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一种超声波硅片清洗机，包括支架，支架上设置多个清洗池及喷淋池，清洗池及喷淋池的进水口与储水箱连接、出水口设置在底部，喷淋池内分布设置多个喷淋头，清洗池及喷淋池的进水口、出水口均设置电磁阀，清洗池底部设置超声波振板，超声波振板与超声波控制箱连...
该专利属于洛阳杰芯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳杰芯电子科技有限公司授权不得商用。

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