一种用于管状靶材的真空烧结系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于管状靶材的真空烧结系统，第一压盖设置有第一模具，第二压盖设置有第二模具，第一模具与第二模具配合用于成型，第一保温壳与第二保温壳形成的加热腔内设置有加热装置；第一压盖设置在机架上，第二压盖固定连接在加压装置的输出端，加压装置固定连接在机架上；加压装置包括恒压装置和反馈装置，恒压装置用于提供稳定压力，反馈装置用于提供附加压力；通过反馈系统以位置为依据，当第一模具逐渐靠近第二模具时，反馈装置提供的附加压力逐渐变大，使素坯所受压力在烧结过程为逐渐变大，较小的初始力避免过早得出较大的晶粒，靶材烧结过程中各部位的累积受力的差异缩小，从而使各部位的晶粒的大小趋于均匀。从而使各部位的晶粒的大小趋于均匀。从而使各部位的晶粒的大小趋于均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种用于管状靶材的真空烧结系统


[0001]本专利技术涉及靶材烧结
，具体涉及一种用于管状靶材的真空烧结系统。

技术介绍

[0002]靶材在生产时，需要经过由粉末制成成分均匀、致密度较高的初坯(素坯)，然而初坯(素坯)是半成品，需要进行低温脱脂和烧结工艺才能得到致密度和电阻率合格的靶材，烧结工艺是靶材成型过程中的最后一个步骤，同时也是将粉末由物理结合转化为化学结合的最重要的一步。
[0003]而在烧结工艺中，热压烧结是指在一定温度下(一般是低于物相熔点的温度)，坯体在外力的作用下将气孔排出，通过物质的不断传递和迁移来提高致密度和强度，逐渐变成坚固整体的过程，热压烧结由于所需的烧结温度较低，烧结时间较短，成型所需的压力较小的特性被广泛使用；
[0004]但现有技术中，由于热压烧结过程中需要对靶材素坯同时加压加温，虽然提高温度能够缩短烧结时间，但在烧结管状素坯时，由于管状素坯与模具之间具有间隙，因此在烧结过程中加压，使素坯在热压过程中逐渐贴合模具，会使烧结过程中素坯具有较为明显的形变过程；
[0005]又由于素坯(尤其是管状素坯)初始并不平整，较大的压力会使素坯各个部位初始受力不均匀，因此各个部位由于压力的不同，将会产生不均匀的晶粒，在素坯逐渐烧结过程中，各个部位受力逐渐趋于一致，但由于各部位由于形变需要时间，各个部位受到稳定的压力的时间不同，从而使得部分晶粒尺寸较小，部分晶粒尺寸过大，造成靶材晶粒的不均匀。
[0006]因此本申请提出一种能够提高靶材晶粒均匀度的用于管状靶材的真空烧结系统。

技术实现思路

[0007]本专利技术的目的在于提供一种用于管状靶材的真空烧结系统，解决现有技术中热压烧结靶材的晶粒的不均匀的技术问题。
[0008]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0009]一种用于管状靶材的真空烧结系统，包括：机架、加压装置、第一压盖、第二压盖；
[0010]所述第一压盖与所述第二压盖滑动配合连接，所述第一压盖设置有第一模具，所述第二压盖设置有第二模具，所述第一模具与所述第二模具配合用于成型；
[0011]所述第一压盖设置在所述机架上，所述第二压盖固定连接在加压装置的输出端，所述加压装置固定连接在所述机架上；
[0012]所述加压装置包括恒压装置和反馈装置，所述恒压装置用于提供稳定压力，所述反馈装置用于提供附加压力，所述反馈装置至少包括第一工作状态与第二工作状态：
[0013]当反馈装置处于第一工作状态时，所述第一模具位于远离第二模具的位置，所述反馈装置提供的附加压力较小；
[0014]当反馈装置处于第二工作状态时，所述第一模具位于靠近第二模具的位置，所述
反馈装置提供的附加压力较大。
[0015]作为本专利技术进一步的方案：所述第二压盖包括第二保温壳，所述第二模具为成型模，所述成型模可拆卸地连接至所述第二保温壳；所述第一压盖包括第一保温壳，所述第二模具为施压板，所述第一保温壳与第二保温壳形成的加热腔内设置有加热装置。
[0016]作为本专利技术进一步的方案：所述第一保温壳与所述第二保温壳动密封连接，所述加热腔设置有连接至外部抽真空设备的接口。
[0017]作为本专利技术进一步的方案：所述恒压装置包括液压缸和第一连接管，所述液压缸底部连通至所述第一连接管的一端，所述第一连接管的另一端连通至液压泵，所述液压泵用于提供稳定压力；所述液压缸包括支撑杆、第一活塞和第二活塞，所述第一活塞与所述第二活塞均固定连接至所述支撑杆，所述第一活塞与所述第二活塞均与所述液压缸的内侧壁动密封连接，所述支撑杆的一端穿过所述第一活塞并贯穿至所述活塞杆的外部，所述支撑杆的输出端固定连接至所述第二保温壳的下端，所述第一活塞的面积大于所述第二活塞的面积，所述第一活塞、第二活塞与液压缸共同形成密闭的容积腔；
[0018]所述反馈装置包括密封头和第二连接管，所述第二保温壳靠近所述第一保温壳的一端开设有气腔，所述第二保温壳还开设有存液管，所述存液管的一端连通至所述气腔、另一端通过第一形变管连通至所述第二连接管的一端，所述第二连接管的另一端连通至所述容积腔，所述密封头动密封连接至所述气腔，所述密封头与所述气腔共同形成密闭的气室，所述密封头远离所述存液管的一端固定连接有推杆，所述第一保温壳固定连接有定位台，所述定位台与所述推杆抵接配合，所述第一保温壳相对第二保温壳的移动方向与所述密封头的移动方向相互平行；
[0019]所述第一保温壳相对所述第二保温壳移动时，所述容积腔的体积变化小于所述气室的体积变化。
[0020]作为本专利技术进一步的方案：所述机架包括底板、立板、滑块和连接杆，所述底板上端固定连接有所述立板，所述立板开设有滑道，所述滑道可滑动地连接有所述滑块，所述滑块可相对所述滑道锁定，所述滑块固定连接有所述连接杆，所述连接杆固定连接至所述第一压盖，所述加压装置固定连接至所述底板。
[0021]作为本专利技术进一步的方案：所述第一压盖还包括密封壳和连接轴，所述密封壳固定连接至所述第一保温壳，所述密封壳动密封连接有驱动扇叶，所述连接轴可转动的连接至所述第一保温壳，所述连接轴的一端固定连接至所述驱动扇叶、另一端固定连接有主动齿轮，所述第一保温壳可转动的连接有第三从动齿轮，所述第三从动齿轮的内侧与所述主动齿轮啮合，所述第三从动齿轮的下端固定连接若干有施压杆，所述施压杆远离所述第三从动齿轮的一端可滑动的连接至所述施压板；
[0022]所述加压装置还包括稳压溢流阀，所述稳压溢流阀的输入端连通至所述液压泵，所述稳压溢流阀的稳压输出端连通至所述第一连接管，所述稳压溢流阀的溢流输出端通过第二形变管连通至所述密封壳的输入端，所述密封壳的输出端连通至所述液压泵的存液箱。
[0023]作为本专利技术进一步的方案：所述加热装置包括第一加热杆和第二加热杆，所述第一加热杆可转动的连接至所述第一保温壳，所述第一加热杆固定连接有第一从动齿轮，所述第一从动齿轮与所述主动齿轮啮合，所述第二加热杆可滑动的连接至所述第一保温壳，
所述第二加热杆固定连接有第二从动齿轮，所述第二从动齿轮与所述第三从动齿轮的外侧啮合，所述第二保温壳开设有内齿圈，所述第二从动齿轮远离所述第三从动齿轮的一端啮合至所述内齿圈。
[0024]作为本专利技术进一步的方案：所述成型模包括外导热壳和内导热壳，所述外导热壳与所述内导热壳配合形成成型腔，所述成型腔与所述施压板配合成型，所述内导热壳的中部开设有容纳腔，所述容纳腔用于容纳所述第一加热杆，所述外导热壳靠近所述第二保温壳的一侧用于容纳所述第二加热杆。
[0025]作为本专利技术进一步的方案：所述第二从动齿的上端和下端均固定连接有电极片，所述第一保温壳内固定连接有两个连接片，两个所述电极片分别连接至两个所述连接片，所述第二加热杆有多个。
[0026]作为本专利技术进一步的方案：所述加压装置还包括第一连通阀和第二连通阀，所述液压缸有多个，多个所述第一连接管均连通至所述第一连通阀，所述稳压溢流阀的稳压输出端连通至所述第一连通阀；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于管状靶材的真空烧结系统，其特征在于，包括：机架(1)、加压装置(2)、第一压盖(3)、第二压盖(4)；所述第一压盖(3)与所述第二压盖(4)滑动配合连接，所述第一压盖(3)设置有第一模具，所述第二压盖(4)设置有第二模具，所述第一模具与所述第二模具配合用于成型；所述第一压盖(3)设置在所述机架(1)上，所述第二压盖(4)固定连接在加压装置(2)的输出端，所述加压装置(2)固定连接在所述机架(1)上；所述加压装置(2)包括恒压装置和反馈装置，所述恒压装置用于提供稳定压力，所述反馈装置用于提供附加压力，所述反馈装置至少包括第一工作状态与第二工作状态：当反馈装置处于第一工作状态时，所述第一模具位于远离第二模具的位置，所述反馈装置提供的附加压力较小；当反馈装置处于第二工作状态时，所述第一模具位于靠近第二模具的位置，所述反馈装置提供的附加压力较大。2.根据权利要求1所述的一种用于管状靶材的真空烧结系统,其特征在于，所述第二压盖(4)包括第二保温壳(41)，所述第二模具为成型模(43)，所述成型模(43)可拆卸地连接至所述第二保温壳(41)；所述第一压盖(3)包括第一保温壳(31)，所述第二模具为施压板(351)，所述第一保温壳(31)与第二保温壳(41)形成的加热腔内设置有加热装置。3.根据权利要求2所述的一种用于管状靶材的真空烧结系统,其特征在于，所述第一保温壳(31)与所述第二保温壳(41)动密封连接，所述加热腔设置有连接至外部抽真空设备的接口。4.根据权利要求2所述的一种用于管状靶材的真空烧结系统,其特征在于，所述恒压装置包括液压缸(21)和第一连接管(22)，所述液压缸(21)底部连通至所述第一连接管(22)的一端，所述第一连接管(22)的另一端连通至液压泵(25)，所述液压泵(25)用于提供稳定压力；所述液压缸(21)包括支撑杆(211)、第一活塞(212)和第二活塞(213)，所述第一活塞(212)与所述第二活塞(213)均固定连接至所述支撑杆(211)，所述第一活塞(212)与所述第二活塞(213)均与所述液压缸(21)的内侧壁动密封连接，所述支撑杆(211)的一端穿过所述第一活塞(212)并贯穿至所述活塞杆的外部，所述支撑杆(211)的输出端固定连接至所述第二保温壳(41)的下端，所述第一活塞(212)的面积大于所述第二活塞(213)的面积，所述第一活塞(212)、第二活塞(213)与液压缸(21)共同形成密闭的容积腔(214)；所述反馈装置包括密封头(42)和第二连接管(26)，所述第二保温壳(41)靠近所述第一保温壳(31)的一端开设有气腔(411)，所述第二保温壳(41)还开设有存液管(412)，所述存液管(412)的一端连通至所述气腔(411)、另一端通过第一形变管(28)连通至所述第二连接管(26)的一端，所述第二连接管(26)的另一端连通至所述容积腔(214)，所述密封头(42)动密封连接至所述气腔(411)，所述密封头(42)与所述气腔(411)共同形成密闭的气室，所述密封头(42)远离所述存液管(412)的一端固定连接有推杆(421)，所述第一保温壳(31)固定连接有定位台(311)，所述定位台(311)与所述推杆(421)抵接配合，所述第一保温壳(31)相对第二保温壳(41)的移动方向与所述密封头(42)的移动方向相互平行；所述第一保温壳(31)相对所述第二保温壳(41)移动时，所述容积腔(214)的体积变化小于所述气室的体积变化。5.根据权利要求1所述的一种用于管状靶材的真空烧结系统,其特征在于，所述机架
(1)包括底板(11)、立板(12)、滑块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐智勇，
申请(专利权)人：株洲火炬安泰新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：