自动化静电放电测试系统技术方案

本发明专利技术公开一种自动化静电放电测试系统，包括六轴机械臂、静电放电发生器、压力传感器和旋转平台；所述静电放电发生器设置于所述六轴机械臂的末端；所述压力传感器设置于所述六轴机械臂与所述静电放电发生器的连接处，以检测静电放电发生器对待测产品施加的压力。本发明专利技术可提高测试效率，保证测试质量，且可避免待测产品与静电放电发生器接触时碎裂。测产品与静电放电发生器接触时碎裂。测产品与静电放电发生器接触时碎裂。

【技术实现步骤摘要】
自动化静电放电测试系统


[0001]本专利技术涉及静电放电测试
，尤其涉及一种自动化静电放电测试系统。

技术介绍

[0002]随着半导体IC集成度越来越高，栅极氧化层越来越薄，ESD静电放电现象，对电子产品而言是致命的，它可能导致元器件内部电子线路受损，影响电子产品的使用寿命。因此需要开展静电放电测试以评估电气及电子产品遭受静电放电时的抗干扰性能，从而确保产品可靠性。
[0003]静电放电发生器，也称为静电放电模拟器，是电磁兼容ESD测试中用到的重要仪器。静电放电发生器主要用于模拟人体持金属物对电子产品的静电放电过程，考察被测电子产品的抗静电放电的能力。
[0004]ESD放电测试时通常采用两种方法：接触放电和空气放电。接触放电测试时，ESD发生器的探头尖部直接接触到被测产品进行放电；空气放电测试时，ESD发生器的探头不能直接接触待测产品，靠近时探头发出电火花传向待测产品，实现间接放电。
[0005]目前ESD测试常用的操作方法是由人工手持ESD发生器进行逐点测试，每次静电测试后，用接地线对枪头放电的部位进行放电。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动化静电放电测试系统，其特征在于，包括六轴机械臂、静电放电发生器、压力传感器和旋转平台；所述静电放电发生器设置于所述六轴机械臂的末端；所述压力传感器设置于所述六轴机械臂与所述静电放电发生器的连接处，以检测静电放电发生器对待测产品施加的压力。2.根据权利要求1所述的自动化静电放电测试系统，其特征在于，还包括主控制器，所述主控制器分别与所述六轴机械臂、静电放电发生器、压力传感器和旋转平台连接。3.根据权利要求1所述的自动化静电放电测试系统，其特征在于，所述旋转平台包括旋转电机、旋转分割器和旋转台，所述旋转电机与所述旋转分割器连接，所述旋转台设置于所述旋转分割器上；所述旋转台上设有两个工位。4.根据权利要求3所述的自动化静电放电测试系统，其特征在于，还包括第一消电刷，所述第一消电刷设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮育娇，蒋淑恋，郑鹏，康品春，黄艺滨，洪亚德，陈建志，崔潼，胡晓英，许斌彬，张越专，连月荣，李瑞晟，
申请(专利权)人：厦门福信光电集成有限公司，
类型：发明
国别省市：