一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备制造技术

本发明专利技术公开了一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，包括上模框、第一移动支架、转动组件及升降组件；所述上模框中滑动设置有压板，所述压板与所述第一移动支架之间通过伸缩油缸连接，所述伸缩油缸的外部套设有第一弹性件；所述升降组件设置有两个分别设置在所述第一移动支架的两侧并与所述上模框之间相连接；所述转动组件设置在所述第一移动支架上，所述转动机构的两侧分别与两个所述升降组件之间传动连接；该装置通过转动组件、升降组件及真空机之间的配合，利用大气压完成进料按压，在按压材料的过程中不断提高第一移动支架的高度，经过反复的加料挤成型可将材料中气泡完全排除，并且反复的挤压可以将材料挤压的更加紧实，进而增加成型件密度。进而增加成型件密度。进而增加成型件密度。

【技术实现步骤摘要】
一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备


[0001]本专利技术属于注浆成型
，具体涉及一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备。

技术介绍

[0002]ITO是铟锡氧化物的英文缩写，其主要特征是它的薄膜既有很好的导电性，又有很高的透光率，现在全世界的ITO靶材用量在1000－1200吨；目前在制备ITO靶材坯的过程中存在ITO靶材坯的密度不均匀的现象，同时在注塑材料的过程中材料中容易出现气泡。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术存在的上述问题，本专利技术目的在于提供一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备。
[0004]本专利技术所采用的技术方案为：
[0005]一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，包括上模框、第一移动支架、转动组件及升降组件；
[0006]所述上模框中滑动设置有压板，所述压板与所述第一移动支架之间通过伸缩油缸连接，所述伸缩油缸的外部套设有第一弹性件；
[0007]所述压板上安装有真空机及进料管，所述进料管上设置有电磁阀；
[0008]所述升降组件设置有两个分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，其特征在于：包括上模框(1)、第一移动支架(10)、转动组件及升降组件；所述上模框(1)中滑动设置有压板(5)，所述压板(5)与所述第一移动支架(10)之间通过伸缩油缸(11)连接，所述伸缩油缸(11)的外部套设有第一弹性件；所述压板(5)上安装有真空机(9)及进料管(6)，所述进料管(6)上设置有电磁阀(7)；所述升降组件设置有两个分别设置在所述第一移动支架(10)的两侧并与所述上模框(1)之间相连接；所述转动组件设置在所述第一移动支架(10)上，所述转动机构的两侧分别与两个所述升降组件之间传动连接；所述转动机构在所述伸缩油缸(11)中油脂回流至油箱的过程中带动升降组件转动来提高第一移动支架(10)的高度。2.根据权利要求1所述的一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，其特征在于：还包括下模框(2)，所述下模框(2)与所述上模框(1)的尺寸相同，所述下模框(2)与上模框(1)的两侧分别通过两个伸缩气缸(3)连接。3.根据权利要求2所述的一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，其特征在于：所述上模框(1)与下模框(2)之间的闭合面之间设置有软质密封条，所述上模块与所述下模块闭合后与所述压板(5)之间形成成型腔。4.根据权利要求3所述的一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，其特征在于：所述上模框(1)还的两侧内部均设置有滑轨(4)，所述第一移动支架(10)的两侧分别滑动连接在两个的所述滑轨(4)上，所述压板(5)的外边缘与所述上模框(1)之间设置有密封边框(8)。5.根据权利要求4所述的一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，其特征在于：所述转动机构包括固定连接在所述第一移动支架(10)上的双头气缸(13)及滑动连接在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐安泰，
申请(专利权)人：株洲火炬安泰新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：