散射光场全息范围三维位移测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种散射光场全息范围三维位移测量装置，本实用新型专利技术装置主要由第一激光器、第二激光器、第一分光镜、扩束准直单元、第二分光镜、第三分光镜、第四分光镜、平面镜和相机组成，通过结合散射光场的全息测量和数字图像相关等技术，实现高散射物体三维矢量位移的动态测量。本实用新型专利技术测量装置采用双波长，实现光路复用，比现有的基于散射光场的三维位移与位移测量技术更简单和实用，且位移测量范围相比于单波长而言更大。量范围相比于单波长而言更大。量范围相比于单波长而言更大。

【技术实现步骤摘要】
散射光场全息范围三维位移测量装置


[0001]本技术涉及光学测量的
，具体是一种散射光场全息大范围三维位移测量装置。

技术介绍

[0002]随着机械制造、半导体工业等行业精密加工技术的迅猛发展，相应的对于各类超精密器件或光学元件的工艺要求日益增加。对于许多要求各部件精准配合的场合，如航空航天、微型医疗机器人等，如何获得精密元件的位移或形变是一个非常关键的问题。
[0003]在现有的测量方法中，传统的接触式位移测量方法测量速度慢，而且会引入人为的受力干扰，也可能会因接触力而对物体表面造成磨损，因此不太适合精密元件的测量。在非接触测量方法中，数字全息技术具有无接触式测量、全场测量纳米级的高精度等优点，是一种十分理想的高精度位移检测手段。但是数字全息技术一般用于镜面表面物体的测量，对于散射表面的物体失效。同时，单一的数字全息装置并不适用于三维矢量位移的测量。若想实现同步三维矢量位移同步测量，往往需要三套数字全息装置，每一套负责一个维度形变的测量。然而，三套数字全息装置的安装较为复杂。同时信息的利用效率不高，只利用了相位图，而三个装置的强本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种散射光场全息范围三维位移测量装置，其特征在于，包括第一激光器(1)、第二激光器(2)、第一分光镜(3)、扩束准直单元(4)、第二分光镜(5)、平面镜(6)、第三分光镜(7)、第四分光镜(9)和相机(10)；第一分光镜(3)正对第一激光器(1)和第二激光器(2)的激光发射口，将两束激光进行合束，扩束准直单元(4)、第二分光镜(5)、第三分光镜(7)、待测物体(8)依次排成一排位于第一分光镜(3)的合束光路上，待测物体(8)将照射在其表面的光反射后由第三分光镜(7)反射，平面镜(6)位于第二分光镜(5)的反射光路上，第四分光镜(9)位于第三分光镜(7)和平面镜(6)的反射光路的交叉位置处，相机(10)位于第四分光镜的合束光路上。2.根据权利要求1所述的散射光场全息范围三维位移测量装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫浩，马伯乐，杨佳苗，陈梁友，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：新型
国别省市：