固定板3的插入状态，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英管转运装置，包括可移动的机架(1)，所述机架(1)上设有放置座(2)，其特征在于，还包括一固定板(3)，所述固定板(3)上设有用于与外设石英管配合的固定孔(A)；所述放置座(2)的一侧设有放置凹槽(21)，所述放置凹槽(21)的深度小于外设石英管的长度；所述固定板(3)可横向或竖向插入到放置凹槽(21)中且以可拆卸的方式布置；所述固定板(3)竖直放置时，外设石英管水平布置且其一端从放置凹槽(21)的开放侧伸出。2.根据权利要求1所述的石英管转运装置，其特征在于，所述放置凹槽(21)的供水平布置的外设石英管伸出的一侧为第一开放侧；所述放置座(2)的顶部为与所述放置凹槽(21)导通的开放部，所述开放部使所述放置凹槽(21)形成第二开放侧；所述固定板(3)从所述放置座(2)的顶部竖直插入到放置凹槽(21)内。3.根据权利要求2所述的石英管转运装置，其特征在于，所述放置凹槽(21)内设有竖直布置的第一限位槽(B)，所述第一限位槽(B)为对称布置的2个，其分别布置在所述放置凹槽(21)相对的两侧，所述第一限位槽(B)的一端为延伸至所述放置座(2)顶部的开放端；所述固定板(3)从所述第一限位槽(B)的开放端插入。4.根据权利要求3所述的石英管转运装置，其特征在于，所述固定板(3)与所述第一限位槽(B)配合的侧边设有用于增加紧固力的弹性伸缩件(C)。5.根据权利要求4所述的石英管转运装置，其特征在于，所述弹性伸缩件(C)包括固定设置在固定板(3)上的座体，所述座体内设有一弹簧、伸缩体，所述伸...
【专利技术属性】
技术研发人员：樊礼艳，易明辉，刘建忠，周铁军，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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