【技术实现步骤摘要】
一种平板探测器及其制作方法
[0001]本专利技术涉及平板探测器领域，尤其是涉及一种平板探测器及其制作方法。
技术介绍
[0002]目前，拍摄脊柱等大尺寸骨骼通常需要使用加大尺寸的x射线平板探测器。
[0003]然而，受制于平板探测器的工艺制作难度和成像性能的限制，一体化制作的平板探测器最大尺寸大约为17英寸
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17英寸，而更大尺寸的探测器通常是将多个一体制作的平板探测器拼接而成的。但，拼接得到的大尺寸平板探测器往往容易产生拼接缺陷，以及对读图及修正算法的要求较高。因而，大尺寸的平板探测器急需一种能保证成像性能的一体化制作方法。
[0004]在实际生产中，即便工艺技术上能够制造出大尺寸的一体化平板探测器，但还会面临驱动能力不足，使制造出的大尺寸一体化平板探测器的成像效果不佳。
[0005]鉴于此，如何制造出成像效果好的大尺寸平板探测器，成为一个亟待解决的技术问题。
技术实现思路
[0006]本专利技术提供一种平板探测器及其制作方法，用以解决现有技术中存在的大尺寸平板探...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平板探测器，其特征在于，包括：衬底基板，所述衬底基板被分割为多个检测区域；呈阵列排布的多个光电检测器，所述多个光电检测器分布在所述多个检测区域内；分别与各所述光电检测器电连接的多条扫描线和多条数据线，所述扫描线和所述数据线在所述多个检测区域被分割的位置断开设置；位于所述扫描线所在层和所述数据线所在层背离所述衬底基板一侧的保护层，所述保护层覆盖所述扫描线、数据线、以及所述扫描线和所述数据线断开的位置，并在所述扫描线和所述数据线断开的位置，与所述扫描线和所述数据线同层设置；对应各所述检测区域的多个驱动电路，所述驱动电路与对应的检测区域内的光电检测器连接的扫描线和数据线电连接。2.如权利要求1所述的平板探测器，其特征在于，还包括：位于所述扫描线所在层和所述保护层之间的至少一层绝缘层，以及位于所述数据线所在层和所述保护层之间的至少一层绝缘层；各所述绝缘层具有覆盖所述扫描线和所述数据线断开的位置的通孔。3.如权利要求2所述的平板探测器，其特征在于，沿着所述衬底基板指向所述保护层的方向，各所述绝缘层的通孔逐层缩小。4.如权利要求2所述的平板探测器，其特征在于，还包括：薄膜晶体管，所述薄膜晶体管的栅极与对应的扫描线电连接，所述薄膜晶体管的第一极与对应的数据线电连接，所述薄膜晶体管的第二极与对应的光电检测器电连接；所述薄膜晶体管的栅极与所述扫描线同层设置，所述薄膜晶体管的第一极和第二极分别均与所述数据线同层设置。5.如权利要求4所述的平板探测器，其特征在于，位于所述扫描线所在层和所述保护层之间的至少一层绝缘层具体包括：栅绝缘层、第一绝缘层、第二绝缘层；位于所述数据线所在层和所述保护层之间的至少一层绝缘层具体包括：所述第一绝缘层和所述第二绝缘层。6.如权利要求2
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5任一项所述的平板探测器，其特征在于，所述扫描线和所述数据线断开位置的断口的长度小于所述至少一层绝缘层中最底层绝缘层的通孔的内径。7.如权利要求1
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5任一项所述的平板探测器，其特征在于，所述扫描线和所述数据线断开位置的断口的长度小于一个光电检测器对应像素的长度。8.一种平板探测器的制作方法，其特征在于，包括：提供一衬底基板，所述衬底基板被分割为多个检测区域；在所述衬底基板上形成原始扫描线和原始数据线，所述原始扫描线和所述原始数据线分别穿过与其相交的所述多个检测区域被分割的位置；在所述衬底基板上形成位于各检测区域内呈阵列排布的光电检测器；将所述原始扫描线和所述原始数据线在所述多个检测区域被分割的位置断开，形成与所述多个检测区域被分割的位置互不交叠的扫描线和数据线；在所述光电检测器背离所述衬底基板的一侧，形成覆盖所述扫描线、数据线、以及所述扫描线和所述数据线断开的位置的保护层；其中，在...
【专利技术属性】
技术研发人员：张敬书，徐帅，赵斌，杜小倩，陈超，范路遥，吴俊宇，赵镇乾，张倩敏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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