异质结电池不良品的返工处理系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种异质结电池不良品的返工处理系统，该返工处理系统包括：粗抛槽，用于对异质结电池不良品进行粗抛处理；第一预清洗槽，用于盛装含有臭氧的酸洗液以对经过粗抛处理后的异质结电池不良品进行第一预清洗处理；第二预清洗槽，用于盛装含有双氧水的碱洗液以对经过第一预清洗处理后的异质结电池不良品进行第二预清洗处理；制绒槽，用于对经过第二预清洗处理后的异质结电池不良品进行制绒处理。该返工处理系统能够有效地去除异质结电池不良品表面的非晶硅薄膜层，提高返工效果，解决了传统的异质结电池不良品的返工工艺中非晶硅层去除不干净的问题。中非晶硅层去除不干净的问题。中非晶硅层去除不干净的问题。

【技术实现步骤摘要】
异质结电池不良品的返工处理系统


[0001]本技术涉及异质结电池生产
，特别是涉及一种异质结电池不良品的返工处理系统。

技术介绍

[0002]异质结电池，又称HJT电池(Hereto
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junction with Intrinsic Thin
‑
layer)，是一种N型单晶双面电池技术，具有结构对称、低温工艺、高开路电压(Voc)、无LlD与PID效应等特点，其制作过程总共分为四个步骤：制绒清洗
→
CVD(非晶硅薄膜沉积)
→
PVD(TCO制备)
→
丝网印刷(电极制备)。
[0003]具体地，首先在N型单晶硅片(c
‑
Si)的正面沉积很薄的本征非晶硅薄膜(i
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a
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Si:H)和p型非晶硅薄膜(p
‑
a
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Si:H)，然后在硅片的背面沉积很薄的本征非晶硅薄膜(i
‑
a
‑
Si:H)和n型非晶硅薄膜(n
‑
a
‑
Si:H)形成背表面场；再通过磁控溅射在电池的两面沉积透明氧化物导电薄膜(TCO)；最后在TCO上制作金属电极。
[0004]其中，CVD沉积非晶硅薄膜是异质结电池的核心工序，在CVD沉积工序中会存在一定的异质结电池不良品。对于这些沉积非晶硅薄膜后的不良品，目前没有比较完善和明确的返工体系。非晶硅后不良品返工首先要去除表面非晶硅层，再进行二次制绒。
[0005]常规的返工方案是直接用现有原硅片制绒清洗流程来返工，返工系统与产线正常硅片制绒系统一致，主要通过制绒粗抛槽KOH药液来去除表面非晶硅层。由于掺硼非晶硅层(p
‑
a
‑
Si:H)和掺磷非晶硅层(n
‑
a
‑
Si:H)在KOH药液下的腐蚀速率存在差异，去除非晶硅层比较困难，容易出现非晶硅层去除不干净造成非晶硅层残留的情况，返工效果不佳。
[0006]因此，急需开发一种新的沉积非晶硅薄膜后异质结电池不良品的返工处理系统，以提高沉积非晶硅薄膜后的异质结电池不良品中非晶硅层的去除效果，提高返工效果。

技术实现思路

[0007]基于此，有必要针对传统的异质结电池不良品的返工工艺中非晶硅层去除不干净的问题，提供一种能够有效去除非晶硅层的异质结电池不良品的返工处理系统。
[0008]为解决上述技术问题，本技术提出如下技术方案：
[0009]一种异质结电池不良品的返工处理系统，所述返工处理系统包括：
[0010]粗抛槽，用于对所述异质结电池不良品进行粗抛处理；
[0011]第一预清洗槽，用于盛装含有臭氧的酸洗液以对经过所述粗抛处理后的所述异质结电池不良品进行第一预清洗处理；
[0012]第二预清洗槽，用于盛装含有双氧水的碱洗液以对经过所述第一预清洗处理后的所述异质结电池不良品进行第二预清洗处理；及
[0013]制绒槽，用于对经过所述第二预清洗处理后的异质结电池不良品进行制绒处理。
[0014]在其中一些实施例中，所述粗抛槽内设有第一加热装置。
[0015]在其中一些实施例中，所述第一预清洗槽内设有第二加热装置。
[0016]在其中一些实施例中，所述第二预清洗槽内设有第三加热装置。
[0017]在其中一些实施例中，所述第一预清洗槽的内腔连接有臭氧进气管。
[0018]在其中一些实施例中，所述制绒槽内设有第四加热装置。
[0019]在其中一些实施例中，所述返工处理系统还包括：
[0020]圆滑处理前清洗槽，用于盛装含有双氧水的碱洗液以对经过所述制绒处理后的所述异质结电池不良品进行圆滑处理前清洗处理。
[0021]在其中一些实施例中，所述圆滑处理前清洗槽内设有第五加热装置。
[0022]在其中一些实施例中，所述返工处理系统还包括：
[0023]圆滑处理槽，用于对经过所述圆滑处理前清洗处理后的所述异质结电池不良品进行圆滑处理。
[0024]在其中一些实施例中，所述返工处理系统还包括：
[0025]表面钝化槽，用于对经过所述圆滑处理后的所述异质结电池不良品进行表面钝化处理。
[0026]在其中一些实施例中，所述圆滑处理槽与所述表面钝化槽直接连接。
[0027]在其中一些实施例中，所述圆滑处理槽内设有第六加热装置。
[0028]在其中一些实施例中，所述表面钝化槽内设有第七加热装置。
[0029]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0030]本技术的返工处理系统，通过在制绒槽的上游设置粗抛槽、第一预清洗槽和第二预清洗槽；在对沉积非晶硅薄膜后的异质结电池不良品进行返工处理时，先将异质结电池不良品置于粗抛槽中进行粗抛处理，去除不良品表面大部分的非晶硅薄膜层；然后将不良品置于第一预清洗槽中，在含有臭氧的酸洗液中进行清洗，去除异质结电池不良品表面残留的非晶硅层和氧化层；再将不良品置于第二预清洗槽中，在含有双氧水的碱洗液中进行清洗，去除不良品表面残余的有机脏污和颗粒物。该返工处理系统可以有效地去除异质结电池不良品表面的非晶硅薄膜层，使异质结电池不良品具有良好的返工效果。
附图说明
[0031]图1为本技术一实施例的返工处理系统的结构框图。
[0032]附图标记说明：
[0033]10、粗抛槽；20、第一预清洗槽；30、第二预清洗槽；40、制绒槽；50、圆滑处理前清洗槽；60、圆滑处理槽；70、表面钝化槽。
具体实施方式
[0034]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0035]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者
隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0036]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0037]除非另有定义，本文所使用的所有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种异质结电池不良品的返工处理系统，其特征在于，所述返工处理系统包括：粗抛槽，用于对所述异质结电池不良品进行粗抛处理；第一预清洗槽，用于盛装含有臭氧的酸洗液以对经过所述粗抛处理后的异质结电池不良品进行第一预清洗处理；第二预清洗槽，用于盛装含有双氧水的碱洗液以对经过所述第一预清洗处理后的异质结电池不良品进行第二预清洗处理；及制绒槽，用于对经过所述第二预清洗处理后的异质结电池不良品进行制绒处理。2.根据权利要求1所述的异质结电池不良品的返工处理系统，其特征在于，所述粗抛槽内设有第一加热装置；和/或所述第一预清洗槽内设有第二加热装置；和/或所述第二预清洗槽内设有第三加热装置。3.根据权利要求1所述的异质结电池不良品的返工处理系统，其特征在于，所述第一预清洗槽的内腔连接有臭氧进气管。4.根据权利要求1所述的异质结电池不良品的返工处理系统，其特征在于，所述制绒槽内设有第四加热装置。5.根据权利要求1至4任一项所述的异质结电池不良品的返工处理系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：张乔林，周守亮，王永洁，余义，苏世杰，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：