纳米探针台高低温测试辅助工具制造技术

本发明专利技术提供了一种纳米探针台高低温测试辅助工具，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂、两个固定半环及至少一个锁紧环，两个夹持臂的一端相互连接，两个夹持臂的另一端分别与两个固定半环连接，两个夹持臂的另一端能够相对运动以使两个固定半环相互靠近并从样品固定器的两侧夹紧样品固定器，两个夹持臂上对应设置有至少一个锁紧槽，锁紧环卡入两个夹持臂上对应的锁紧槽内以固定两个夹持臂的张开角度，旋转两个夹持臂能够带动样品固定器旋转。通过用手操纵两个夹持臂夹紧样品固定器，然后再将锁紧环固定张开角度，通过人手旋转夹持臂来带动样品固定器旋转，避免了用手直接旋转样品固定器易触碰到纳米探针台上的探针的问题。米探针台上的探针的问题。米探针台上的探针的问题。

【技术实现步骤摘要】
纳米探针台高低温测试辅助工具


[0001]本专利技术涉及半导体失效分析
，尤其涉及一种纳米探针台高低温测试辅助工具。

技术介绍

[0002]纳米探针台(Nano Prober)是一种集成了扫描电子显微镜(SEM)的纳米探针系统，可对集成电路芯片中的器件进行纳米级失效分析，如电学特性参数测量、纳米级断路及短路失效定位、高低温特性量测等。对于常规测试，只需要将样品粘贴在普通的固定器上，通过样品传送杆送进检测腔室内部，随后进行测试即可。然而高低温测试需要特殊的样品台，以及带有螺纹的样品固定器来放置样品，放样品时，首先要把样品台升到特定位置，然后手持样品固定器进行旋转数圈后将螺纹旋紧以将样品固定器固定在所述样品台上。具体请参照图1，图1为现有技术中提供的样品固定器的结构示意图，所述样品固定器包括承载台10及连接杆11，所述承载台10的上表面设置有一待测样品，所述连接杆11的一端与所述承载台10的下表面连接，另一端设置有外螺纹并通过所述外螺纹与所述纳米探针台螺纹连接。可以理解为所述纳米探针台上的设定位置处设置有螺纹孔，通过将所述连接杆11旋入所述螺纹孔内以将所述样品固定器固定在所述纳米探针台上。
[0003]然而在实际操作中发现，手持所述样品固定器进行旋转数圈后进行固定的过程中存在较大风险，人手极易碰到价格昂贵的探针，造成针尖损坏，影响工作效率，增加测试成本。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种纳米探针台高低温测试辅助工具，能够有效解决用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题。
[0005]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种纳米探针台高低温测试辅助工具，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂、两个固定半环及至少一个锁紧环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并从所述样品固定器的两侧夹紧所述样品固定器，两个所述夹持臂上对应设置有至少一个锁紧槽，所述锁紧环卡入两个所述夹持臂上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂的张开角度，旋转两个所述夹持臂能够带动所述样品固定器旋转。
[0006]可选的，所述夹持臂与所述固定半环可拆卸连接，所述锁紧槽为多个，多个所述锁紧槽沿所述夹持臂的轴向等间距分布。
[0007]可选的，所述锁紧槽为凹形槽。
[0008]可选的，所述夹持臂靠近所述固定半环的一端的外壁上刻设有凹凸不平的纹路。
[0009]可选的，两个所述固定半环的内壁上对应设置有用于夹紧所述样品固定器的弧形凹槽。
[0010]可选的，所述固定半环包括半环形的夹持部和连接部，所述夹持部的半径大于所述连接部的半径以使所述夹持部相对所述连接部向内凹陷形成所述弧形凹槽，所述夹持部的内壁与所述样品固定器的外壁接触。
[0011]可选的，所述弧形凹槽的内壁上设置有一弹性层。
[0012]可选的，所述弹性层为橡胶。
[0013]可选的，所述夹持臂、所述固定半环及所述锁紧环的材质均为金属。
[0014]可选的，所述夹持臂、所述固定半环及所述锁紧环的材质均为不锈钢。
[0015]本专利技术提供了一种纳米探针台高低温测试辅助工具，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，通过用手操纵两个所述夹持臂相对运动以夹紧所述样品固定器，然后再将所述锁紧环卡入两个所述夹持臂上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂的张开角度，不仅能够将所述样品固定器夹紧，还便于人手直接旋转所述夹持臂来带动所述样品固定器旋转，由于夹持臂具有一定的长度，避免了用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免了对探针造成损坏，节约了测试成本，以及减少了因探针损坏而产生的换针时间，提高了工作效率。
附图说明
[0016]本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本专利技术，而不对本专利技术的范围构成任何限定。其中：
[0017]图1为现有技术中提供的样品固定器的结构示意图；
[0018]图2为本专利技术实施例提供的纳米探针台高低温测试辅助工具的结构示意图；
[0019]图3为本专利技术实施例提供的固定半环的结构示意图；
[0020]图4为本专利技术实施例提供的弹性层的结构示意图；
[0021]其中，附图标记为：
[0022]1‑
样品固定器；2
‑
夹持臂；3
‑
固定半环；4
‑
锁紧环；5
‑
纹路；6
‑
弧形凹槽；7
‑
弹性层；
[0023]10
‑
承载台；11
‑
连接杆；30
‑
夹持部；31
‑
连接部。
具体实施方式
[0024]为使本专利技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
[0025]如在本专利技术中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，除非内容另外明确指出外。如在本专利技术中所使用的，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本专利技术中所使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本专利技术中所使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征。
[0026]如图2所示，图2为本专利技术实施例提供的纳米探针台高低温测试辅助工具的结构示意图，本实施例提供了一种纳米探针台高低温测试辅助工具，用于将一样品固定器1固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂2、两个固定半环3及至少一个锁紧环4，两个所述夹持臂2的一端相互连接，两个所述夹持臂2的另一端分别与两个所述固定半环3连接，两个所述夹持臂2的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环3相互靠近并从所述样品固定器1的两侧夹紧所述样品固定器1，两个所述夹持臂2上对应设置有至少一个锁紧槽，所述锁紧环4卡入两个所述夹持臂2上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂2的张开角度，旋转两个所述夹持臂2能够带动所述样品固定器1旋转。
[0027]通过用手操纵两个所述夹持臂2相对运动以夹紧所述样品固定器1，然后再将所述锁紧环4卡入两个所述夹持臂2上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂2的张开角度，不仅能够将所述样品固定器1夹紧，还便于人手直接旋转所述夹持臂2来带动所述样品本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米探针台高低温测试辅助工具，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，其特征在于，包括两个夹持臂、两个固定半环及至少一个锁紧环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并从所述样品固定器的两侧夹紧所述样品固定器，两个所述夹持臂上对应设置有至少一个锁紧槽，所述锁紧环卡入两个所述夹持臂上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂的张开角度，旋转两个所述夹持臂能够带动所述样品固定器旋转。2.如权利要求1所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，所述夹持臂与所述固定半环可拆卸连接，所述锁紧槽为多个，多个所述锁紧槽沿所述夹持臂的轴向等间距分布。3.如权利要求1或2所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，所述锁紧槽为凹形槽。4.如权利要求1所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，所述夹持臂靠近所述固定半环的一端的...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵新伟，高金德，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：