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本实用新型公开了一种晶圆储存盒专用转运夹爪，包括与多轴机械臂相连的底座，还包括U形爪叉、位置开关以及位置检测传感器，所述U形爪叉连接至所述底座，在所述U形爪叉内侧设有与晶圆储存盒匹配的导轨，所述U形爪叉前端的两个支爪上各设有一个所述位置开关...
该专利属于捷螺系统（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过捷螺系统（苏州）有限公司授权不得商用。

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