阵列基板、包含其的数字X射线探测器及其制造方法技术

阵列基板、包含其的数字X射线探测器及其制造方法。不使用单独的掩模工序，而利用同一掩模使用同一掩模工序形成PIN二极管的下电极和覆盖PIN二极管的第二保护层，从而减少掩模工序的数量，因此提高工艺效率。此外，对PIN二极管的下电极进行图案化，然后对覆盖PIN二极管的第二保护膜进行图案化，使得使用单个掩模工序执行在前图案化和在后图案化，从而减少由于异物或污渍导致的缺陷的增加。于异物或污渍导致的缺陷的增加。于异物或污渍导致的缺陷的增加。

【技术实现步骤摘要】
阵列基板、包含其的数字X射线探测器及其制造方法


[0001]本公开涉及一种能够减少掩模工序的数量以提高工艺效率并减少薄膜晶体管的劣化的用于数字X射线探测器的阵列基板的制造方法，一种通过该方法制造的用于数字X射线探测器的阵列基板，以及一种包含该阵列基板的数字X射线探测器。

技术介绍

[0002]由于X射线具有短波长，所以X射线能够容易地透过物体。X射线的透射率取决于物体的内部密度。因此，可以通过检测X射线透过物体时的透射率来观察物体的内部结构。
[0003]医学领域中使用的基于X射线的检查方法中的一种是胶片打印方案。然而，在胶片打印方案中，为了察看结果，拍摄图像，然后打印胶片。因此，察看结果需要很长时间。特别地，在胶片打印方案中，存储和保护打印的胶片存在许多困难。
[0004]近来，使用薄膜晶体管的数字X射线探测器(DXD)已经被开发出来并在医学领域得到了广泛使用。
[0005]数字X射线探测器检测透过物体的X射线的透射率，并基于透射率在显示器上显示物体的内部状态。
[0006]因此，数字X射线探测器可以在不使用单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于数字X射线探测器的阵列基板的制造方法，所述方法包括：设置具有有源区域和焊盘区域的基底基板；在所述基底基板上并且在所述有源区域中形成薄膜晶体管；在所述基底基板上形成第一保护层以覆盖所述薄膜晶体管；在所述第一保护层上形成下电极膜；在所述下电极膜上并且在所述有源区域中形成PIN层，即，P型/I型/N型半导体层和上电极；在所述下电极膜上形成第二保护膜以覆盖所述PIN层和所述上电极；以及对所述第二保护膜进行图案化以形成第二保护层，并且对所述下电极膜进行图案化以在所述有源区域中形成下电极，其中，使用同一掩模工序对所述第二保护膜和所述下电极膜进行图案化。2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述有源区域中，所述第二保护层被图案化为与所述下电极相对应的图案。3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述下电极膜和所述第二保护膜中的每一个形成为覆盖所述基底基板的整个表面。4.根据权利要求1所述的方法，其中，使用具有预定图案的掩模对所述第二保护膜进行图案化，然后使用与在所述第二保护膜的图案化工序中同一掩模对所述下电极膜进行图案化。5.根据权利要求4所述的方法，其中，使用干蚀刻对所述第二保护膜进行图案化，使用湿蚀刻对所述下电极膜进行图案化。6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法进一步包括：在形成所述第一保护层之前，在所述基底基板上并且在所述焊盘区域中形成焊盘电极。7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述薄膜晶体管包括有源层、第一电极、第二电极和栅极，其中，使用同一掩模工序形成所述焊盘电极、所述第一电极和所述第二电极。8.根据权利要求6所述的方法，其中，形成所述下电极包括对所述下电极膜进行图案化以在所述焊盘区域中形成焊盘连接电极。9.根据权利要求8所述的方法，其中，使用同一掩模工序形成所述下电极和所述焊盘连接电极。10.根据权利要求8所述的方法，其中，在所述焊盘区域中，所述第二保护层被图案化为与所述焊盘连接电极相对应的图案。11.根据权利要求8所述的方法，其中，所述方法进一步包括：在形成所述第二保护层和所述下电极之后，在所述有源区域和所述焊盘区域中分别形成偏压电极和焊盘接触电极，其中，使用同一掩模工序形成所述偏压电极和所述焊盘接触电极。12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述方法进一步包括在所述焊盘区域中形成覆盖所述焊盘接触电极的焊盘保护电极。13.一种数字...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹載皓，張棟現，朴時亨，姜汶秀，李東桓，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：