一种插板阀装置及真空镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于插板阀技术领域，具体公开了一种插板阀装置及真空镀膜设备，该插板阀装置包括支架、传动机构、密封件和若干驱动件，其中，若干驱动件的固定端均与支架固定连接，且若干驱动件沿支架的长度方向间隔设置，若干驱动件的输出端均与传动机构传动连接，且若干驱动件能够驱动传动机构沿Z轴方向移动，密封件与传动机构传动连接，当传动机构沿Z轴方向移动时，能够驱动密封件沿Y轴方向移动，以使密封件能够与真空腔的开口密封连接，在增加密封盖板的长度的同时能够保证密封性能。板的长度的同时能够保证密封性能。板的长度的同时能够保证密封性能。

【技术实现步骤摘要】
一种插板阀装置及真空镀膜设备


[0001]本技术涉及插板阀
，尤其涉及一种插板阀装置及真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]随着人们环境保护意识的增强，工件表面涂层打底的真空镀膜工艺被认为是取代传动水电镀最有应用前景的外观装饰或功能性镀膜技术之一。目前，真空镀膜技术广泛用于电子产品、光学元件、传感器等高科技
，研究人员根据各生产链条的特点开发了各式各样适用于不同技术要求的真空镀膜设备。
[0003]在真空镀膜设备中，一般采用阀门进行密封，由于真空镀膜设备在量产时对阀门的响应速度有一定的要求，且对密封性要求较高，因此往往采用插板阀进行密封。由于大型真空镀膜设备要求插板阀装置的密封盖板的长度较长，传统的插板阀装置若加长密封盖板以满足大型真空镀膜设备的要求，则会容易出现密封盖板平行度变差而导致密封性能降低的问题。而且，真空镀膜设备的腔体的开口处空间较小时，密封件沿插板阀装置的长度方向运动的插板阀装置较难安装。

技术实现思路

[0004]根据本技术的一个方面，本技术提供一种插板阀装置，在增加密封盖板的长度的同时能够保证密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种插板阀装置，用于真空腔的开口的密封，其特征在于，包括：支架(100)；若干驱动件(200)，若干所述驱动件(200)的固定端均与所述支架(100)固定连接，且若干所述驱动件(200)沿所述支架(100)的长度方向间隔设置；传动机构(300)，若干所述驱动件(200)的输出端均与所述传动机构(300)传动连接，且若干所述驱动件(200)能够驱动所述传动机构(300)的输入端沿Z轴方向移动；密封件(400)，所述密封件(400)与所述传动机构(300)的输出端传动连接，当所述传动机构(300)的输入端沿所述Z轴方向移动时，所述传动机构(300)的输出端能够驱动所述密封件(400)沿Y轴方向移动，以使所述密封件(400)能够与所述真空腔的开口密封连接。2.根据权利要求1所述的插板阀装置，其特征在于，所述传动机构(300)包括传动架和转动臂(600)，所述传动架与所述驱动件(200)的输出端传动连接并能被驱动沿所述Z轴方向移动，所述转动臂(600)一端与所述传动架转动连接，另一端与所述密封件(400)转动连接，所述密封件(400)被限位只能沿Y轴方向移动。3.根据权利要求2所述的插板阀装置，其特征在于，所述传动架包括垂直连接的横梁(310)和纵梁(320)，所述横梁(310)与若干所述驱动件(200)的输出端传动连接，所述纵梁(320)与所述转动臂(600)转动连接。4.根据权利要求3所述的插板阀装置，其特征在于，所述纵梁(320)设有多个，多个所述纵梁(320)沿所述横梁(310)的长度方向间隔设置。5.根据权利要求1
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4任一项所述的插板阀装置，其特征在于，还包括导向件(500)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，胡宇航，
申请(专利权)人：昆山晟成光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：