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本发明公开了一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备,包括上模框、第一移动支架、转动组件及升降组件;所述上模框中滑动设置有压板,所述压板与所述第一移动支架之间通过伸缩油缸连接,所述伸缩油缸的外部套设有第一弹性件;所述升降组件设置有两个分别设置...该专利属于株洲火炬安泰新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过株洲火炬安泰新材料有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备,包括上模框、第一移动支架、转动组件及升降组件;所述上模框中滑动设置有压板,所述压板与所述第一移动支架之间通过伸缩油缸连接,所述伸缩油缸的外部套设有第一弹性件;所述升降组件设置有两个分别设置...