一种扫描电镜样品台制造技术

技术编号:33853984 阅读:59 留言:0更新日期:2022-06-18 10:41
本实用新型专利技术涉及一种扫描电镜样品台,所述样品台包括:环状固定卡槽、定位块、定位标记、底座、插头、紧固螺丝。本实用新型专利技术利用带有定位块的环状卡槽固定镶嵌样品的位置,通过记录定位标记与特征区域的相对位置,达到快速准确再次定位特征点的目的,解决目前进行扫描电镜观察的样品取出后无法快速再次找到样品中的观察点的难题,同时可以提高样品多次反复观察的效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜样品台


[0001]本专利技术设计属于辅助检测设备
,特别涉及一种扫描电镜样品台。

技术介绍

[0002]目前市场上大部分扫描电镜均能适配带有燕尾槽的九孔台,但其带燕尾槽的样品台在放置较大的镶嵌样品时,样品与样品台的相对位置和方向不能固定,样品取出电镜后再次放入电镜中进行二次观察时无法快速找到之前关注的特征区域。此外,如样品存在多个相似区域或样品特征区域被破坏时,基本无法找到特征区域。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是,克服现有技术试验过程中镶嵌样品在二次观察时难以找到特征区域的难题,提供一种快速寻找样品特征区域的样品台。
[0004]为了实现上述技术目的,本技术采用的技术方案为:
[0005]一种扫描电镜样品台,包括环状固定卡槽、定位块、定位标记、底座、插头和紧固螺丝;所述环状固定卡槽焊接于底座表面中央,所述环状固定卡槽内侧焊接固定一个定位块,所述固定卡槽侧壁上设有用于固定样品的紧固螺丝,且所述紧固螺丝与定位块对称;所述定位标记位于底座表面左上角处,底座下面设有四个等间距的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜样品台,其特征在于:包括环状固定卡槽(1)、定位块(2)、定位标记(3)、底座(4)、插头(5)和紧固螺丝(6);所述环状固定卡槽(1)焊接于底座(4)表面中央,所述环状固定卡槽(1)内侧焊接固定一个定位块(2),所述固定卡槽(1)侧壁上设有紧固螺丝(6),且所述紧固螺丝(6)与定位块(2)对称;所述定位标记(3)位于底座(4)表面左上角处,所述底座(4)下面设有四个等间距的插头(5)。2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品台,其特征在于:所述环状固定卡槽(1)内径为30

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【专利技术属性】
技术研发人员:王晓东吴园园金传伟张继明
申请(专利权)人:江苏省沙钢钢铁研究院有限公司
类型:新型
国别省市:

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