一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具制造技术

技术编号:33958324 阅读:39 留言:0更新日期:2022-06-30 00:02
本发明专利技术涉及半导体加工设备技术领域,具体的说是一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具,包括主体,主体的两侧分别开设有多个安装孔,主体的顶端滑动连接有活动块,活动块和主体之间设有角度机构和润滑机构,活动块上设有固定机构和辅助机构;通过角度机构的设置进而便于调节活动块的俯仰角度,主动对原材料进行找平,适用于不同的原材料;通过润滑机构的设置便于对活动组件进行润滑,保持活动组件的活动效果;通过固定机构的设置进而便于对材料进行固定夹持,且便于径向调节材料的旋转角度,使用起来更加灵活便捷,通过辅助机构的设置进而对材料起到辅助固定的作用,抑制加工时的材料振动幅度,且能够应对方形或者圆柱状的材料,提高使用通用性,操作效果更好。操作效果更好。操作效果更好。

【技术实现步骤摘要】
一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具


[0001]本专利技术涉及半导体加工设备
,具体的说是一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具。

技术介绍

[0002]半导体是指在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体是指一种导电性可控,范围从绝缘体到导体之间的材料。从科学技术和经济发展的角度来看,半导体影响着人们的日常工作生活,直到20世纪30 年代这一材料才被学界所认可。
[0003]然而,在从原材料制作成半导体产品时需要使用到专用的夹具进行加工,传统的夹具只能对圆柱或方形某一形状的材料进行夹持固定,通用性较差,且不能对材料进行微调俯仰角度和旋转角度,不便于对材料进行多角度调节夹持,灵活性较差,影响加工进度,为此亟需提出一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的问题,本专利技术提供了一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具,包括主体,所述主体的两侧分别开设有多个安装孔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具,其特征在于,包括主体(1),所述主体(1)的两侧分别开设有多个安装孔(2),所述主体(1)的顶端滑动连接有活动块(3),所述活动块(3)和主体(1)之间设有角度机构(4)和润滑机构(5),所述活动块(3)上设有固定机构(6)和辅助机构(7)。2.根据权利要求1所述的一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具,其特征在于:所述角度机构(4)包括齿环(41),所述活动块(3)呈半圆状,所述活动块(3)的底端固定连接有齿环(41),所述主体(1)的内部转动连接有第一转轴(42),所述第一转轴(42)上固定连接有蜗杆(43),所述蜗杆(43)螺纹连接齿环(41),所述第一转轴(42)的一端延伸至主体(1)的外部且连接有转盘。3.根据权利要求2所述的一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具,其特征在于:所述角度机构(4)还包括滑块(44),所述活动块(3)的一侧固定连接有滑块(44),所述主体(1)的一侧开设有第一滑槽(45),所述滑块(44)滑动连接第一滑槽(45),且所述滑块(44)的一端固定连接有指针(46)。4.根据权利要求3所述的一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具,其特征在于:所述润滑机构(5)包括汇集槽(51),所述活动块(3)的底端设有汇集槽(51),所述汇集槽(51)开设于主体(1)的内部,所述第一转轴(42)上固定连接有凸轮(52),所述凸轮(52)的底端设有活动腔(55),所述活动腔(55)设于主体(1)的内部,所述活动腔(55)内滑动连接有滑柱(53),所述滑柱(53)的顶端抵触在凸轮(52)上。5.根据权利要求4所述的一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具,其特征在于:所述润滑机构(5)还包括第一弹簧(56),所述滑柱(53)的底端抵触有第一弹簧(56),所述活动腔(55)上连接有两个泵油管(54),其中一个所述泵油管(54)的一端插入到汇集槽(51)内,且另外一个所述泵油管(54)的一端设于齿环(41)的底侧,两个所述泵油管(54)上均滑...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈娇凤陈有鸿
申请(专利权)人:深圳市凯创半导体设备有限公司
类型:发明
国别省市:

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