本实用新型专利技术公开了一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，属于真空泵装置技术领域，其技术方案要点括真空泵，所述真空泵的上下两端连通有循环冷却管，所述循环冷却管的外侧壁安装有第一水泵，所述第一水泵位于真空泵的上方；循环冷却装置，所述循环冷却装置设置于真空泵的右侧，用于真空泵的降温工作，通过设置第一水泵，用第一水泵使得循环冷却管内的介质在循环冷却管和真空泵内部不停的循环，当介质在循环时，以热传导的形式，通过冷水罐内的冷水对介质降温，从而使得介质始终保持低温状态，降温后的介质通过真空泵时，通过冷介质对真空泵进行降温，进而避免了真空泵温度过高，导致真空泵不能正常运行和给工作人员带来安全隐患的问题。全隐患的问题。全隐患的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种多级干式真空泵机组循环冷却结构
[0001]本技术涉及真空泵装置
，特别涉及一种多级干式真空泵机组循环冷却结构。
技术介绍
[0002]多级干式真空泵具有工作腔内无油，可以获得洁净真空，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合；随着半导体工业、电子工业的蓬勃兴起，对于真空环境的要求越来越多、越来越严格；干式真空泵不需要润滑油来润滑密封，做到了无油蒸汽污染，而且对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；所以，由干式真空泵组成的真空系统得到了广泛的应用，并在半导体工业、电子工业的发展过程中起到了推动的作用；现有的多级干式真空泵机组在使用时会产生大量热，需要对其进行降温。
[0003]但时现有的多级干式真空泵机组不具有冷却结构，当真空泵温度过高时不能保证泵正常运行和人员安全。
技术实现思路
[0004]本技术针对以上问题，提出一种多级干式真空泵机组循环冷却结构来解决上述问题。
[0005]本技术是这样实现的，一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，包括真空泵，所述真空泵的上下两端连通有循环冷却管，所述循环冷却管的外侧壁安装有第一水泵，所述第一水泵位于真空泵的上方；
[0006]循环冷却装置，所述循环冷却装置设置于真空泵的右侧，用于真空泵的降温工作。
[0007]为了提高换热效果，作为本技术的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构优选的，所述循环冷却装置包括冷水罐，所述循环冷却管贯穿冷水罐并延伸至冷水罐的内部，位于冷水罐内的循环冷却管呈“螺旋”状。
[0008]为了方便降低水温，作为本技术的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构优选的，所述冷水罐的上端面连通有循环管，所述循环管的另一端延伸至冷水罐的下端面且与冷水罐连通，所述循环管的外侧壁从上至下依次安装有冷凝器和第二水泵。
[0009]为了提高冷水罐散热效果，作为本技术的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构优选的，所述冷水罐的上端面前后两端均贯穿开设有散热孔，两个所述散热孔的内部均安装有防尘网。
[0010]为了方便查看冷水罐内部水温，作为本技术的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构优选的，所述冷水罐的内侧壁左侧安装有温度传感器。
[0011]为了方便查看循环冷却管的内部压力，作为本技术的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构优选的，所述循环冷却管的外侧壁连通有连接管，所述连接管的内侧壁螺纹连接有压力表。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]该种多级干式真空泵机组循环冷却结构，通过设置第一水泵，用第一水泵使得循环冷却管内的介质(水或空气)在循环冷却管和真空泵内部不停的循环，当介质(水或空气)在循环时，以热传导的形式，通过冷水罐内的冷水对介质(水或空气)降温，从而使得介质(水或空气)始终保持低温状态，降温后的介质(水或空气)通过真空泵时，通过冷介质(水或空气)对真空泵进行降温，进而避免了真空泵温度过高，导致真空泵不能正常运行和给工作人员带来安全隐患的问题。
附图说明
[0014]图1为本技术的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构结构图；
[0015]图2为本技术的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构正视图；
[0016]图3为本技术的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构剖面图。
[0017]图中，1、真空泵；2、循环冷却装置；201、冷水罐；202、循环冷却管；203、第一水泵；204、连接管；2041、压力表；205、散热孔；206、防尘网；3、循环管；301、冷凝器；302、第二水泵；4、温度传感器。
具体实施方式
[0018]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0019]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0020]请参阅图1
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3，一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，包括真空泵1，真空泵1的上下两端连通有循环冷却管202，循环冷却管202的外侧壁安装有第一水泵203，第一水泵203位于真空泵1的上方；
[0021]循环冷却装置2，循环冷却装置2设置于真空泵1的右侧，用于真空泵1的降温工作。
[0022]本实施例中：通过设置第一水泵203，用第一水泵203使得循环冷却管202内的介质(水或空气)在循环冷却管202和真空泵1内部不停的循环，当介质在循环时，以热传导的形式，通过冷水罐201内的冷水对介质降温，从而使得介质始终保持低温状态，降温后的介质通过真空泵1时，通过冷介质对真空泵1进行降温，进而避免了真空泵1温度过高，导致真空泵1不能正常运行和给工作人员带来安全隐患的问题。
[0023]作为本技术的一种技术优化方案，循环冷却装置2包括冷水罐201，循环冷却管202贯穿冷水罐201并延伸至冷水罐201的内部，位于冷水罐201内的循环冷却管202呈“螺旋”状。
[0024]本实施例中：当介质通过循环冷却管202时，通过循环冷却管202呈“螺旋”状，提高循环冷却管202内的介质在冷水罐201内的冷凝时间，进而提高装置对真空泵1的降温效果。
[0025]作为本技术的一种技术优化方案，冷水罐201的上端面连通有循环管3，循环管3的另一端延伸至冷水罐201的下端面且与冷水罐201连通，循环管3的外侧壁从上至下依次安装有冷凝器301和第二水泵302。
[0026]本实施例中：用第二水泵302将冷水罐201内的水通过循环管3抽入冷凝器301的内部，从而通过冷凝器301对冷水罐201内的水进行降温，降温后的水通过循环管3再次进入冷水罐201的内部进行循环使用，从而通过循环管3、冷凝器301和第二水泵302的配合使用，使得冷水罐201内的水始终保持低温。
[0027]作为本技术的一种技术优化方案，冷水罐201的上端面前后两端均贯穿开设有散热孔205，两个散热孔205的内部均安装有防尘网206。
[0028]本实施例中：通过散热孔205，提高冷水罐201的散热效果，通过防尘网206对散热孔205起到防尘效果，进而避免杂质进入冷水罐201的问题。
[0029]作为本技术的一种技术优化方案，冷水罐201的内侧壁左侧安装有温度传感器4。
[0030]本实施例中：通过设置温度传感器4，进而方便工作人员查看冷本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，其特征在于，包括：真空泵(1)，所述真空泵(1)的上下两端连通有循环冷却管(202)，所述循环冷却管(202)的外侧壁安装有第一水泵(203)，所述第一水泵(203)位于真空泵(1)的上方；循环冷却装置(2)，所述循环冷却装置(2)设置于真空泵(1)的右侧，用于真空泵(1)的降温工作。2.根据权利要求1所述的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，其特征在于：所述循环冷却装置(2)包括冷水罐(201)，所述循环冷却管(202)贯穿冷水罐(201)并延伸至冷水罐(201)的内部，位于冷水罐(201)内的循环冷却管(202)呈“螺旋”状。3.根据权利要求2所述的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，其特征在于：所述冷水罐(201)的上端面连通有循环管...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡世苓，冯磊，
申请(专利权)人：南京真空泵厂有限公司，
类型：新型
国别省市：
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