一种超声波硅片清洗机制造技术

一种超声波硅片清洗机，包括支架，支架上设置多个清洗池及喷淋池，清洗池及喷淋池的进水口与储水箱连接、出水口设置在底部，喷淋池内分布设置多个喷淋头，清洗池及喷淋池的进水口、出水口均设置电磁阀，清洗池底部设置超声波振板，超声波振板与超声波控制箱连接；清洗池内设置托架，托架上放置清洗篮，托架与支架外侧的滑动杆固接，滑动杆上下滑动设置在支架外侧，滑动杆底端设置顶板，顶板下方设置与其匹配的凸轮，凸轮固接在传动轴上，传动轴一端连接有电机；所述电机、电磁阀、超声波控制箱均与支架外侧的电控箱连接。在使用超声波进行振动除杂质的同时，托架带动清洗篮中的硅片上下移动，使得硅片能清洗的更彻底。使得硅片能清洗的更彻底。使得硅片能清洗的更彻底。

【技术实现步骤摘要】
一种超声波硅片清洗机


[0001]本技术属于硅片清洗
，具体涉及一种超声波硅片清洗机。

技术介绍

[0002]硅片作为一种常用的半导体材料，加工过程通常包括，先将硅棒进行截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工，然后将硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗，最后硅片经过一系列工序制成半导体器件或用于光伏发电的太阳能电池片。对硅片进行清洗的目的是将附着在硅片上的杂质和废屑清洗掉，通常采用将硅片放置在纯水中，并在纯水中启动超声波发生器，以加快杂质和废屑的脱落，现有的超声波硅片清洗机清洗效率低，操作不便，并且不能清洗彻底。

技术实现思路

[0003]为解决上述硅片清洗不便、效率低的问题，本技术提供一种超声波硅片清洗机。
[0004]本技术的目的是采用以下技术方案来实现。依据本技术提出的一种超声波硅片清洗机，包括支架，支架上设置多个清洗池及喷淋池，清洗池及喷淋池的进水口与储水箱连接、出水口设置在底部，喷淋池内分布设置多个喷淋头，清洗池及喷淋池的进水口、出水口均设置电磁阀，清洗池底部设置超声波振板，超声波振板与超声波控制箱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声波硅片清洗机，包括支架，其特征在于：支架上设置多个清洗池及喷淋池，清洗池及喷淋池的进水口与储水箱连接、出水口设置在底部，喷淋池内分布设置多个喷淋头，清洗池及喷淋池的进水口、出水口均设置电磁阀，清洗池底部设置超声波振板，超声波振板与超声波控制箱连接；清洗池内设置托架，托架上放置清洗篮，托架与支架外侧的滑动杆固接，滑动杆上下滑动设置在支架外侧，滑动杆底端设置顶板，顶板下方设置与其匹配的凸轮，凸轮固接在传动轴上，传动轴一端连接有电机；所述电机、电磁阀、超声波控制箱均与支架外侧的电控箱连接。2.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：所述支架通过其底面设置的支脚支撑设置在基础面上。3.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：所述超声波振板通过支腿支撑在清洗池底部。4.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：所述滑动杆穿设并滑动设置在支架外侧固定的滑动导套上。5.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：所述储水箱与清洗池、喷淋池通过总...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐力，
申请(专利权)人：洛阳杰芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：