一种平面靶材快速冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种平面靶材快速冷却装置，包括底座，底座两侧设有安装板，两侧安装板之间设有主动转轴和从动转轴，主动转轴的两边设有主动转轮，从动转轴的两边设有从动转轮，主动转轮与从动转轮之间套有输送链板，输送链板上设有多个放置组件，每侧安装板的上端均设有支撑板，支撑板上设有多个圆形散热风口，两侧支撑板的上方设有顶板，顶板的下端面上设有蛇形冷水管；本实用新型专利技术结构简单，设计新颖，通过输送连板可带动放置组件上的靶材进行传输，从而使靶材在一边传送的过程中，一边利用蛇形冷水管和散热风扇进行冷却，不仅能够大大缩短冷却时间，提高冷却效果，还能够将已冷却的靶材直接传送至下一工序，大大节省了人力。力。力。

【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材快速冷却装置


[0001]本技术涉及靶材冷却
，具体为一种平面靶材快速冷却装置。

技术介绍

[0002]圆形平面靶材在加工过程中，需要对靶材料升温至230℃～360℃，以达到绑定层的熔点，保持绑定层材料流动性，从而完成基片和背板之间的绑定结合，然后对绑定靶材进行冷却，才能进入下一道工序；
[0003]现有技术中通常采用自然冷却的方式进行降温，这样不仅冷却用时较长，而且冷却后还需要工作人员收集送至下一工序加工处。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种平面靶材快速冷却装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种平面靶材快速冷却装置，包括底座，所述底座两侧设有安装板，两侧所述安装板之间设有主动转轴和从动转轴，所述主动转轴和从动转轴分别位于安装板的两端，所述主动转轴的两边设有主动转轮，所述从动转轴的两边设有从动转轮，所述主动转轮与从动转轮之间套有输送链板，所述输送链板上设有多个放置组件，每侧所述安装板的上端均设有支撑板，所述支撑板上设有多个圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面靶材快速冷却装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）两侧设有安装板（11），两侧所述安装板（11）之间设有主动转轴（2）和从动转轴（3），所述主动转轴（2）和从动转轴（3）分别位于安装板（11）的两端，所述主动转轴（2）的两边设有主动转轮（21），所述从动转轴（3）的两边设有从动转轮（31），所述主动转轮（21）与从动转轮（31）之间套有输送链板（32），所述输送链板（32）上设有多个放置组件（4），每侧所述安装板（11）的上端均设有支撑板（12），所述支撑板（12）上设有多个圆形散热风口（121），两侧所述支撑板（12）的上方设有顶板（13），所述顶板（13）的下端面上设有蛇形冷水管（5）。2.根据权利要求1所述的一种平面靶材快速冷却装置，其特征在于：所述主动转轴（2）的一端通过传动...

【专利技术属性】
技术研发人员：常代展，王雷，
申请(专利权)人：江苏海泰新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：