真空溅射镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种真空溅射镀膜装置，其包括镀膜室，所述镀膜室的上方和下方分别设有上阴极靶管以及下阴极靶管，所述镀膜室的中部的两侧设有位于上阴极靶管和下阴极靶管之间的基片载盘，两个所述基片载盘之间夹持有待镀膜基片，所述镀膜室上设有与所述基片载盘滑动连接的磁流体传动单元，所述磁流体传动单元和所述基片载盘之间设有绝缘组件。本实用新型专利技术提供的真空溅射镀膜装置将磁流体传动单元和基片载盘通过绝缘组件隔离开来，能够降低打火现象发生的概率，从而能够更好地保护产品。从而能够更好地保护产品。从而能够更好地保护产品。

【技术实现步骤摘要】
真空溅射镀膜装置


[0001]本技术涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空溅射镀膜装置。

技术介绍

[0002]真空磁控溅射镀膜设备能够生产出广泛应用于生活中的镀膜玻璃，在实际生产过程中，玻璃基板依靠传送辊的传送实现在真空腔室中的移动。真空腔室中的传送辊在连续工作过程中，玻璃与传送辊道间会形成电势差，一定程度的电势差会产生打火现象而报废产品。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提供一种真空溅射镀膜装置，旨在解决上述技术问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提出的一种真空溅射镀膜装置包括镀膜室，所述镀膜室的上方和下方分别设有上阴极靶管以及下阴极靶管，所述镀膜室的中部的两侧设有位于上阴极靶管和下阴极靶管之间的基片载盘，两个所述基片载盘之间夹持有待镀膜基片，所述镀膜室上设有与所述基片载盘滑动连接的磁流体传动单元，所述磁流体传动单元和所述基片载盘之间设有绝缘组件。
[0005]在一实施例中，所述磁流体传动单元的端部设有传动轮，所述基片载盘滑动设置在所述传动轮上。
[0006]在一实施例中，所述绝缘组件包括绝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述真空溅射镀膜装置包括镀膜室，所述镀膜室的上方和下方分别设有上阴极靶管以及下阴极靶管，所述镀膜室的中部的两侧设有位于上阴极靶管和下阴极靶管之间的基片载盘，两个所述基片载盘之间夹持有待镀膜基片，所述镀膜室上设有与所述基片载盘滑动连接的磁流体传动单元，所述磁流体传动单元和所述基片载盘之间设有绝缘组件。2.根据权利要求1所述的真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述磁流体传动单元的端部设有传动轮，所述基片载盘滑动设置在所述传动轮上。3.根据权利要求2所述的真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述绝缘组件包括绝缘套以及绝缘螺钉，所述绝缘套套装在所述磁流体传动单元的端部，所述传动轮套装在所述绝缘套外部，所述绝缘螺钉自所述传动轮的端部依次穿设所述传动轮和所述绝缘套与所述磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝海生，力家东，黄乐，孙桂红，潘继峰，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：