一种声表面波谐振器组件和滤波器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种声表面波谐振器组件和滤波器，涉及半导体领域，该谐振器组件包括压电基底和形成在压电基底上的若干个谐振器组，每个谐振器组包括多个串联连接的谐振器，每个谐振器包括叉指换能器和反射栅，叉指换能器和反射栅在声表面波传播方向上排列，反射栅设置于叉指换能器的两侧；每个谐振器组在垂直声表面波传播方向的两侧设置有汇流条；多个串联连接的谐振器中两侧谐振器的孔径小于中间谐振器的孔径。本申请通过改变串联连接的谐振器的结构设计，调节多个谐振器间的散热情况，增加了叉指换能器整体的抗应力迁移能力，进而提升整个声表面波滤波器的功率耐受特性。进而提升整个声表面波滤波器的功率耐受特性。进而提升整个声表面波滤波器的功率耐受特性。

【技术实现步骤摘要】
一种声表面波谐振器组件和滤波器


[0001]本技术涉及半导体领域，尤其是一种声表面波谐振器组件和滤波器。

技术介绍

[0002]声表面波是一种沿固体表面传播的弹性声波，其振幅随固体深度呈指数递减，声表面波滤波器由于其优异的频带选择特性，已被广泛用于军用和民用领域，但随着5G时代的到来，声表面波滤波器的中心频率越来越高，这就要求声表面波滤波器中叉指换能器的叉指宽度越来越小。小的叉指宽度严重地导致了叉指换能器的抗应力迁移能力降低，进而使整个声表面波滤波器的功率耐受降低，因此对于如何提升声表面波滤波器的功率问题变得及其重要。
[0003]声表面波滤波器工作时，叉指换能器叉指处的原子迁移被热加速，大的机械应力会使叉指换能器的叉指出现小丘或者小孔，甚至会导致一根或多根声表面波谐振器的叉指断裂，进而导致声表面波滤波器的损坏。在现有的技术方案中，通过将机械应力容易集中的声表面波谐振器分割成多个相同谐振器的串联，当输入电力激励声表面波时，产生的机械应力被分散到多个谐振器，从而达到提高整个滤波器器件功率耐受性地目的。然而，在将单个声表面波谐振器分割成多个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声表面波谐振器组件，其特征在于，包括压电基底和形成在压电基底上的若干个谐振器组，每个谐振器组包括多个串联连接的谐振器，每个谐振器包括叉指换能器和反射栅，叉指换能器和反射栅在声表面波传播方向上排列，反射栅设置于叉指换能器的两侧；每个谐振器组在垂直声表面波传播方向的两侧设置有汇流条；多个串联连接的谐振器中两侧谐振器的孔径小于中间谐振器的孔径。2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器组件，其特征在于，多个串联连接的谐振器中相邻两个谐振器之间在声表面波传播方向上的相对位移大于声表面波的波长。3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器组件，其特征在于，多个串联连接的谐振器中至少两个谐振器的同一侧的反射栅相互连接。4.根据权利要求3所述的声表面波谐振器组件，其特征在于，汇流条与距离最近的反射栅相连接。5.根据权利要求1所述的声表面波谐振器...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛青山，韦鹏，邓士宝，陆增天，
申请(专利权)人：无锡市好达电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：