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本实用新型属于插板阀技术领域，具体公开了一种插板阀装置及真空镀膜设备，该插板阀装置包括支架、传动机构、密封件和若干驱动件，其中，若干驱动件的固定端均与支架固定连接，且若干驱动件沿支架的长度方向间隔设置，若干驱动件的输出端均与传动机构传动连接...
该专利属于昆山晟成光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山晟成光电科技有限公司授权不得商用。

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