本实用新型专利技术涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种真空镀膜机的冷凝回收装置，包括冷凝箱、冷凝板和密封板；所述冷凝箱的顶端设有进气口，且冷凝箱的底端设有排液口；所述冷凝板包括矩形边框、导热片和冷却管，所述导热片设有多组且安装在矩形边框的内侧，所述冷却管镶嵌在导热片上，且导热片的两端分别从矩形边框的上下两端导出。该真空镀膜机的冷凝回收装置，通过进水口向冷凝箱中注入冷却水，使冷却水注满两个密封板之间的空间，对冷凝板进行降温，如此镀膜材料的气体从进气口导入，并经过密封板导向冷却管中，镀膜材料的气体在冷却管中冷凝，并沿着冷却管充分其内壁接触。并沿着冷却管充分其内壁接触。并沿着冷却管充分其内壁接触。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的冷凝回收装置
[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种真空镀膜机的冷凝回收装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]目前在镀膜工艺中，真空镀膜多余的镀膜材料会被真空泵抽离而排走，若不对多余的镀膜材料进行回收，不但会造成资源的浪费，还会污染环境，因此，目前在真空镀膜机中主要通过冷凝回收装置回收镀膜材料。然而，现有的真空镀膜机冷凝回收效率低。
[0004]现有公开号为CN205603661U的技术提出了一种真空镀膜机的冷凝回收装置，提高了冷凝回收效率，且连接强度高、密封性能好，但气体中的镀膜材料与冷凝管接触时间低，难以将气体中的镀膜材料快速冷凝，因此造成了浪费，且回收效率依旧不高，为此我们提出了一种真空镀膜机的冷凝回收装置。
技术实现思路
[0005]针对现有技术存在的上述不足，本技术提供了一种真空镀膜机的冷凝回收装置。
[0006]本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜机的冷凝回收装置，包括冷凝箱、冷凝板和密封板；
[0007]所述冷凝箱的顶端设有进气口，且冷凝箱的底端设有排液口；
[0008]所述冷凝板包括矩形边框、导热片和冷却管，所述导热片设有多组且安装在矩形边框的内侧，所述冷却管镶嵌在导热片上，且导热片的两端分别从矩形边框的上下两端导出；
[0009]所述冷凝板设有多块且排布在两个密封板之间，且冷却管的两端分别与密封板导通，所述密封板安装在冷凝箱的内部，所述冷凝箱上安装有位于两个密封板之间的进水口和排水口，所述冷凝箱上安装有位于底端密封板下方的排气口。
[0010]优选的，所述排水口的位置高于进水口的位置，且进水口和排水口分别安装在靠近两个密封板处的冷凝箱上。
[0011]优选的，所述冷却管为多组冷却直管和弯管连接而成的弓形管道，且两组冷却直管通过弯管连通。
[0012]优选的，所述进水口向冷凝箱注入蒸馏水。
[0013]与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：
[0014]该真空镀膜机的冷凝回收装置，通过进水口向冷凝箱中注入冷却水，使冷却水注满两个密封板之间的空间，对冷凝板进行降温，如此镀膜材料的气体从进气口导入，并经过密封板导向冷却管中，镀膜材料的气体在冷却管中冷凝，并沿着冷却管充分其内壁接触，而
弓形的冷却管保证了镀膜材料充分与冷却管接触，可将气体中的绝大部分镀膜材料冷凝，如此冷却形成的水滴顺着冷却管滴落，其回收效率更高。
附图说明
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图2为本技术冷凝板的结构示意图。
[0017]图中：1、冷凝箱；2、冷凝板；21、矩形边框；22、导热片；23、冷却管；3、密封板；4、进气口；5、排液口；6、进水口；7、排水口；8、排气口。
具体实施方式
[0018]为了使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明，本公开省略了已知功能和已知部件的详细说明，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0019]请参阅图1
‑
2，一种真空镀膜机的冷凝回收装置，包括冷凝箱1、冷凝板2和密封板3，所述冷凝箱1的顶端设有进气口4，且冷凝箱1的底端设有排液口5；
[0020]所述冷凝板2包括矩形边框21、导热片22和冷却管23，所述导热片22设有多组且安装在矩形边框21的内侧，所述冷却管23镶嵌在导热片22上，且导热片22的两端分别从矩形边框21的上下两端导出。
[0021]所述冷凝板2设有多块且排布在两个密封板3之间，且冷却管23的两端分别与密封板3导通，所述密封板3安装在冷凝箱1的内部，所述冷凝箱1上安装有位于两个密封板3之间的进水口6和排水口7，所述冷凝箱1上安装有位于底端密封板3下方的排气口8，通过进水口6向冷凝箱1中注入冷却水，使冷却水注满两个密封板3之间的空间，对冷凝板进行降温，如此镀膜材料的气体从进气口导入，并经过密封板3导向冷却管23中，镀膜材料的气体在冷却管23中冷凝，并沿着冷却管23充分其内壁接触。
[0022]所述排水口7的位置高于进水口6的位置，且进水口6和排水口7分别安装在靠近两个密封板3处的冷凝箱1，水从低位置静茹，并从高位置导出，如此对水进行置换。
[0023]所述冷却管23为多组冷却直管和弯管连接而成的弓形管道，且两组冷却直管通过弯管连通，如此延长冷却管23的长度，镀膜材料的气体通过冷却管23时间加长，而长时间的接触必然会使镀膜材料大量冷凝。
[0024]所述进水口6向冷凝箱1注入蒸馏水，蒸馏水中杂质低，因此不会在冷凝板2上形成碳酸钙沉淀，延长其使用时间。
[0025]以上实施例仅为本技术的示例性实施例，不用于限制本技术，本技术的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本技术的实质和保护范围内，对本技术做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本技术的保护范围内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的冷凝回收装置，其特征在于：包括冷凝箱（1）、冷凝板（2）和密封板（3）；所述冷凝箱（1）的顶端设有进气口（4），且冷凝箱（1）的底端设有排液口（5）；所述冷凝板（2）包括矩形边框（21）、导热片（22）和冷却管（23），所述导热片（22）设有多组且安装在矩形边框（21）的内侧，所述冷却管（23）镶嵌在导热片（22）上，且导热片（22）的两端分别从矩形边框（21）的上下两端导出；所述冷凝板（2）设有多块且排布在两个密封板（3）之间，且冷却管（23）的两端分别与密封板（3）导通，所述密封板（3）安装在冷凝箱（1）的内部，所述冷凝箱（1）上安装有位于两个...
【专利技术属性】
技术研发人员：江成龙，
申请(专利权)人：玛奇纳米科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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