一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，包括有供晶圆柜体和盖板视窗，盖板视窗安装在供晶圆柜体的一端，且盖板视窗开口朝上，还包括有小型气缸和传动机构，盖板视窗的两侧均通过小型气缸与气缸安装座的上端进行连接，气缸安装座的下端与传动机构进行连接，传动机构位于盖板视窗的两侧，同时传动机构的一端与供晶圆柜体的侧边进行固定连接，传动机构的另一端与盖板视窗的侧边进行固定连接。本实用新型专利技术实现了顶盖视窗自动开关、压紧过程的自动化，无需人工干预操作，大大提高了工作效率，简化了整个操作流程，提高了装置的实用性和使用性，增强了用户的使用体验感，从而能够更好的满足使用者的使用需求。从而能够更好的满足使用者的使用需求。从而能够更好的满足使用者的使用需求。

【技术实现步骤摘要】
一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构


[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构。

技术介绍

[0002]供晶圆柜体是将晶圆放入其中后自动送入反应腔的部分，目前在使用时，操作者在放入晶圆时需要松开顶盖视窗的压紧机构然后手动打开顶盖视窗后再放入晶圆，放入晶圆后再手动关上顶盖视窗，并拧紧顶盖视窗压紧机构，然后抽真空传送晶圆，操作复杂，对操作者要求较高，压紧机构的手动拧紧的程度将直接影响下一步柜体抽真空能否完成，如果真空度达不到要求则需要再次拧紧调整顶盖视窗压紧机构，而且由于顶盖视窗重量很重，手动打开需要操作者有一定力量并且存在脱手砸伤等安全隐患。此外，这种打开的方式所占用的空间过大，压缩了机器其他设备的工作空间。

技术实现思路

[0003]技术目的：针对由于顶盖视窗重量很重，手动打开需要操作者有一定力量并且存在脱手砸伤等安全隐患的问题，本技术提出一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构。
[0004]技术方案：为实现本技术的目的，本技术所采用的技术方案是：
[0005]一种供晶圆柜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，包括有供晶圆柜体(1)和盖板视窗(6)，所述盖板视窗(6)安装在供晶圆柜体(1)的一端，且所述盖板视窗(6)开口朝上，其特征在于，还包括有小型气缸(3)和传动机构，所述盖板视窗(6)的两侧均通过小型气缸(3)与气缸安装座(5)的上端进行连接，所述气缸安装座(5)的下端与传动机构进行连接，所述传动机构位于盖板视窗(6)的两侧，同时所述传动机构的一端与供晶圆柜体(1)的侧边进行固定连接，所述传动机构的另一端与盖板视窗(6)的侧边进行固定连接。2.根据权利要求1所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述传动机构包括有无杆气缸(2)、气动滑块(4)和导轨(7)，所述无杆气缸(2)和导轨(7)分别安装在供晶圆柜体(1)的两侧，且所述无杆气缸(2)的一端和导轨(7)的一端均与供晶圆柜体(1)的侧边进行固定连接，所述无杆气缸(2)的另一端和导轨(7)的另一端均与盖板视窗(6)的侧边进行固定连接，同时所述无杆气缸(2)和导轨(7)均通过气动滑块(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：付长杰，倪明，郑锦，
申请(专利权)人：南京原磊纳米材料有限公司，
类型：新型
国别省市：