一种光热驱动微马达制造技术

本实用新型专利技术涉及一种光热驱动微马达。它具有脉冲光源系统和转动系统，脉冲光源系统具有依次设置的激光器、电光晶体、偏振盘，电光晶体由脉冲信号发生模块和放大回路控制，转动系统具有和膨胀臂、摩擦片、同轴转子和压簧片，膨胀臂一端固定，另一端与摩擦片相粘合，压簧片一端固定，另一端和一弹簧相连，转子与压簧片、摩擦片相接。本实用新型专利技术的优点是马达输出步距小、速度高，直接由激光驱动，不需导线连接，因而结构相对独立，易于马达的微小化，便于将驱动器置于封闭空间（如真空腔），并可实现较远距的自由控制。可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种光热驱动微马达，用于微纳米
高速、小步距驱动。
技术介绍
近年来，科学技术发展的一个重要趋势是朝快速度、大容量和微型化方向飞速迈进。其中尤以微/纳米技术、微型机械技术、光学与光电子技术等的发展为主要代表。在许多特殊领域，需要采用特种性能的电机(或称马达)作为动力源和运动源。如在光学与精密机械系统中用于元器件的精确驱动和定位的马达，要求速度高、响应快、尽可能小型化；在航天器和空间卫星上采用的电机，既要求力矩大、效率高，又要求重量轻、体积小、寿命长；在微/纳米
，除了力矩大、响应快和小型化等要求外，还需要马达有十分微小的步距或转角。现有的马达技术主要有电磁感应电机、静电马达、超声波电机、压电陶瓷冲击式驱动马达或机构等，均有各自的优缺点。电磁感应电机力矩大、速度快，但线圈损耗大、不易小型化；静电马达直接利用静电力驱动转子，可小型化，缺点是力矩较小，定子与转子间的摩擦及噪音较大，往往需要将马达浸泡在油液中运转。超声波电机是近年发展起来的新型特种马达，之后国内外又开展了表面声波马达的研究。应该指出，上述电机或马达都需要通过导线与外部的低压乃至高压控制源相连，马达主体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光热驱动微马达，其特征在于它具有脉冲光源系统（１）和转动系统（２），脉冲光源系统（１）具有依次设置的激光器（３）、电光晶体（４）、偏振盘（５），电光晶体（４）由脉冲信号发生模块（６）和放大回路（７）控制，转动系统（２）具有和膨胀臂（８）、摩擦片（９）、同轴转子（１０）和压簧片（１１），膨胀臂（８）一端固定，另一端与摩擦片（９）相粘合，压簧片（１１）一端固定，另一端和一弹簧相连，转子（１０）与压簧片（１１）、摩擦片（９）相接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：章海军，何玉琳，张冬仙，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：实用新型
国别省市：86[中国|杭州]