平板探测器测试用基板及其测试方法技术

本发明专利技术实施例公开了一种平板探测器测试用基板及其测试方法，本发明专利技术实施例是对整个测试区域的TFT进行特性测试，相比于现有技术中在探测区域外围的周边区域采用TFT测试键(Teg)进行TFT特性测试，本发明专利技术可得到真实有效的AA区TFT的I

【技术实现步骤摘要】
平板探测器测试用基板及其测试方法


[0001]本专利技术涉及光电检测
，特别涉及一种平板探测器测试用基板及其测试方法。

技术介绍

[0002]X射线检测技术广泛应用于工业无损检测、集装箱扫描、电路板检查、医疗、安防、工业等领域，具有广阔的应用前景。传统的X
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Ray成像技术属于模拟信号成像，分辨率不高，图像质量较差。X射线数字化成像技术采用X射线平板探测器直接将X影像转换为数字图像，因其转换的数字图像清晰，分辨率高，且易于保存和传送，已得到了广泛的开发与应用。
[0003]X射线平板探测器通常包括薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)与光电二极管。在X射线照射下，间接转换型X射线平板探测器的闪烁体层或荧光体层将X射线光子转换为可见光，然后在光电二极管的作用下将可见光转换为电信号，最终通过TFT读取电信号并将电信号输出，该电信号经过A/D转换后形成数字信号，计算机再将数字信号进行图像处理从而形成X射线数字影像。
[0004]在平板探测器设计与制造的过程中，我们通常会在Panel周边A本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平板探测器测试用基板，其特征在于，包括衬底基板，所述衬底基板具有测试区域以及围绕所述测试区域设置的周边区域，所述测试区域包括位于所述衬底基板上的多条栅线和多条数据线；所述多条栅线和多条数据线交叉限定出多个探测区域，每一所述探测区域包括薄膜晶体管；还包括位于所述薄膜晶体管远离所述衬底基板一侧的测试用金属层，所述测试用金属层包括多条测试用电压线，所述测试用电压线与所述薄膜晶体管的源极电连接。2.如权利要求1所述的平板探测器测试用基板，其特征在于，所述测试用金属层还包括与所述测试用电压线电连接的遮光部，所述遮光部在所述衬底基板上的正投影覆盖所述薄膜晶体管的有源层在所述衬底基板上的正投影。3.如权利要求2所述的平板探测器测试用基板，其特征在于，所述遮光部在所述衬底基板上的正投影还覆盖所述薄膜晶体管的源极在所述衬底基板上的正投影，所述测试用电压线通过所述遮光部与所述源极电连接。4.如权利要求3所述的平板探测器测试用基板，其特征在于，还包括位于所述薄膜晶体管和所述测试用金属层之间的绝缘层，所述遮光部通过贯穿所述绝缘层的过孔与所述源极电连接。5.如权利要求2所述的平板探测器测试用基板，其特征在于，所述测试用电压线与所述遮光部为一体结构。6.如权利要求1
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5任一项所述的平板探测器测试用基板，其特征在于，所述测试用电压线与所述数据线的延伸方向相同。7...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜振武，张冠，侯学成，杨祎凡，赵镇乾，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：