本实用新型专利技术公开了三氯化镓制粒包装装置，包括：反应器、制粒软管、压力平衡器、惰性气体单元、真空单元和产品包装瓶，制粒软管可拆卸地设于所述压力平衡器内，反应器通过导流管与制粒软管连通，真空单元通过抽真空管道分别与制粒软管、压力平衡器连通，惰性气体单元通过惰性气体管道分别与压力平衡器、制粒软管连通，制粒软管包括软管本体，软管本体的一端开口设有用于密封软管本体的转接接头，转接接头可与导流接头、堵头或产品包装瓶瓶口密封连接，导流接头与导流管、抽真空管道密封连接。该装置成本低、操作简单便捷，使用安全环保、产能大效率高，运行平稳可靠，易于批量化生产，且制备的产品纯度高而稳定。备的产品纯度高而稳定。备的产品纯度高而稳定。
【技术实现步骤摘要】
一种三氯化镓制粒包装装置
[0001]本技术属于精细化工生产领域，尤其涉及一种三氯化镓制粒包装装置。
技术介绍
[0002]无水三氯化镓分子式为GaCl3，密度为2.47g/cm3（25℃），熔点为78℃，沸点为201.3℃。三氯化镓为白色或无色针状结晶，在空气中易吸湿潮解，其操作及保存需在无水无氧条件下进行。三氯化镓具有强烈的腐蚀性，对大多数的有机高分子材料、金属材料有腐蚀作用，其生产制备、制粒、包装保存都需使用抗腐蚀的材料。
[0003]现有的三氯化镓制粒包装方法报道较少，主要是：将三氯化镓装入带细管的烧瓶中，加热烧瓶至85℃以上使三氯化镓熔融，通过细管把烧瓶内三氯化镓滴入到液氮中冷却成固体颗粒，在干燥的气氛中除去液氮，可以得到粒状三氯化镓。
[0004]上述三氯化镓制粒包装方法，需将三氯化镓装入到烧瓶中加热熔融，再通过细管把烧瓶内三氯化镓滴入到液氮中冷却成固体颗粒，操作繁琐，产能低下，滴加三氯化镓的细管在液氮上方，极易被冷却而堵塞管道，生产不稳定，不能适用于大规模生产。
技术实现思路
[0005]针对现有技术中存在的上述问题，本技术的目的在于，提供一种构成部件简单、成本低、操作简单便捷、操作安全环保、产能大效率高、运行平稳可靠的三氯化镓制粒包装装置。
[0006]为了达到上述目的，本技术采用了以下技术方案：
[0007]一种三氯化镓的制粒包装装置，包括：
[0008]反应器、制粒软管、压力平衡器、惰性气体单元、真空单元和产品包装瓶，所述制粒软管可拆卸地设于所述压力平衡器内，所述反应器通过导流管与制粒软管连通，所述真空单元通过抽真空管道分别与制粒软管、压力平衡器连通，所述惰性气体单元通过惰性气体管道分别与压力平衡器、制粒软管连通；所述制粒软管包括软管本体，所述软管本体的一端开口设有与软管本体开口密封适配的转接接头，所述转接接头；可与导流接头、堵头；或产品包装瓶的瓶口密封连接；所述导流接头与导流管、以及与和制粒软管连通的抽真空管道可拆卸密封连接。
[0009]作为优选，所述惰性气体单元包括惰性气体缓冲罐，所述惰性气体缓冲罐分别通过管道与惰性气体源、压力平衡器、制粒软管连接；
[0010]所述真空单元包括真空缓冲罐和真空泵，所述真空缓冲罐分别通过抽真空管道与真空泵、压力平衡器、制粒软管连接。
[0011]作为优选，所述惰性气体缓冲罐通过管道与真空缓冲罐连接，且该管道上设有开关阀。
[0012]作为优选，所述抽真空管道包括抽真空主管道和抽真空支管道，所述惰性气体缓冲罐的出口与抽真空主管道连通，所述抽真空主管道通过一抽真空支管道与压力平衡器
（2）连通，通过另一抽真空支管道与导流管连通。
[0013]作为优选，所述压力平衡器包括压力平衡器本体及可拆卸盖帽，所述压力平衡器本体一端开口且用可拆卸盖帽密封；所述可拆卸盖帽上设有用于容纳所述导流管、所述和制粒软管连通的抽真空管道通过的通孔。
[0014]作为优选，所述压力平衡器本体的侧壁上设有两开口，所述两开口分别与所述抽真空管道和惰性气体管道连通。
[0015]作为优选，可拆卸盖帽包括盖帽本体、密封卡扣和O型密封圈，所述密封卡扣设于所述盖帽本体的外周面，用于实现盖帽本体与压力平衡器本体的卡扣连接，所述O型密封圈设于所述盖帽本体的内部，用于实现盖帽本体与压力平衡器本体的密封；
[0016]所述压力平衡器本体为有机玻璃管。
[0017]作为优选，所述软管本体的另一端开口，且开口用堵头密封。
[0018]作为优选，所述制粒软管的材质为PFA或FEP；所述制粒软管为圆柱型，直径为10～100mm，高度为200～2000mm。
[0019]作为优选，所述导流接头、转接接头、堵头的材料为聚四氟乙烯。
[0020]与现有技术相比，本技术有以下优点：
[0021]本技术的装置可实现直接从三氯化镓反应器中转出三氯化镓，无需增加中转的储罐或容器，操作流程短，通过负压将三氯化镓导入制粒软管，可减少正压操作所产生泄露风险（三氯化镓反应器一般都是硼硅玻璃材质或石英材质的，正压下容易破裂发生泄漏事故），且该装置可以确保软管内外压力平衡，通过将充入氮气（或其他惰性气体），使制粒软管及压力平衡器压力为常压，形成的惰性氛围可避免三氯化镓产品吸潮，后续造粒可以避免外力敲击损坏而产生泄露风险，使制粒过程简单方便，整个过程安全环保、产能大效率高，运行平稳可靠，安全风险低；且该装置中，制粒软管可实现内外压力平衡，避免制粒软管因管外压力高于管内压力而变形，通过配有定制的四氟转接头及可拆卸四氟堵头，可与包装瓶密封对接，使三氯化镓颗粒产品快速装进包装瓶中，操作简单方便；可以通过选择不同管径的制粒软管和压管器，轻易控制三氯化镓产品颗粒度，方法简单可靠；装置可避免引入杂质，制作的三氯化镓颗粒产品纯度能达到5N，产品质量稳定可靠。
附图说明
[0022]图1为本技术的三氯化镓的制粒包装装置的结构示意图。
[0023]附图标记：
[0024]1、反应器；2、压力平衡器；21、可拆卸盖帽；211、密封卡扣；212、O型密封圈；3、制粒软管；31、导流接头；32、转接接头；33、堵头；4、惰性气体缓冲罐；5、真空缓冲罐；6、真空泵；7、产品包装瓶；71、GL45螺纹瓶盖；8、球阀；9、密封接头。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例
[0027]一种三氯化镓的制粒包装装置，其结构示意图如图1所示，包括：
[0028]反应器1、制粒软管3、压力平衡器2、惰性气体单元、真空单元和产品包装瓶7，所述制粒软管3可拆卸地设于所述压力平衡器2内，所述反应器1通过导流管与制粒软管3密封连通，所述真空单元通过抽真空管道分别与制粒软管3、压力平衡器2密封连通，所述惰性气体单元通过惰性气体管道分别与压力平衡器2、制粒软管3密封连通；所述制粒软管3包括软管本体31，所述软管本体一端开口设有堵头33，另一端开口设有与软管本体开口密封适配的转接接头32，所述转接接头32可与导流接头31、堵头33或产品包装瓶7的瓶口密封连接；所述导流接头31与导流管、以及与和制粒软管3连通的抽真空管道密封连接。所述导流接头31、转接接头32、堵头33的材质均为聚四氟乙烯。
[0029]当将三氯化镓溶液从反应器1中导入制粒软管3时，制粒软管3的开口设有转接接头32，转接接头32的开口用导流接头31密封，导流接头31分别与导流管和抽真空管进行可拆卸的密封连接，具体地，导流接头31上开设有通孔用于导流管和抽真空管的通过，通孔采用密封接头9密封；待三氯化镓溶液导入完成后，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种三氯化镓制粒包装装置，其特征在于，包括：反应器（1）、制粒软管（3）、压力平衡器（2）、惰性气体单元、真空单元和产品包装瓶（7），所述制粒软管（3）可拆卸地设于所述压力平衡器（2）内，所述反应器（1）通过导流管与制粒软管（3）连通，所述真空单元通过抽真空管道分别与制粒软管（3）、压力平衡器（2）连通，所述惰性气体单元通过惰性气体管道分别与压力平衡器（2）、制粒软管（3）连通；所述制粒软管（3）包括软管本体，所述软管本体的一端开口设有与软管本体开口密封适配的转接接头（32），所述转接接头（32）可与导流接头（31）、堵头（33）或产品包装瓶（7）的瓶口密封连接；所述导流接头（31）与导流管、以及与和制粒软管（3）连通的抽真空管道密封连接。2.如权利要求1所述的三氯化镓制粒包装装置，其特征在于，所述惰性气体单元包括惰性气体缓冲罐（4），所述惰性气体缓冲罐（4）分别通过惰性气体管道与惰性气体源、压力平衡器（2）、制粒软管（3）连接；所述真空单元包括真空缓冲罐（5）和真空泵（6），所述真空缓冲罐（5）分别通过抽真空管道与真空泵（6）、压力平衡器（2）、制粒软管（3）连接。3.如权利要求2所述的三氯化镓制粒包装装置，其特征在于，所述惰性气体缓冲罐（4）通过管道与真空缓冲罐（5）连接，且该管道上设有开关阀。4.如权利要求2所述的三氯化镓制粒包装装置，其特征在于，所述惰性气体管道包括惰性气体主管道和惰性气体支管道，所述惰性气体缓冲罐（4）的出口与惰性气体主管道连...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘华胜，徐成，胡郑周，周声万，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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