【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机腔体清洗装置
[0001]本技术涉及设备清洗
，具体为一种真空镀膜机腔体清洗装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延和PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。
[0003]真空镀膜机在长时间将使用后，需要对其腔体内胆进行清洗，目前多为直接清洗，对于腔体内的清洗效果较差，为实际使用带来不便，为此，我们提出一种真空镀膜机腔体清洗装置。
技术实现思路
[0004]鉴于现有技术存在的上述问题，本技术提供了一种真空镀膜机腔体清洗装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供的一种真空镀膜机腔体清洗装置，包括底座、腔体和清洗组件，所述腔体放置于底座的顶部，所述腔体的内部设置有旋转挂架，所述清洗组件设置在腔体的顶端开口处，且对腔体的内部进行清洗，所述清洗组件包括盖板、电机、水管、转动轴、支杆、固定块、清洁刷板、喷...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机腔体清洗装置，包括底座（1）、腔体（2）和清洗组件，所述腔体（2）放置于底座（1）的顶部，所述腔体（2）的内部设置有旋转挂架，所述清洗组件设置在腔体（2）的顶端开口处，且对腔体（2）的内部进行清洗，其特征在于，所述清洗组件包括盖板（3）、电机（4）、水管（5）、转动轴（6）、支杆（7）、固定块（8）、清洁刷板（9）、喷头（10），所述盖板（3）压盖设置在腔体（2）的顶端开口处，所述电机（4）和水管（5）安装在盖板（3）上表面的中部，所述电机（4）的输出轴延伸至盖板（3）的下方且通过联轴器与转动轴（6）固定连接，所述转动轴（6）的另一端向下延伸至腔体（2）的内部且与支杆（7）固定连接，所述支杆（7）的另一端通过螺栓安装固定块（8），所述固定块（8）的另一侧安装有清洁刷板（9），所述清洁刷板（9）的刷毛与腔体（2）的内壁相触碰，所述盖板（3）的下表面安装有位于支杆（7）上方的喷头（10），所述喷头（10）的顶端与水管（5）的内部相连通。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体清洗装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾晓雷，姜沁雨，
申请(专利权)人：玛奇纳米科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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