一种电化学刻蚀装置及刻蚀方法制造方法及图纸

本申请公开了一种电化学刻蚀装置及刻蚀方法，所述电化学刻蚀装置包括：刻蚀调节模块、控制电路模块和电化学池，所述刻蚀调节模块中设置有待制备的电子源器件，所述电子源器件的一端与所述控制电路模块连接，另一端浸没在所述电化学池内，所述电化学池的一端与所述控制电路模块连接；其中，所述控制电路模块用于对所述电子源器件和所述电化学池施加预设电压和电流，以使得浸没在所述电化学池内的电子源器件进行电解刻蚀，形成具有微凸起针尖的电子源器件。应用本发明专利技术提供的技术方案，通过电化学刻蚀法，将LaB6的材料特性和理想的电子束发射微观结构结合，可以形成具有微凸起针尖的LaB6电子源器件，提高电子源的发射性能。提高电子源的发射性能。提高电子源的发射性能。

【技术实现步骤摘要】
一种电化学刻蚀装置及刻蚀方法


[0001]本专利技术涉及材料及电子源
，尤其是涉及一种电化学刻蚀装置及刻蚀方法。

技术介绍

[0002]近年来，在扫描电子显微镜、电子束光刻机等电子束设备领域，人们一直追求更好光束质量和更高亮度的电子源。为了限制电子光学成像系统中的像差，比较好的方法就是使用发射面积小且发射角小的电子源。因此，为了实现电子源高分辨率的目的，可以通过控制电子源发射电子的面积和发散角来调控。但减小发射面积，则会大幅减小出射电子的束流。因此，如何获得小的电子束发散角，是本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术提供了一种电化学刻蚀装置及刻蚀方法，通过电化学刻蚀法，将LaB6的材料特性和理想的电子束发射微观结构结合，可以形成具有微凸起针尖的LaB6电子源器件，提高电子源的发射性能。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0005]一种电化学刻蚀装置，所述电化学刻蚀装置包括：刻蚀调节模块、控制电路模块和电化学池，所述刻蚀调节模块中设置有待制备的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电化学刻蚀装置，其特征在于，所述电化学刻蚀装置包括：刻蚀调节模块、控制电路模块和电化学池，所述刻蚀调节模块中设置有待制备的电子源器件，所述电子源器件的一端与所述控制电路模块连接，另一端浸没在所述电化学池内；其中，所述控制电路模块用于对所述电子源器件和所述电化学池施加预设电压和电流，以使得浸没在所述电化学池内的电子源器件进行电解刻蚀，形成具有微凸起针尖的电子源器件。2.根据权利要求1所述的电化学刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀调节模块包括：L型支架、配有测微头的手动滑台、工作台架以及所述电子源器件，所述工作台架的安装面与工作台面垂直，所述手动滑台固定在所述工作台架上，所述L型支架固定在所述手动滑台上，所述L型支架上固定连接所述电子源器件。3.根据权利要求2所述的电化学刻蚀装置，其特征在于，所述电子源器件为LaB6电子源器件。4.根据权利要求3所述的电化学刻蚀装置，其特征在于，所述LaB6电子源器件包括：金属电极柱、绝缘座、导电加热片、导热座以及待制备的LaB6棒料，所述LaB6棒料的一端与所述控制电路模块连接，另一端浸没在所述电化学池内；其中，所述金属电极柱用于通电，所述金属电极柱贯穿所述绝缘座，并与所述导电加热片固定连接，所述LaB6棒料固定在所述导热座上，通过所述导热座与所述导电加热片连接；当所述金属电极柱通电后，所述导电加热片对所述导热座产生高温，并传递到所述LaB6棒料上，所述LaB6棒料在外电场的作用下可发射出电子束。5.根据权利要求1所述的电化学刻蚀装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴长征，谢毅，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：