温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种电化学刻蚀装置及刻蚀方法，所述电化学刻蚀装置包括：刻蚀调节模块、控制电路模块和电化学池，所述刻蚀调节模块中设置有待制备的电子源器件，所述电子源器件的一端与所述控制电路模块连接，另一端浸没在所述电化学池内，所述电化学池的一端与...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。