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本发明涉及半导体加工设备技术领域,具体的说是一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具,包括主体,主体的两侧分别开设有多个安装孔,主体的顶端滑动连接有活动块,活动块和主体之间设有角度机构和润滑机构,活动块上设有固定机构和辅助机构;通过角度机构的...该专利属于深圳市凯创半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市凯创半导体设备有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体加工设备技术领域,具体的说是一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具,包括主体,主体的两侧分别开设有多个安装孔,主体的顶端滑动连接有活动块,活动块和主体之间设有角度机构和润滑机构,活动块上设有固定机构和辅助机构;通过角度机构的...