一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，包括胶泵、至少两个滴胶头以及与滴胶头对应数量的止逆阀，胶泵通过多通接头与止逆阀连通，止逆阀与滴胶头对应的连通，本新型的泵阀结构通过在泵口处添加止逆阀的方式来控制胶的流向以避免吐出的胶流入其他管路，从而实现解决了涂胶不均问题的目的，且实现了一泵多用。现了一泵多用。现了一泵多用。

【技术实现步骤摘要】
一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构


[0001]本技术涉及光电生产
，具体涉及一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构。

技术介绍

[0002]涂胶机属于微影制程中之重要仪器。光阻旋转涂布时，旋转载台的轴心将提供适当的真空度以吸附上方的晶圆，且带动晶圆旋转，让喷洒在晶圆上的光阻，因离心力而往晶圆外围移动，最后形成厚度均匀之光阻层。为了保证光阻层的均匀性，行业内的涂胶机均是一个胶泵控制一个滴胶头，若是让涂胶机上的一个胶泵对应多个滴胶头的，虽然能够减少成本，但是在一个滴胶头单独供胶时容易产生胶量不均的问题，例如，CND涂胶机的胶泵为一拖三模式，一个泵浦控制三个滴胶头工作，所以泵浦对其中一个滴胶头单独供胶时，会有一部分胶流入另外两个滴胶头的管路中，从而导致三个滴胶头吐出来的胶量均不精确。胶量的不精确会导致涂布在晶圆表面上的胶有多有少，致使晶圆涂胶不均而返工，影响晶圆的产能和生产成本。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，能够在保持一胶泵对多滴胶头的情况下保证出胶精确均匀。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：
[0005]一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，包括胶泵、至少两个滴胶头以及与所述滴胶头对应数量的止逆阀，所述胶泵通过多通接头与所述止逆阀连通，所述止逆阀与所述滴胶头对应连通。
[0006]进一步地，所述止逆阀与所述滴胶头之间设置有回吸阀。
[0007]进一步地，所述回吸阀与供气电磁阀之间管道上设置有三通接头，所述止逆阀与所述三通接头连通。
[0008]进一步地，所述止逆阀和所述三通接头以及所述回吸阀和所述三通接头通过直径为4mm的气管连接。
[0009]进一步地，所述止逆阀、所述回吸阀和所述滴胶头均包括三个，三个所述止逆阀通过四通接头与所述胶泵连通。
[0010]本技术的有益效果在于：在一带多的胶泵与滴胶头之间设置止逆阀，通过涂胶机的控制系统控制止逆阀，在滴胶头吐胶时控制其他未使用的滴胶头管路上的止逆阀开启，即可避免光刻胶流入其他未使用的滴胶头管路中，从而保证其他滴胶头各自胶量不受影响而实现胶量稳定，保证各个滴胶头出胶准确均匀。
附图说明
[0011]图1为本技术实施例一的一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构的连接示意
图。
[0012]标号说明：
[0013]1、胶泵；2、四通接头；3、止逆阀；4、回吸阀；5、三通接头；6、滴胶头；7、电磁阀。
具体实施方式
[0014]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0015]请参照图1，一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，包括胶泵、至少两个滴胶头以及与所述滴胶头对应数量的止逆阀，所述胶泵通过多通接头与所述止逆阀连通，所述止逆阀与所述滴胶头对应的连通。
[0016]从上述描述可知，本技术的有益效果在于：在一带多的胶泵与滴胶头之间设置止逆阀，通过涂胶机的控制系统控制止逆阀，在滴胶头吐胶时控制其他未使用的滴胶头管路上的止逆阀使管路保持关闭，即可避免光刻胶流入其他未使用的滴胶头管路中，从而保证其他滴胶头各自胶量不受影响而实现胶量稳定，保证各个滴胶头出胶准确均匀。
[0017]进一步地，所述止逆阀与所述滴胶头之间设置有回吸阀。
[0018]进一步地，所述回吸阀与供气电磁阀之间管道上设置有三通接头，所述止逆阀与所述三通接头连通。
[0019]由上述描述可知，通过三通接头将止逆阀和回吸阀连通，使同一管路中的止逆阀和回吸阀共用驱动气体，控制相应滴胶头吐液时会自动打开泵口处对应的止逆阀，其他未使用的则处于关闭状态，从而避免光刻胶流入其他未使用的管路中。
[0020]进一步地，所述止逆阀和所述三通接头以及所述回吸阀和所述三通接头通过直径为4mm的气管连接。
[0021]由上述描述可知，将止逆阀和回吸阀与三通之间联通的管路设置为同管径的气管，便于同步控制。
[0022]进一步地，所述止逆阀、所述回吸阀和所述滴胶头各包括三个，三个所述止逆阀通过四通接头与所述胶泵连通。
[0023]由上述描述可知，通过在胶泵附近设置四通阀分别连接三道滴胶头管路，将止逆阀安装在泵口处，工作时仅打开对应的止逆阀，其它止逆阀处于关闭状态，使光阻胶仅流向打开的止逆阀管路内避免光阻流入其他管路，从而保证光阻的足量足压，每一路的止逆阀和回吸阀通过同一气源开关，当胶头吐胶时对应的泵口止逆阀门将自动打开，可实现低成本的对一带三的CND涂胶机的改造。
[0024]本技术的泵阀结构可应用于一个胶泵为多个滴胶头供胶的涂胶机上，通过在泵口处添加三个止逆阀的方式来控制胶的流向以避免吐出的胶流入其他管路，从而实现解决了涂胶不均问题的目的，且实现了一泵多用。
[0025]请参照图1，本技术的实施例一为：
[0026]一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，包括胶泵1和三路涂胶管路，每一路涂胶管路均包括一个止逆阀3、一个回吸阀4、一个三通接头5和一个滴胶头6。
[0027]其中，止逆阀3、回吸阀4和滴胶头6依次连接，回吸阀4与供气的电磁阀7之间的管路上设置三通接头5并通过4mm的气管连接止逆阀3，回吸阀4与三通接头5以及三通接头5与
电磁阀7之间的供气管路亦采用4mm的气管，使回吸阀4和止逆阀3共用同一气体驱动。胶泵1通过四通接头2接通三个止逆阀3，止逆阀3、回吸阀4和滴胶头6之间的管路均采用尺寸为1/4的胶管。
[0028]本技术实施例一的工作原理为：
[0029]本技术中，在通入驱动气体时，止逆阀开启通路使胶液流过，回吸阀则停止回吸使胶液顺利通过，从而进行涂胶工作；撤去驱动气体时，止逆阀关闭通路使胶液无法通过，回吸阀开启回吸，使胶液不会因吐胶惯性和重力冲出滴胶头滴落。
[0030]在每一路滴胶头管路与胶泵之间设置止逆阀，止逆阀与回吸阀的驱动气体为同一个，从而在控制滴胶头吐液时止逆阀会自动打开，其余未开启的两个管路的阀门则处于关闭状态，从而使光刻胶不会流入另外两个滴胶头管路中。
[0031]综上所述，本技术提供的一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，通过在泵口处安装止逆阀门来控制胶的流向保证到达指定滴胶头处胶的足量，通过在原先滴胶头吐胶回吸阀的气体截流阀前段处接入三通给泵口处的止逆阀供气来实现共同控制，当滴胶头吐胶时对应的泵口止逆阀门将自动打开，光刻胶不会流入另外的滴胶头的管路中，从而保证了三个滴胶头各自胶量不受其他滴胶头影响而使胶量稳定，实现了低成本的改善涂胶机胶量不均问题，且实现了一泵多用。
[0032]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，其特征在于，包括胶泵、至少两个滴胶头以及与所述滴胶头对应数量的止逆阀，所述胶泵通过多通接头与所述止逆阀连通，所述止逆阀与所述滴胶头对应连通。2.根据权利要求1所述的一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，其特征在于，所述止逆阀与所述滴胶头之间设置有回吸阀。3.根据权利要求2所述的一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，其特征在于，所述回...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑永智，张良校，刘莹，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：