硅片花篮及硅片生产系统技术方案

本申请公开了一种硅片花篮及硅片生产系统，涉及硅片加工设备领域。该硅片花篮，包括端板组件、多个花篮侧杆和花篮中杆，端板组件包括相对平行设置的第一端板和第二端板；花篮侧杆设于第一端板和第二端板之间；花篮侧杆朝向花篮中杆的侧面排列设置有篮齿，花篮中杆朝向左侧花篮侧杆和右侧花篮侧杆的左右两侧面分别排列设置有左承接齿和右承接齿；篮齿、左承接齿和右承接齿中的至少一者设有涂层，涂层为耐高温非金属涂层；在第一状态下，花篮中杆的两端分别与第一端板和第二端板连接；在第二状态下，花篮中杆的两端不与第一端板和第二端板连接。本申请的硅片花篮具有耐高温性，能使硅片与花篮非金属接触，并能承载不同尺寸的硅片使用。使用。使用。

【技术实现步骤摘要】
硅片花篮及硅片生产系统


[0001]本申请属于硅片加工设备
，具体涉及一种硅片花篮及硅片生产系统。

技术介绍

[0002]花篮是一种广泛应用于太阳能电池、IC芯片、LED芯片等半导体制造领域的生产工具，其可以主要用于硅片的存放、刻蚀、搬运等。近年来，随着光伏行业的快速发展，行业内竞争愈演愈烈，对于花篮的使用要求也在不断变化。原有的花篮大多只能在普通的非高温环境下使用，无法满足现在的在高温环境下使用。
[0003]因此，鉴于现有的硅片花篮只能在普通非高温的环境下承载运送硅片，没有能承受高温的能力，亟需开发一种能够在高温下长时间工作的硅片花篮，能够使硅片与花篮非金属接触；此外，该花篮能够承载不同尺寸的硅片使用更是相关领域所期待的。

技术实现思路

[0004]鉴于存在的上述问题，本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术提供一种硅片花篮及硅片生产系统，可以提高硅片花篮的耐高温性，使硅片与花篮非金属接触，能克服现有技术中的不足。
[0005]为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
[0006]根据本申请的一个方面，本申请实施例提供了一种硅片花篮，该硅片花篮包括：
[0007]端板组件，所述端板组件包括相对平行设置的第一端板和第二端板；
[0008]多个花篮侧杆，所述花篮侧杆设于所述第一端板和所述第二端板之间，所述花篮侧杆位于所述第一端板或第二端板的边缘；
[0009]花篮中杆，所述花篮侧杆朝向所述花篮中杆的侧面排列设置有篮齿，所述花篮中杆朝向左侧所述花篮侧杆和右侧所述花篮侧杆的左右两侧面分别排列设置有左承接齿和右承接齿；所述篮齿、所述左承接齿和所述右承接齿中的至少一者设有涂层，所述涂层为耐高温非金属涂层；
[0010]在第一状态下，所述花篮中杆的两端分别与所述第一端板和所述第二端板连接，所述硅片花篮用于承载半片硅片；
[0011]在第二状态下，所述花篮中杆的两端不与所述第一端板和所述第二端板连接，所述硅片花篮用于承载整片硅片。
[0012]在其中的一些实施方式中，所述左承接齿和所述右承接齿均设置有所述耐高温非金属涂层；
[0013]和/或，所述花篮中杆包括立柱和分别设置于所述立柱左右两侧的左承接齿和右承接齿，所述耐高温非金属涂层包覆在所述立柱、所述左承接齿和所述右承接齿的外侧。
[0014]在其中的一些实施方式中，所述耐高温非金属涂层为聚四氟乙烯层。
[0015]在其中的一些实施方式中，所述花篮侧杆的数量为四个，四个所述花篮侧杆围构成对应整片硅片的正方形空间；
[0016]所述花篮中杆的数量为两个，两个所述花篮中杆分别与左右两侧的所述花篮侧杆围构成对应半片硅片的长方形空间。
[0017]在其中的一些实施方式中，所述花篮侧杆上的所述篮齿与所述花篮中杆上的所述左承接齿和所述右承接齿均沿纵向等间距排布，且所述篮齿与所述左承接齿、所述篮齿与所述右承接齿一一对应。
[0018]在其中的一些实施方式中，所述第一端板和所述第二端板之间还设置有限位杆，所述限位杆位于相邻的所述花篮侧杆和所述花篮中杆的后方中部。
[0019]在其中的一些实施方式中，所述限位杆为光杆。
[0020]在其中的一些实施方式中，所述第一端板背离所述花篮侧杆和所述花篮中杆的侧面设置有机械手抓取结构。
[0021]在其中的一些实施方式中，所述花篮侧杆的一端与所述第一端板可拆卸连接，所述花篮侧杆的另一端与所述第二端板可拆卸连接；
[0022]和/或，所述花篮中杆的一端与所述第一端板可拆卸连接，所述花篮中杆的另一端与所述第二端板可拆卸连接。
[0023]根据本申请的另一个方面，本申请实施例提供了一种硅片生产系统，该硅片生产系统包括前述的硅片花篮。
[0024]实施本技术的技术方案，至少具有以下有益效果：
[0025]在本申请实施例中，所提供的硅片花篮在第一端板和第二端板之间设置多个花篮侧杆和花篮中杆，多个花篮侧杆设置在边缘而多个花篮中杆设置在中部，这样多个花篮侧杆和多个花篮中杆可以围够形成多个存储硅片空间；同时，花篮侧杆上的篮齿以及花篮中杆上的左承接齿和右承接齿中的一者或多者设置有耐高温涂层。从而，能够使得该硅片花篮能在高温环境下使用，具有承受高温的能力，且可以使硅片与花篮非金属接触，达到了花篮具有耐高温且无金属接触的设计目的，而且上述硅片花篮的结构设计能够适应半片硅片电池自动化生产的需要，还能保持原有的生产产能。此外，利用本申请提供的硅片花篮可以承载半片硅片或整片硅片，既能实现半片硅片的存放，还可以充分利用整片硅片的花篮结构，实现能承载不同尺寸硅片的花篮结构，并且能承受高温。
[0026]本申请提供的硅片生产系统包括前述的硅片花篮，因而至少具有所述的硅片花篮的所有特点和优点，在此不再赘述。本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0027]图1是本技术一些实施例提供的硅片花篮的结构示意图；
[0028]图2是本技术一些实施例提供的花篮中杆的结构示意图；
[0029]图3是本技术一些实施例提供的花篮中杆的部分剖面示意图；
[0030]图4是本技术一些实施例提供的花篮侧杆的结构示意图。
[0031]附图标记说明：
[0032]100
‑
第一端板；200
‑
第二端板；300
‑
机械手抓取结构；
[0033]400
‑
花篮侧杆；401
‑
篮齿；
[0034]500
‑
花篮中杆；501
‑
左承接齿；502
‑
右承接齿；503
‑
立柱；
[0035]600
‑
耐高温非金属涂层；
[0036]700
‑
限位杆。
具体实施方式
[0037]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0038]本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中使用的术语“和/或”或者“/”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片花篮，其特征在于，包括：端板组件，所述端板组件包括相对平行设置的第一端板和第二端板；多个花篮侧杆，所述花篮侧杆设于所述第一端板和所述第二端板之间，所述花篮侧杆位于所述第一端板或第二端板的边缘；花篮中杆，所述花篮侧杆朝向所述花篮中杆的侧面排列设置有篮齿，所述花篮中杆朝向左侧所述花篮侧杆和右侧所述花篮侧杆的左右两侧面分别排列设置有左承接齿和右承接齿；所述篮齿、所述左承接齿和所述右承接齿中的至少一者设有涂层，所述涂层为耐高温非金属涂层；在第一状态下，所述花篮中杆的两端分别与所述第一端板和所述第二端板连接，所述硅片花篮用于承载半片硅片；在第二状态下，所述花篮中杆的两端不与所述第一端板和所述第二端板连接，所述硅片花篮用于承载整片硅片。2.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于，所述左承接齿和所述右承接齿均设置有所述耐高温非金属涂层；和/或，所述花篮中杆包括立柱和分别设置于所述立柱左右两侧的左承接齿和右承接齿，所述耐高温非金属涂层包覆在所述立柱、所述左承接齿和所述右承接齿的外侧。3.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于，所述耐高温非金属料涂层为聚四氟乙烯层。4.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于，所述花篮侧杆的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王会，谭建辉，戴向荣，
申请(专利权)人：苏州南北深科智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：