显示装置及制造显示装置的方法制造方法及图纸

技术编号:33847319 阅读:16 留言:0更新日期:2022-06-18 10:32
本发明专利技术提供一种制造显示装置的方法和一种显示装置。制造显示装置的方法可以包括:在基底上形成有源图案,所述有源图案包括第一区域、与所述第一区域间隔开的第二区域以及设置在所述第一区域与所述第二区域之间的第三区域;在所述有源图案上形成绝缘层;在所述绝缘层中限定暴露所述第一区域的一部分的第一接触孔、暴露所述第二区域的一部分的第二接触孔以及暴露所述第三区域的开口;在基本上同一时间在所述绝缘层上形成填充所述第一接触孔和所述第二接触孔的导电图案并去除所述第三区域;并且在所述导电图案上形成平坦化层。并且在所述导电图案上形成平坦化层。并且在所述导电图案上形成平坦化层。

【技术实现步骤摘要】
显示装置及制造显示装置的方法


[0001]实施例涉及一种显示装置。更具体地,实施例涉及一种有机发光显示装置以及制造有机发光显示装置的方法。

技术介绍

[0002]显示装置可以包括多个像素,该多个像素发射用于显示图像的光。多个像素中的每一个可以包括用于产生驱动电流的多个晶体管以及用于基于驱动电流发射光的发光元件。
[0003]每个像素的多个晶体管可以包括有源图案,有源图案包括半导体材料。

技术实现思路

[0004]当有源图案包括彼此电分离的区域时,在制造或使用显示装置的过程中所引入的静电可能损坏有源图案。
[0005]实施例提供了一种制造显示装置的方法,该方法用于防止显示装置在制造过程中被损坏。
[0006]实施例提供了一种具有改善的显示质量的显示装置。
[0007]实施例中的制造显示装置的方法可以包括:在基底上形成有源图案,有源图案包括第一区域、与第一区域间隔开的第二区域以及设置在第一区域与第二区域之间的第三区域;在有源图案上形成绝缘层;在绝缘层中限定暴露第一区域的一部分的第一接触孔、暴露第二区域的一部分的第二接触孔以及暴露第三区域的开口;在基本上同一时间在绝缘层上形成填充第一接触孔和第二接触孔的导电图案并去除第三区域;并且在导电图案上形成平坦化层。
[0008]在实施例中,在基本上同一时间形成导电图案并去除第三区域可以包括:在绝缘层上形成填充第一接触孔和第二接触孔以及开口的导电层并且蚀刻导电层的填充开口的一部分以及第三区域。
[0009]在实施例中,平坦化层可以接触彼此面对的第一区域的侧表面和第二区域的侧表面。
[0010]在实施例中,该方法可以进一步包括在形成有源图案之前在基底上形成缓冲层。
[0011]在实施例中,平坦化层可以接触缓冲层。
[0012]在实施例中,在基本上同一时间形成导电图案并去除第三区域可以包括部分地蚀刻缓冲层的与第三区域重叠的一部分。
[0013]在实施例中,第一接触孔、第二接触孔以及开口可以在基本上同一时间被限定。
[0014]在实施例中,在基本上同一时间形成导电图案并去除第三区域之后,第一区域和第二区域可以物理上彼此分离。
[0015]在实施例中,绝缘层可以包括顺序地堆叠在有源图案上的栅极绝缘层、第一层间绝缘层以及第二层间绝缘层。
[0016]实施例中的显示装置可以包括:有源图案,该有源图案设置在基底上并且包括第一区域以及与第一区域间隔开的第二区域;绝缘层,该绝缘层设置在有源图案上并且在绝缘层中限定分别暴露第一区域的一部分和第二区域的一部分的第一接触孔和第二接触孔;导电图案,该导电图案设置在绝缘层上并且分别通过第一接触孔和第二接触孔接触第一区域和第二区域;以及平坦化层,该平坦化层设置在导电图案上并接触彼此面对的第一区域的侧表面和第二区域的侧表面。
[0017]在实施例中,显示装置可以进一步包括设置在基底与有源图案之间的缓冲层。
[0018]在实施例中,与在第一区域与第二区域之间的一部分重叠的开口可以限定在绝缘层中。
[0019]在实施例中,平坦化层可以通过开口接触缓冲层。
[0020]在实施例中,缓冲层可以具有与第一区域与第二区域之间的一部分重叠的沟槽。
[0021]在实施例中,显示装置可以进一步包括:驱动晶体管,该驱动晶体管产生驱动电流;发光二极管,该发光二极管基于驱动电流发射光;第一初始化晶体管,该第一初始化晶体管向驱动晶体管的栅极电极提供第一初始化电压;以及第二初始化晶体管,该第二初始化晶体管向发光二极管的阳极电极提供与第一初始化电压不同的第二初始化电压。
[0022]在实施例中,第一区域可以是第一初始化晶体管的源极电极,并且第二区域可以是第二初始化晶体管的源极电极。
[0023]在实施例中,显示装置可以进一步包括:第一初始化电压线,该第一初始化电压线传输第一初始化电压并电连接到第一区域;以及第二初始化电压线,该第二初始化电压线传输第二初始化电压并电连接到第二区域。
[0024]在实施例中,显示装置可以进一步包括:驱动晶体管,该驱动晶体管产生驱动电流;存储电容器,该存储电容器包括连接到驱动晶体管的栅极电极的第一电极以及与第一电极重叠的第二电极;发光二极管,该发光二极管基于驱动电流发射光;初始化晶体管,该初始化晶体管向存储电容器的第一电极提供初始化电压;以及参考晶体管,该参考晶体管向存储电容器的第二电极提供参考电压。
[0025]在实施例中,第一区域可以是初始化晶体管的漏极电极,并且第二区域可以是参考晶体管的漏极电极。
[0026]在实施例中,显示装置可以进一步包括:初始化电压线,该初始化电压线传输初始化电压并电连接到第一区域;以及参考电压线,该参考电压线传输参考电压并电连接到第二区域。
[0027]在实施例中的制造显示装置的方法中,连接到有源图案的第一区域和第二区域的导电图案可以在去除有源图案的第三区域的基本上同一时间被提供,使得尽管在显示装置的制造过程中引入了静电,但是静电可以被分散并且有源图案可以不被损坏。
[0028]在实施例中的显示装置中,有源图案的彼此间隔开的第一区域和第二区域可以连接到导电图案,使得尽管在显示装置的制造过程或使用过程中引入静电,但是静电可以被分散并且有源图案可以不被损坏。因此,可以改善显示装置的显示质量。
附图说明
[0029]从以下结合附图进行的详细描述将更清楚地理解说明性的、非限制性的实施例。
[0030]图1是示出显示装置的平面图。
[0031]图2是示出像素的电路图。
[0032]图3是示出图2中的像素的平面图。
[0033]图4是示出沿着图3中的线I

I'所截取的显示装置的截面图。
[0034]图5、图6、图7、图8、图9、图10、图11、图12和图13是示出制造显示装置的方法的示图。
[0035]图14是示出像素的电路图。
[0036]图15是示出图14中的像素的平面图。
[0037]图16是示出沿着图15中的线II

II'所截取的显示装置的截面图。
具体实施方式
[0038]在下文中,将参考附图详细地说明实施例中的显示装置及制造显示装置的方法。
[0039]将理解的是当元件被称为“在”另一元件“上”时,它可以直接在另外一个元件上或者可以在其之间存在居间元件。相反,当元件被称为“直接在”另一元件“上”时,不存在居间元件。
[0040]将理解的是,尽管在这里可以使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各个元件、组件、区域、层和/或部分,但是这些元件、组件、区域、层和/或部分不应受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件、组件、区域、层或部分与另一元件、组件、区域、层或部分区分开。因而,在不脱离这里的教导的情况下,可以将下面所讨论的“第一元件”、“第一组件”、“第一区域”、“第一层”或“第一部分”称为“第二元件”本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制造显示装置的方法,其中,所述方法包括:在基底上形成有源图案,所述有源图案包括第一区域、与所述第一区域间隔开的第二区域以及设置在所述第一区域与所述第二区域之间的第三区域;在所述有源图案上形成绝缘层;在所述绝缘层中限定暴露所述第一区域的一部分的第一接触孔、暴露所述第二区域的一部分的第二接触孔以及暴露所述第三区域的开口;在同一时间在所述绝缘层上形成填充所述第一接触孔和所述第二接触孔的导电图案并去除所述第三区域;并且在所述导电图案上形成平坦化层。2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述在所述同一时间形成所述导电图案并去除所述第三区域包括:在所述绝缘层上形成填充所述第一接触孔和所述第二接触孔以及所述开口的导电层;并且蚀刻所述导电层的填充所述开口的一部分以及所述第三区域。3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述平坦化层接触彼此面对的所述第一区域的侧表面和所述第二区域的侧表面。4.根据权利要求1所述的方法,其中,所述方法进一步包括:在形成所述有源图案之前在所述基底上形成缓冲层。5.根据权利要求4所述的方法,其中,所述平坦化层接触所述缓冲层。6.根据权利要求4所述的方法,其中,所述在同一时间形成所述导电图案并去除所述第三区域包括部分地蚀刻所述缓冲层的与所述第三区域重叠的一部分。7.根据权利要求1所述的方法,其中,所述第一接触孔、所述第二接触孔以及所述开口在同一时间被限定。8.根据权利要求1所述的方法,其中,所述在所述同一时间形成所述导电图案并去除所述第三区域之后,所述第一区域和所述第二区域物理上彼此分离。9.根据权利要求1所述的方法,其中,所述绝缘层包括顺序地堆叠在所述有源图案上的栅极绝缘层、第一层间绝缘层以及第二层间绝缘层。10.一种显示装置,其中,所述显示装置包括:有源图案,所述有源图案设置在基底上并且包括:第一区域;以及第二区域,所述第二区域与所述第一区域间隔开;绝缘层,所述绝缘层设置在所述有源图案上并且在所述绝缘层中限定分别暴露所述第一区域的一部分和所述第二区域的一部分的第一接触孔和第二接触孔;导电图案,所述导电图案设置在所述绝缘层上并且分别通过所述第一接触孔和所述第二接触孔接触所述第一区域和所述第二区域;以及平坦化层,所述平坦化层设置在所述导电图案上并接触彼此面对的所述第一区域的侧表面和所述第二区域的侧表面。11...

【专利技术属性】
技术研发人员:柳春基文相皓
申请(专利权)人:三星显示有限公司
类型:发明
国别省市:

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