本申请提供一种具有温控装置的水洗过滤装置，其包含一第一水洗组件、一第二水洗组件以及一连接管路，该第一水洗组件的一第一壳体的一内侧设置一第一洒水装置、一第一淋水组件以及一第一循环组件，该第二水洗组件的一第二壳体的一内侧设置一第二洒水装置、一第二淋水组件以及一第二循环组件，该连接管路的一端连通该第一壳体的一第一容置空间，该连接管路的另一端连通该第二壳体的一第二容置空间；利用该第一循环组件包含的一第一温控装置，以及该第二循环组件包含的一第二温控装置，使流经的流体具有温差，提升整体过滤效率。提升整体过滤效率。提升整体过滤效率。
【技术实现步骤摘要】
具有温控装置的水洗过滤装置
[0001]本申请是关于一种具有温控装置的水洗过滤装置，尤其是指一种利用加热装置，使流体产生温差的水洗过滤装置。
技术介绍
[0002]随着半导体组件尺寸的缩小，气态分子污染物(AMC)的管制及监控方式也逐渐受到重视。为了避免电子产品的电性受到影响，半导体及晶圆制造的过程均置于严格管控的环境，亦即无尘室(cleanroom)内。现有技术的无尘室空气质量控制，主要着重在微粒、气流及温湿度；然而近年来半导体业界已开始重新思考所谓无尘室的定义。随着半导体体积的缩小，静电破坏及气态分子污染物的影响日益明显，用于清除气态分子污染物的装置也逐渐进入市场。
[0003]其中，常见的清除气态分子污染物的装置，是设置洒水(或喷水)装置及淋水材料的水洗过滤装置，水洗过滤装置通常使用于恒温恒湿微污染处理装置上，通过水雾与流经的空气接触，以去除空气中微量的气态分子污染物，而空气污染物大致可区分为粒状污染物及气态污染物两大类。
[0004]但现有技术水洗过滤装置虽于气体污染物去除，具有良好效率，但在粒状污染物，尤其是以亚微粒(sub
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micron,PM0.01～PM1)为主的粒状污染物，去除效率相对不佳，因此产业界需要一种能有效去除粒状污染物的水洗过滤装置。
[0005]有鉴于上述现有技术的问题，本申请提供一种具有温控装置的水洗过滤装置，其是第一流体进入第一水洗组件，第一水洗组件以加热后的第二流体加热经过的第一流体，第一流体流至第二水洗组件后，第二水洗组件以较低温的第三流体接触，使经过的第一流体与第三流体具有温差，产生热泳现象，提供能有效去除粒状污染物的水洗过滤装置。
技术实现思路
[0006]本申请所要解决的技术问题在于提供一种具有温控装置的水洗过滤装置，其是利用二水洗组件的结合，一第一流体进入第一水洗组件，以第一水洗组件包含的温控装置加热第一洒水装置内的第二流体，第二流体喷出对应加热经过的第一流体，第一流体流至第二水洗组件，并以第二水洗组件包含的温控装置控置第二洒水装置内的第三流体的温度，使经过的第一流体与第三流体具有温差，产生热泳现象，提升整体过滤效率。
[0007]为达到上述所指称的各目的与功效，本申请提供一种具有温控装置的水洗过滤装置，其包含：一第一水洗组件、一第二水洗组件以及一连接管路，该第一水洗组件包含：一第一壳体，其一内侧设置一第一容置空间，该第一壳体的一端开设一入风口，该入风口连通该第一容置空间；一第一洒水装置，其设置于该第一容置空间，并设置于该入风口的一下方，且具有间隔空间；一第一淋水组件，其设置于该第一容置空间，并设置于该第一洒水装置的一下方；以及一第一循环组件，其包含一第一泵浦以及一第一温控装置，该第一泵浦的一端连通该第一容置空间的一下方，该第一温控装置的一端连通该第一泵浦的另一端，该第一
温控装置的另一端连通该第一洒水装置；该第二水洗组件设置于该第一水洗组件的一侧，该第二水洗组件包含：一第二壳体，其一内侧设置一第二容置空间，该第二壳体的一端开设一出风口，该出风口连通该第二容置空间；一第二洒水装置，其设置于该第二容置空间，并设置于该出风口的一下方，且具有间隔空间；一第二淋水组件，其设置于该第二容置空间，并设置于该第二洒水装置的一下方；以及一第二循环组件，其包含一第二泵浦以及一第二温控装置，该第二泵浦的一端连通该第二容置空间的一下方，该第二温控装置的一端连通该第二泵浦的另一端，该第二温控装置的另一端连通该第二洒水装置；该连接管路的一端连通该第一容置空间，该连接管路的另一端连通该第二容置空间；利用此结构加热经过第一水洗组件的流体，再于第二水洗组件内，与温度较低的流体混合，提升水洗组件的过滤效率。
[0008]本申请的一实施例中，其中该第二水洗组件更包含一除水装置，该除水装置设置于该第二容置空间，并设置于该第二洒水装置的一上方。
[0009]本申请的一实施例中，其中一第一流体由该入风口进入至该第一容置空间，该第一流体再依序经过该第一洒水装置以及该第一淋水组件，该第一流体经过该第一淋水组件后，该第一流体进入该连接管路，该第一流体经过该连接管路后，该第一流体进入该第二容置空间，该第一流体再依序流至该第二洒水装置以及该第二淋水组件，该第一流体经过该第二淋水组件后，该第一流体由该出风口排出。
[0010]本申请的一实施例中，其中该第一洒水装置喷洒一第二流体至该第一淋水组件，该第二流体经过该第一淋水组件后，该第一泵浦抽取该第二流体至该第一温控装置，该第二流体经过该第一温控装置后，该第二流体进入该第一洒水装置；该第二洒水装置喷洒一第三流体至该第二淋水组件，该第三流体经过该第二淋水组件后，该第二泵浦抽取该第三流体至该第二温控装置，该第三流体经过该第二温控装置后，该第三流体进入该第二洒水装置。
[0011]本申请的一实施例中，其中该第一流体的温度大于该第三流体的温度。
[0012]本申请的一实施例中，更包含一第一温度传感器，该第一温度传感器设置于该连接管路的一内侧
[0013]本申请的一实施例中，更包含以及一第二温度传感器，该第二温度传感器设置于该出风口的一内侧。
[0014]本申请的一实施例中，更包含一控制装置，该控制装置电性连接该第一温度传感器、该第二温度传感器、该第一温控装置以及该第二温控装置。
[0015]本申请的一实施例中，其中该第一淋水组件包含多个第一淋水层，该些个第一淋水层互相叠设。
[0016]本申请的一实施例中，其中该第二淋水组件包含多个第二淋水层，该些个第二淋水层互相叠设。
[0017]有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本
申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0019]图1是本申请的一实施例的结构示意图；
[0020]图2A是本申请的一实施例的流体流动示意图；
[0021]图2B是本申请的一实施例的流体流动示意图；
[0022]图3是本申请的一实施例的其他组件示意图；以及
[0023]图4是本申请的一实施例的信号传输示意图。
[0024]符号说明
[0025]1 具有温控装置的水洗过滤装置
[0026]10 第一水洗组件
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12 第一壳体
[0027]121 第一容置空间
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122 入风口
[0028]14 第一洒水装置
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16 第一淋水组件
[0029]162 第一淋水层
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18 第一循环组件
[0030本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有温控装置的水洗过滤装置，其特征在于，包含：一第一水洗组件，其包含：一第一壳体，其一内侧设置一第一容置空间，该第一壳体的一端开设一入风口，该入风口连通该第一容置空间；一第一洒水装置，其设置于该第一容置空间，并设置于该入风口的一下方；一第一淋水组件，其设置于该第一容置空间，并设置于该第一洒水装置的一下方；以及一第一循环组件，其包含一第一泵浦以及一第一温控装置，该第一泵浦的一端连通该第一容置空间的一下方，该第一温控装置的一端连通该第一泵浦的另一端，该第一温控装置的另一端连通该第一洒水装置；一第二水洗组件，其设置于该第一水洗组件的一侧，该第二水洗组件包含：以及一第二壳体，其一内侧设置一第二容置空间，该第二壳体的一端开设一出风口，该出风口连通该第二容置空间；一第二洒水装置，其设置于该第二容置空间，并设置于该出风口的一下方；一第二淋水组件，其设置于该第二容置空间，并设置于该第二洒水装置的一下方；以及一第二循环组件，其包含一第二泵浦以及一第二温控装置，该第二泵浦的一端连通该第二容置空间的一下方，该第二温控装置的一端连通该第二泵浦的另一端，该第二温...
【专利技术属性】
技术研发人员：江昭毅，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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