一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩，包括挂钩本体；挂钩本体包括连接件，连接件的一端用于固定在蒸镀机机台内侧的观察窗正上方；连接件的底部沿水平方向延伸有上挡板；上挡板上远离连接件的一端向下延伸有侧板；侧板底部沿靠近连接件的水平方向延伸有下挡板；挂钩本体用于通过上挡板、侧板与下挡板所形成的横向凹槽钩住观察窗的上侧边缘。本实用新型专利技术将挂钩本体通过连接件固定在观察窗上方，并由上挡板、侧板和下挡板形成的横向挂钩状钩住观察窗的上侧边缘，抵挡蒸镀机机台在开关门的惯性力作用下观察窗会受到朝机台腔体中部滑出的横向力，在不影响观察窗反射效果的同时，有效防止观察窗脱落。有效防止观察窗脱落。有效防止观察窗脱落。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩


[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备是一种在真空环境下进行镀膜的设备，主要有蒸发和溅射两大类，包括了电子枪加热蒸镀、电阻加热法、磁控溅射、离子束溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等等。蒸发镀膜主要是加热靶材表面使材料以原子或者离子形式蒸发出来，并沉降在基板表面上；溅射镀膜主要是电子或高能粒子轰击靶材表面，使得表面的材料以原子或者离子的形式溅射出来，并且沉积在基板表面。金属蒸镀机在蒸镀过程中可以通过设备正面的观察窗来观察内部镀源表面光斑位置，判断电子束是否在中心位置。
[0003]目前使用的金属蒸镀机设备中的观察窗是直接放入机台正面圆形窗口的，而观察窗结构通常由两片玻璃反射镜和一个支架组成，观察窗与机台没有固定装置，只是靠支架本身的金属弹性来支撑，长期开关门这个动作会使得观察窗在惯性作用下滑出脱落，制程过程中脱落更是会污染镀源，从而影响片源质量。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是：提供一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩，有效防止观察窗脱落。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：
[0006]一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩，包括挂钩本体；
[0007]所述挂钩本体包括连接件，所述连接件的一端用于固定在蒸镀机机台内侧的观察窗正上方；
[0008]所述连接件的底部沿水平方向延伸有上挡板；
[0009]所述上挡板上远离所述连接件的一端向下延伸有侧板；
[0010]所述侧板底部沿靠近所述连接件的水平方向延伸有下挡板；
[0011]所述挂钩本体用于通过所述上挡板、所述侧板与所述下挡板所形成的横向凹槽钩住所述观察窗的上侧边缘。
[0012]进一步地，所述连接件为一竖直的直板；
[0013]所述直板的底部沿朝向所述观察窗的方向水平延伸出所述上挡板。
[0014]进一步地，所述上挡板与所述下挡板的上下间距与所述观察窗的厚度相适应。
[0015]进一步地，所述上挡板和所述下挡板均呈中部拱起的弧状结构，所述弧状结构的弧度与所述观察窗的上侧边缘被所述横向凹槽钩住的部分的弧度相适应。
[0016]进一步地，所述下挡板沿靠近所述观察窗的水平方向延伸的长度大于所述上挡板沿远离所述观察窗的水平方向延伸的长度；
[0017]所述下挡板沿靠近所述观察窗的水平方向延伸的长度小于所述观察窗在轴向上的长度。
[0018]进一步地，所述连接件与所述上挡板的连接端的折弯半径、上挡板与侧板的连接端的折弯半径、侧板与下挡板的连接端的折弯半径均为1mm。
[0019]进一步地，所述连接件的顶部边缘角和所述下挡板在水平方向上远离所述侧板的一端的边缘角均为半径5mm的弧度角。
[0020]进一步地，所述连接件远离所述上挡板的一端开设有水滴状通孔；
[0021]所述连接件通过所述水滴状通孔与钉子卡接固定的方式固定在所述观察窗正上方。
[0022]进一步地，所述水滴状通孔的顶部圆形直径小于所述钉子的钉帽直径；
[0023]所述水滴状通孔的底部圆形直径大于所述钉子的钉帽直径；
[0024]所述水滴状通孔的顶部高度与所述钉子的高度相适应。
[0025]进一步地，述连接件、所述上挡板、所述侧板和所述下挡板的厚度均为1～2mm。
[0026]本技术的有益效果在于：本技术提供一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩，将挂钩本体通过连接件固定在观察窗上方，并由上挡板、侧板和下挡板形成的横向挂钩状钩住观察窗的上侧边缘，抵挡蒸镀机机台在开关门的惯性力作用下观察窗会受到朝机台腔体中部滑出的横向力，在不影响观察窗反射效果的同时，有效防止观察窗脱落。
附图说明
[0027]图1为本技术实施例的一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩的侧视图；
[0028]图2为本技术实施例的一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩的主视图；
[0029]图3为本技术实施例的一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩的俯视图；
[0030]图4为本技术实施例的一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩的安装示意图。
[0031]标号说明：
[0032]1、挂钩本体；11、连接件；12、上挡板；13、侧板；14、下挡板；15、水滴状通孔；2、观察窗。
具体实施方式
[0033]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0034]请参照图1至图4，一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩，包括挂钩本体；
[0035]所述挂钩本体包括连接件，所述连接件的一端用于固定在蒸镀机机台内侧的观察窗正上方；
[0036]所述连接件的底部沿水平方向延伸有上挡板；
[0037]所述上挡板上远离所述连接件的一端向下延伸有侧板；
[0038]所述侧板底部沿靠近所述连接件的水平方向延伸有下挡板；
[0039]所述挂钩本体用于通过所述上挡板、所述侧板与所述下挡板所形成的横向凹槽钩住所述观察窗的上侧边缘。
[0040]由上述描述可知，本技术的有益效果在于：将挂钩本体通过连接件固定在观察窗上方，并由上挡板、侧板和下挡板形成的横向挂钩状钩住观察窗的上侧边缘，抵挡蒸镀机机台在开关门的惯性力作用下观察窗会受到朝机台腔体中部滑出的横向力，在不影响观
察窗反射效果的同时，有效防止观察窗脱落。
[0041]进一步地，所述连接件为一竖直的直板；
[0042]所述直板的底部沿朝向所述观察窗的方向水平延伸出所述上挡板。
[0043]由上述描述可知，连接件为直板状，有效加强整体挂钩的强度，使观察窗的固定更加稳定。
[0044]进一步地，所述上挡板与所述下挡板的上下间距与所述观察窗的厚度相适应。
[0045]由上述描述可知，进一步实现观察窗上侧边缘在上下挡板之间的稳定限位，防止观察窗上下晃动。
[0046]进一步地，所述上挡板和所述下挡板均呈中部拱起的弧状结构，所述弧状结构的弧度与所述观察窗的上侧边缘被所述横向凹槽钩住的部分的弧度相适应。
[0047]由上述描述可知，上挡板和下挡板的弧度与观察窗位于上下挡板之间的边缘部分的弧度相适应，更进一步避免机台在开关门过程中，观察窗在上下挡板之间发生上下晃动。
[0048]进一步地，所述下挡板沿靠近所述观察窗的水平方向延伸的长度大于所述上挡板沿远离所述观察窗的水平方向延伸的长度；
[0049]所述下挡板沿靠近所述观察窗的水平方向延伸的长度小于所述观察窗在轴向上的长度。
[0050]由上述描述可知，下挡板的宽度大于上挡板的宽度，使得观察窗位于上下挡板之间被固定的同时，观察窗下方与下挡板接触的一面面积更大，进一步达到更好的固定效果。
[0051]进一步地，所述连接件与所述上挡板的连接端的折弯半径、上挡板与侧板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩，其特征在于，包括挂钩本体；所述挂钩本体包括连接件，所述连接件的一端用于固定在蒸镀机机台内侧的观察窗正上方；所述连接件的底部沿水平方向延伸有上挡板；所述上挡板上远离所述连接件的一端向下延伸有侧板；所述侧板底部沿靠近所述连接件的水平方向延伸有下挡板；所述挂钩本体用于通过所述上挡板、所述侧板与所述下挡板所形成的横向凹槽钩住所述观察窗的上侧边缘。2.根据权利要求1所述的一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩，其特征在于，所述连接件为一竖直的直板；所述直板的底部沿朝向所述观察窗的方向水平延伸出所述上挡板。3.根据权利要求1所述的一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩，其特征在于，所述上挡板与所述下挡板的上下间距与所述观察窗的厚度相适应。4.根据权利要求3所述的一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩，其特征在于，所述上挡板和所述下挡板均呈中部拱起的弧状结构，所述弧状结构的弧度与所述观察窗的上侧边缘被所述横向凹槽钩住的部分的弧度相适应。5.根据权利要求1所述的一种蒸镀机观察窗的支撑挂钩，其特征在于，所述下挡板沿靠近所述观察窗的水平方向延伸的长度大于所述上挡板沿远离所述观察窗的水平...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘莹，林亮，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：