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本申请公开了一种位移传感器、位移检测方法及位移检测系统，用以简化位移传感器的结构以及制备难度。本申请实施例提供的一种位移传感器，位移传感器包括：第一基板，位于第一基板一侧的谐振器，以及位于第一基板背离谐振器一侧的电磁场生成部件；开口谐振器包...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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