用于检测及分析分子的集成装置制造方法及图纸

用于分析单分子并执行核酸定序的系统及方法。一种集成装置可包含具被配置以接收样本的样本井的多个像素，该样本在被激发时发射辐射。该集成装置包含表面，其具有自该表面的一部分凹入的沟槽区域，及样本井阵列，其安置于该沟槽区域中。该集成装置亦包含波导，其被配置以使激发能耦合至该阵列中的至少一个样本井，且定位于自该沟槽区域的表面的第一距离处及自在与该沟槽区域分离的区域中的该表面的第二距离处。该第一距离小于该第二距离。该系统亦包含仪器，其与该集成装置介接。该仪器可包含激发能源，用于藉由经耦合至该集成装置的激发能耦合区域来提供激发能至该集成装置。激发能耦合区域来提供激发能至该集成装置。激发能耦合区域来提供激发能至该集成装置。

【技术实现步骤摘要】
用于检测及分析分子的集成装置
[0001]本申请是中国申请号为201780034485.8(对应于PCT国际申请号PCT/US2017/035412)、申请日为2017年6月1日、专利技术名称为“用于检测及分析分子的集成装置”的专利技术专利申请的分案申请。


[0002]本申请案大体上关于用于执行生物及/或化学样本的迅速、大规模并行、定量分析的装置、方法及技术，及制造所述装置的方法。

技术介绍

[0003]可使用生物分析(“生物分析(bioassays)”)来执行生物样本之检测及分析。生物分析习知涉及大型、昂贵的实验室设备，其需要经训练以操作该设备及执行该生物分析之研究科学家。而且，生物分析习知地以整批执行，使得大量一特定类型之样本对检测及定量是必需的。
[0004]藉由使用发射一特定波长的光的发光标记来标签样本而执行一些生物分析。所述标记由一光源照明以致使发光，且发光使用一光电检测器检测以量化由标记发射的发光量。使用发光标记的生物分析习知地涉及用以照明样本的昂贵激光光源及用以收集来自经照明样本之发光的复杂发光检测光学器件及电子器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成装置，其包括：基板；表面，其具有自所述表面的部分凹入的沟槽区域；样本井阵列，其设置于所述沟槽区域中，其中，所述样本井阵列的样本井被配置为接收样本；波导，其被配置为使激发能耦合至所述阵列中的至少一个样本井，且被定位成距所述沟槽区域的表面第一距离且距与所述沟槽区域分离的区域中的该表面第二距离，其中，所述第一距离小于所述第二距离；以及金属层，其被配置为支持多个电信号，其中，所述金属层被定位在比所述波导更远离所述基板的距离处。2.根据权利要求1所述的集成装置，其中，所述第一距离在150纳米与600纳米之间。3.根据权利要求1或2所述的集成装置，其中，所述第二距离在250纳米与2000纳米之间。4.根据权利要求1或2所述的集成装置，其中，所述样本井在距所述波导小于300纳米的距离处具有表面。5.根据权利要求1或2所述的集成装置，其中，所述集成装置还包括：至少一个光栅耦合器，其被配置为接收来自与所述集成装置分离的激发源的激发能，且导引激发能至所述波导。6.根据权利要求5所述的集成装置，其中，所述集成装置还包括：反射器，其被配置为反射激发能朝向所述至少一个光栅耦合器。7.根据权利要求5所述的集成装置，其中，所述集成装置还包括：分裂器结构，其被配置为接收来自所述至少一个光栅耦合器的激发能，且导引激发能至多个波导。8.根据权利要求7所述的集成装置，其中该，所述分裂器结构包含至少一个多模式干扰分裂器。9.根据权利要求7所述的集成装置，其中，所述分裂器结构包含星形耦合器。10.根据权利要求7所述的集成装置，其中，所述分裂器结构包含切片光栅耦合器。11.根据权利要求5所述的集成装置，其中，所述波导在与沿所述波导的光传播方向垂直的方向上具有渐缩尺寸，使得所述尺寸在接近所述光栅耦合器的位置处大于在远端位置处。12.根据权利要求1或2所述的集成装置，其中，所述样本井包含形成于所述样本井的侧壁的至少一部分上的侧壁间隔件。13.根据权利要求12所述的集成装置，其中，所述样本井的接近所述波导的表面被配置为以不同于所述侧壁间隔件的方式来与所述样本相互作用。14.根据权利要求1或2所述的集成装置，其中，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔纳森，
申请(专利权)人：宽腾矽公司，
类型：发明
国别省市：