晶圆储存盒专用转运夹爪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆储存盒专用转运夹爪，包括与多轴机械臂相连的底座，还包括U形爪叉、位置开关以及位置检测传感器，所述U形爪叉连接至所述底座，在所述U形爪叉内侧设有与晶圆储存盒匹配的导轨，所述U形爪叉前端的两个支爪上各设有一个所述位置开关，由所述位置开关确定所述U形爪叉的位置，所述位置检测传感器分别布设在所述U形爪叉末端的两侧用于检测晶圆储存盒是否装夹至指定位置。本申请用于安装在自走车上，可精确且稳定的完成对晶圆储存盒的夹取和放置动作，效率高且不会对其造成损伤。成损伤。成损伤。

【技术实现步骤摘要】
晶圆储存盒专用转运夹爪


[0001]本技术涉及晶圆运输
，具体为晶圆储存盒专用转运夹爪。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，为了确保晶圆的安全储存、运输、搬运，广泛运用晶圆储存盒作为晶圆的承载工具，当晶圆储存盒需要运输转移时，现有采用人工进行搬运，不仅效率低下，由于人为因素原因还会对晶圆储存盒造成损伤。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术的不足，本申请提供了一种晶圆储存盒专用转运夹爪，包括与多轴机械臂相连的底座，还包括U形爪叉、位置开关以及位置检测传感器，所述U形爪叉连接至所述底座，在所述U形爪叉内侧设有与晶圆储存盒匹配的导轨，所述U形爪叉前端的两个支爪上各设有一个所述位置开关，由所述位置开关确定所述U形爪叉的位置，所述位置检测传感器分别布设在所述U形爪叉末端的两侧用于检测晶圆储存盒是否装夹至指定位置。
[0004]进一步的，所述U形爪叉上还设置检测探头用于检测待装夹位置上是否放置晶圆储存盒。
[0005]进一步的，所述U形爪叉上两个支爪前端设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆储存盒专用转运夹爪，包括与多轴机械臂相连的底座，其特征在于：还包括U形爪叉、位置开关以及位置检测传感器，所述U形爪叉连接至所述底座，在所述U形爪叉内侧设有与晶圆储存盒匹配的导轨，所述U形爪叉前端的两个支爪上各设有一个所述位置开关，由所述位置开关确定所述U形爪叉的位置，所述位置检测传感器分别布设在所述U形爪叉末端的两侧用于检测晶圆储存盒是否装夹至指定位置。2.根据权利要求1所述的晶圆储存盒专用转运夹爪，其特征在于：所述U形爪叉上还设置检测探头用于检测待装夹位置上是否放置晶圆储存盒。3.根据权利要求1所述的晶圆储存盒专用转运夹爪，其特征在于：所述U形爪叉上两个支爪前端设置碰撞门闸，所述碰撞...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵颖，
申请(专利权)人：捷螺系统苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：