一种复合石英玻璃板及其制备方法技术

一种复合石英玻璃板的制备方法，所述复合石英玻璃板为2层以上石英玻璃板复合而成，包括以下步骤:将石英玻璃板夹紧，对石英玻璃板加热烧结。加热方法为燃烧加热或电加热，所述加热方法为局部加热和/或整体加热。该方法可以制备出综合性能复合石英玻璃板，开拓了一种新型复合材料。可充分发挥不同石英板的优势性能，获得优于基板的综合性能，大大地扩展石英板的使用领域，同时能够应用于新的功能性使用领域；适用于各种石英玻璃板的加工以制备复合石英玻璃板。石英玻璃板。石英玻璃板。

【技术实现步骤摘要】
一种复合石英玻璃板及其制备方法


[0001]本专利技术涉及石英玻璃板应用及加工制造技术，尤其涉及一种复合石英玻璃板及其制备方法。

技术介绍

[0002]石英玻璃以其优良的耐高温、抗热震、低膨胀、耐腐蚀、化学性能稳定、无辐射损伤、光学性能优良；被广泛应用于光源、半导体、光伏、化工、医疗、冶金、国防等领域广泛应用。
[0003]石英玻璃根据结构形态及掺杂不同元素，其性能存在各自优点。透明石英玻璃具有光的高透性能，而乳白石英可见及短波光透过性低，远红外性能优良。透明石英根据不同的制造方法及后续掺杂工艺，各种透明石英存在光波透过性的差异并应用于不同领域。
[0004]对于需要同时获得综合性能或2种及3种以上性能的叠加，则需要对石英玻璃进行复合设计制造，获得复合石英玻璃材料。

技术实现思路

[0005]根据本公开的实施例，本专利技术的目的在于提供一种复合石英玻璃板及其制备方法，解决了单种类石英玻璃所不具备的综合性能技术难题。
[0006]一种复合石英玻璃板的制备方法，所述复合石英玻璃板为2层以上石英玻璃板复合而成，包括以下步骤:将石英玻璃板夹紧，对石英玻璃板加热烧结。
[0007]进一步地，所使用的石英玻璃板为1种或2种以上的石英玻璃材质，石英玻璃材质为透明石英玻璃板、不透明石英玻璃板、高透石英玻璃板、红黑石英玻璃板、乳白石英玻璃板、合成石英玻璃石英玻璃板、滤紫外石英玻璃板、普通石英板、高纯石英板和/或掺杂石英玻璃板。
[0008]进一步地，加热方法为燃烧加热或电加热，所述加热方法为局部加热和/或整体加热。
[0009]进一步地，复合石英玻璃板加工环境为真空环境、大气环境或惰性气体。
[0010]进一步地，所述加热方法为燃烧加热，将石英玻璃板通过夹具夹牢固，使用张紧轮将石英玻璃板张紧，张紧轮压力为5
‑
8N,火焰温度控制在2300℃～2500℃，石英板过火速度2～5cm/min，燃烧气体和助燃气体压力≥0.5Mpa。
[0011]进一步地，所述加热方法电加热，在高温真空炉中进行，将石英玻璃板在高温真空炉中堆叠放置，抽真空，进行加热，达到一定温度后，进行增压，然后冷却。
[0012]进一步地，抽真空，达到真空度<1pa后，开始进行加热，热功率曲线热场温区温度≤1000℃，升温速度控制在15℃/min以内；热场温区温度1000℃<T≤1400℃，升温速度控制在10℃/min以内；热场温区温度1400℃<T≤1900℃，升温速度控制在5℃/min以内，加热达到目标温度后；保持温度10
‑
30min。
[0013]进一步地，使用惰性气体对炉内进行增压，升压速度低于5000Pa/min，达到5大气
压以下目标压力后；逐步控制使温度冷却，速度控制在5℃/min以内；石英玻璃板中心温度低于150℃，打开炉门。
[0014]更进一步地，一种上述的制备方法制得的复合石英玻璃板。
[0015]本专利技术的优点及效果：
[0016](1)本专利技术的方法可以制备出综合性能复合石英玻璃板，开拓了一种新型复合材料。
[0017](2)本专利技术制备的复合石英玻璃板可充分发挥不同石英板的优势性能，获得优于基板的综合性能，大大地扩展石英板的使用领域，同时能够应用于新的功能性使用领域；
[0018](3)本专利技术制备方法能够适用于各种石英玻璃板的加工以制备复合石英玻璃板。
[0019]应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本公开的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
[0020]结合附图并参考以下详细说明，本公开各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。在附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素，其中：
[0021]图1为本专利技术复合石英玻璃板截面示意图。
[0022]图2为本专利技术制备方法1示意图。
[0023]图3为本专利技术制备方法2示意图。
[0024]图4为本专利技术制备方法3示意图。
[0025]其中，附图1标记为：A、B、A1、B1、C1、A2、B2、C2、D2为一种石英玻璃板。
[0026]附图2标记为：2
‑
1、提升杆；2
‑
2、石英玻璃板夹具；2
‑
3、喷灯；2
‑
4、喷灯支撑；2
‑
5、框架；2
‑
6、待加工的石英玻璃板；2
‑
7、喷灯底座；2
‑
8、张紧轮。
[0027]附图3标记为：3
‑
1、待加工石英玻璃板A；3
‑
2、纵向张紧滚动轮；3
‑
3、定型板；3
‑
4、横向张紧滚动轮；3
‑
5、石英玻璃板支撑平板；3
‑
6、横向张紧滚动轮；3
‑
7、待加工石英玻璃板B；3
‑
8、喷灯。
[0028]附图4标记为：4
‑
1、水冷炉体；4
‑
2、保温层；4
‑
3、加热器；4
‑
4、加热电极；4
‑
5、进气；4
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6、模具；4
‑
7、加热器；4
‑
8、加热电极；4
‑
9、出气；4
‑
10、探测管道；4
‑
11、红外测温仪；4
‑
12、待加工石英玻璃板集合。
具体实施方式
[0029]为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的全部其他实施例，都属于本公开保护的范围。
[0030]另外，本文中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0031]一种复合石英玻璃板及其制备方法，复合石英玻璃板由二层及二层以上石英玻璃
板复合而成；所述复合石英玻璃板制备方法可通过喷灯熔烧的方式进行热加工以及电加热或其他产生热量的方式进行不同石英玻璃板之间的加热贴合粘结。两层石英玻璃板在高温下粘度低于109dPa
˙
s，石英高温下Si与O原子键合方式熔合粘结。根据不同的加热方式特性，喷灯加热为局部加温方式快速冷却，电加热为整体加热方式；
[0032]所述的复合石英玻璃板层数以目标层数为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，所述复合石英玻璃板为2层以上石英玻璃板复合而成，包括以下步骤:将石英玻璃板夹紧，对石英玻璃板加热烧结。2.如权利要求1所述的复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，所使用的石英玻璃板为1种或2种以上的石英玻璃材质，石英玻璃材质为透明石英玻璃板、不透明石英玻璃板、高透石英玻璃板、红黑石英玻璃板、乳白石英玻璃板、合成石英玻璃石英玻璃板、滤紫外石英玻璃板、普通石英板、高纯石英板和/或掺杂石英玻璃板。3.如权利要求2所述的复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，加热方法为燃烧加热或电加热，所述加热方法为局部加热和/或整体加热。4.如权利要求3所述的复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，复合石英玻璃板加工环境为真空环境、大气环境或惰性气体。5.如权利要求4所述的复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，所述加热方法为燃烧加热，将石英玻璃板通过夹具夹牢固，使用张紧轮将石英玻璃板张紧，张紧轮压力为5
‑
8N,火焰温度控制在2300℃～2500℃，石英板过火速度2～5cm/min，燃烧气体和助燃气体压力≥0.5Mp...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈士斌，周明强，刘明伟，
申请(专利权)人：江苏太平洋石英股份有限公司，
类型：发明
国别省市：