一种位移传感器、位移检测方法及位移检测系统技术方案

本申请公开了一种位移传感器、位移检测方法及位移检测系统，用以简化位移传感器的结构以及制备难度。本申请实施例提供的一种位移传感器，位移传感器包括：第一基板，位于第一基板一侧的谐振器，以及位于第一基板背离谐振器一侧的电磁场生成部件；开口谐振器包括一个导体环；导体环具有一个开口；谐振器用于承载待测物体且与待测物体的位置相对固定，并在平行于第一基板所在平面的表面滑动。第一基板所在平面的表面滑动。第一基板所在平面的表面滑动。

【技术实现步骤摘要】
一种位移传感器、位移检测方法及位移检测系统


[0001]本申请涉及传感器
，尤其涉及一种位移传感器、位移检测方法及位移检测系统。

技术介绍

[0002]对于需要小范围探测位移的场景，比如相机镜头防抖、产线对准定位等场景，需要探测物体位移，以确保物体的位置适当。
[0003]现有技术中，通常通过位移传感器来探测物体的位移。但位移传感器通常为包括LC谐振器的传感器或光学位移传感器等，位移传感器的结构复杂，制备难度较大。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供了一种位移传感器、位移检测方法及位移检测系统，用以简化位移传感器的结构以及制备难度。
[0005]本申请实施例提供的一种位移传感器，位移传感器包括：第一基板，位于第一基板一侧的谐振器，以及位于第一基板背离谐振器一侧的电磁场生成部件；
[0006]开口谐振器包括一个导体环；导体环具有一个开口；
[0007]谐振器用于承载待测物体且与待测物体的位置相对固定，并在平行于第一基板所在平面的表面滑动。
[0008]在一些实施例中，电磁场生成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种位移传感器，其特征在于，所述位移传感器包括：第一基板，位于所述第一基板一侧的谐振器，以及位于所述第一基板背离所述谐振器一侧的电磁场生成部件；所述开口谐振器包括一个导体环；所述导体环具有一个开口；所述谐振器用于承载待测物体且与所述待测物体的位置相对固定，并在平行于所述第一基板所在平面的表面滑动。2.根据权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，所述电磁场生成部包括共面波导。3.根据权利要求2所述的位移传感器，其特征在于，所述共面波导包括：中心导体带，以及两个导体面；两个所述导体面在第一方向上分别位于所述中心导体带两侧，所述导体面与所述中心导体带之间具有间隙；所述中心导体带沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向交叉。4.根据权利要求3所述的位移传感器，其特征在于，所述开口与所述导体环的中心之间的连线与所述第二方向平行。5.根据权利要求2～4任一项所述的位移传感器，其特征在于，所述导体环以及所述开口的区域组成的图案的外轮廓的形状为菱形。6.根据权利要求5所述的位移传感器，其特征在于，在不同位置，所述导体环的宽度均相等，所述导体环以及所述开口的区域围成的图案的形状为菱形。7.根据权利要求5所述的位移传感器，其特征在于，所述开口的形状为沿第二方向延伸的条形；所述导体环以及所述开口的区域组成的图案的外轮廓的菱形具有与第二方向平行的第一对角线以及与第一方向平行的第二对角线；所述导体环的图案沿所述第一对角线对称。8.根据权利要求7所述的位移传感器，其特征在于，在所述第二方向上，所述开口的长度大于所述第一对角线的一半；在所述第一方向上，所述开口两侧的所述导体环的形状为三角形。9.根据权利要求7所述的位移传感器，其特征在于，在所述第二方向上，所述开口的长度大于所述第一对角线的一半；所述导体环以及所述开口的区域围成的图案的形状为内凹四边形。10.根据权利要求7所述的位移传感器，其特征在于，在所述第二方向上，所述开口的长度等于所述第一对角线的一半；在所述第二对角线面向所述开口的一侧的区域，所述导体环以及所述开口的区域组成的形状的图案为三角形，且所述导体环以及所述开口的区域围成的图案的形状为三角形。11.根据权利要求7所述的位移传感器，其特征在于，在所述第二方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐国强，王亚丽，范西超，张东东，贾孟文，张士桥，曲峰，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：