一种基于气浮的主被动防微振基座制造技术

本实用新型专利技术提供了一种基于气浮的主被动防微振基座，包括顶板和气室，所述气室上方开设有通孔滑道，所述通孔滑道内安装有活塞，所述活塞顶部连接有柔性铰链，所述柔性铰链顶部与顶板下方连接，所述顶板下方连接有四个金属弹簧，所述金属弹簧呈矩形布置，所述金属弹簧下方连接有音圈电机，所述音圈电机底部与气室顶面连接，所述顶板下方还连接有位置传感器，所述气室顶面还设有数字控制器。本实用新型专利技术通过气浮实现对顶板负载的承重，垂直方向上形成被动隔振，垂直方向结构刚度较小，防微振效果较好，且承重能力较强，同时通过金属弹簧与音圈电机的搭配实现了垂直方向上的主动隔振，并通过双向柔性铰链实现对负载的扭转运动进行解耦。解耦。解耦。

An active passive anti micro vibration base based on air flotation

【技术实现步骤摘要】
一种基于气浮的主被动防微振基座


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种基于气浮的主被动防微振基座。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术。
[0004]传统的被动隔振基座因其刚度大，无法实现低频或超低频隔振，而主动隔振基座对负载的承重能力又较小。

技术实现思路

[0005]技术的目的在于提供一种基于气浮的主被动防微振基座，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0006]本技术的技术方案是这样实现的：
[0007]一种基于气浮的主被动防微振基座，包括顶板和气室，所述气室上方开设有通孔滑道，所述通孔滑道内安装有活塞，所述活塞顶部连接有柔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于气浮的主被动防微振基座，包括顶板和气室，其特征在于，所述气室上方开设有通孔滑道，所述通孔滑道内安装有活塞，所述活塞顶部连接有柔性铰链，所述柔性铰链顶部与顶板下方连接，所述顶板下方连接有四个金属弹簧，所述金属弹簧呈矩形布置，所述金属弹簧下方连接有音圈电机，所述音圈电机底部与气室顶面连接，所述顶板下方还连接有位置传感器，所述气室顶面还设有数字控制器。2.根据权利要求1所述的一种基于气浮的主被动防微振基座，其特征在于，所述顶板由不锈钢板制成矩形结构。3.根据权利要求1所述的一种基于气浮的主被动防微振基座...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘国东，高景作，赵小江，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：