一种高精密划片机用吸盘结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精密划片机用吸盘结构，包括吸盘主体和连接套筒，在所述吸盘主体上一体成型有对接套筒，所述对接套筒外径与连接套筒内径相同，且在所述对接套筒外侧设置有对接套环，所述对接套筒插入连接套筒内对接导通，此高精密划片机用吸盘结构，区别于现有技术，通过设计的分体式吸盘主体和连接套筒，并利用扣合连接件的使用，以实现吸盘主体与连接套筒方便且稳定的导通对接，进而在划片机的实际加工使用过程中，可方便的直接更换相应尺寸的吸盘主体，保证方便的适用于各尺寸晶圆的划片裁切加工使用。圆的划片裁切加工使用。圆的划片裁切加工使用。

【技术实现步骤摘要】
一种高精密划片机用吸盘结构


[0001]本技术涉及划片机
，具体为一种高精密划片机用吸盘结构。

技术介绍

[0002]在划片机划切过程中，晶圆在划切时需要固定在吸盘上，在吸盘的表面加工有吸附槽，通过使吸附槽内产生低压真空以将晶圆吸附在吸盘表面。
[0003]在实际生产加工过程中，由于实际晶圆产品具有不同的尺寸，如传统匀胶显影机的制作工艺中具有2寸、3寸、4寸、5寸、6寸、8寸和12寸等不同尺寸的晶圆衬底，然而传统技术中，吸盘是高精密部件且吸盘多为一体式，并且精度要求高，制作中报废率高，使用中易损伤损坏，一体式吸盘装备好后不可拆卸更换，只能做单一尺寸晶圆，为此，我们提出一种高精密划片机用吸盘结构。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高精密划片机用吸盘结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高精密划片机用吸盘结构，包括吸盘主体和连接套筒，在所述吸盘主体上一体成型有对接套筒，所述对接套筒外径与连接套筒内径适配套接，且在所述对接套筒外侧设置有对接套环，所述对接套筒插入连接套筒内对接导通；
[0006]并在所述对接套环和连接套筒之间设置有扣合连接件，在所述对接套筒插入连接套筒时，所述对接套环利用扣合连接件与连接套筒扣合定位。
[0007]作为优选，所述对接套环外径与连接套筒外径适配套接。
[0008]作为优选，在所述对接套筒外侧设置有橡胶套环，以与所述连接套筒内壁接触密封。
[0009]作为优选，在所述对接套环外侧等距开设有多个沿着对接套环径向延伸的扣槽，所述扣合连接件包括有多个等距安装在连接套筒外侧的强力弹片，所述强力弹片与扣槽一一对应，并在所述强力弹片端部均设置有扣座，所述扣座扣入对接套环外侧的扣槽对其进行定位；
[0010]还包括有设置在所述连接套筒上的触发机构，利用所述触发机构可同步触发所有强力弹片取消扣座对扣槽的定位。
[0011]作为优选，在所述连接套筒外侧设置有安装套环，各所述强力弹片等距设置在安装套环上。
[0012]作为优选，所述强力弹片包括有一锥角部和一直板部，其锥角部一端安装在连接套筒上，并向吸盘主体一端延伸，且在延伸时外扩，所述直板部安装在锥角部的自由端，所述扣座安装在直板部的自由端；
[0013]所述触发机构包括套设在连接套筒外侧的顶环，所述顶环同时从各锥角部与连接
套筒之间的缝隙处穿过，以拨动所述顶环来顶动各强力弹片偏转。
[0014]作为优选，在所述顶环上位于两个强力弹片之间的位置均设置有拨块，并在所述拨块表面设置有防滑凸起。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0016]本技术区别于现有技术，通过设计的分体式吸盘主体和连接套筒，并利用扣合连接件的使用，以实现吸盘主体与连接套筒方便且稳定的导通对接，进而在划片机的实际加工使用过程中，可方便的直接更换相应尺寸的吸盘主体，保证方便的适用于各尺寸晶圆的划片裁切加工使用。
附图说明
[0017]图1为本技术整体结构示意图；
[0018]图2为本技术图1平面局剖结构示意图；
[0019]图3为本技术图1局剖结构示意图；
[0020]图4为本技术吸盘主体结构示意图；
[0021]图5为本技术扣合连接件结构示意图；
[0022]图6为本技术触发机构示意图。
[0023]图中：1、吸盘主体；11、对接套筒；12、对接套环；13、橡胶套环；2、连接套筒；3、扣合连接件；31、扣槽；32、强力弹片；321、锥角部；322、直板部；33、扣座；4、触发机构；41、顶环；42、拨块；43、防滑凸起；5、安装套环。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
‑
6，本技术提供一种技术方案：一种高精密划片机用吸盘结构，包括吸盘主体1和连接套筒2，连接套筒2用于将吸盘主体1安装在划片机的定位位置，且内部导通，在吸盘主体1上一体成型有对接套筒11，对接套筒11外径与连接套筒2内径适配套接，且在对接套筒11外侧设置有对接套环12，对接套筒11插入连接套筒2内对接导通；
[0026]并在对接套环12和连接套筒2之间设置有扣合连接件3，在对接套环12外侧等距开设有多个沿着对接套环12径向延伸的扣槽31，扣合连接件3包括有多个等距安装在连接套筒2外侧的强力弹片32，强力弹片32与扣槽31一一对应，并在强力弹片32端部均设置有扣座33，扣座33扣入对接套环12外侧的扣槽31对其进行定位；
[0027]还包括有设置在连接套筒2上的触发机构4，强力弹片32包括有一锥角部321和一直板部322，其锥角部321一端安装在连接套筒2上，并向吸盘主体1一端延伸，且在延伸时外扩，直板部322安装在锥角部321的自由端，扣座33安装在直板部322的自由端；
[0028]触发机构4包括套设在连接套筒2外侧的顶环41，顶环41同时从各锥角部321与连接套筒2之间的缝隙处穿过，以拨动顶环41来顶动各强力弹片32偏转。
[0029]在更换吸盘主体1时，拨动顶环41移动，在其移动过程中，利用锥角部321强制顶动
强力弹片32偏转，此过程中扣座33与扣槽31脱离，直接拔出吸盘主体1即可；
[0030]取出合适尺寸的吸盘主体1后，将其对接套筒11插入连接套筒2，插入过程中，对接套环12与扣座33侧边接触，并强制挤压扣座33带动强力弹片32偏转，在此过程中扣座33会滑动至对接套环12侧边位置，直至扣座33滑动至扣槽31位置时落入扣槽31，并抵接扣槽31侧壁，以对对接套环12进行扣合定位，保证对接套筒11与连接套筒2的稳定导通对接，进而保证方便吸盘主体1方便且稳定的拆装更换使用。
[0031]进一步的，对接套环12外径与连接套筒2外径适配套接，利用此种设计，以保证装置主体外观平整性。
[0032]进一步的，在对接套筒11外侧设置有橡胶套环13，以与连接套筒2内壁接触挤压，从而有效保证吸盘主体1与连接套筒2导通对接时的密封性，进而保证待加工件的未定定位使用。
[0033]进一步的，在连接套筒2外侧设置有安装套环5，各强力弹片32等距设置在安装套环5上，进而通过安装套环5的设计，通过其同步拆装的方式，以有效方便其各强力弹片32在连接套筒2上的拆装。
[0034]进一步的，在顶环41上位于两个强力弹片32之间的位置均设置有拨块42，并在拨块42表面设置有防滑凸起43，以有效方便顶环41的拨动移位，从而方便吸盘主体1的拆除使用。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精密划片机用吸盘结构，包括吸盘主体（1）和连接套筒（2），其特征在于：在所述吸盘主体（1）上一体成型有对接套筒（11），所述对接套筒（11）外径与连接套筒（2）内径适配套接，且在所述对接套筒（11）外侧设置有对接套环（12），所述对接套筒（11）插入连接套筒（2）内对接导通；并在所述对接套环（12）和连接套筒（2）之间设置有扣合连接件（3），在所述对接套筒（11）插入连接套筒（2）时，所述对接套环（12）利用扣合连接件（3）与连接套筒（2）扣合定位。2.根据权利要求1所述的一种高精密划片机用吸盘结构，其特征在于：所述对接套环（12）外径与连接套筒（2）外径适配套接。3.根据权利要求2所述的一种高精密划片机用吸盘结构，其特征在于：在所述对接套筒（11）外侧设置有橡胶套环（13），以与所述连接套筒（2）内壁接触密封。4.根据权利要求3所述的一种高精密划片机用吸盘结构，其特征在于：在所述对接套环（12）外侧等距开设有多个沿着对接套环（12）径向延伸的扣槽（31），所述扣合连接件（3）包括有多个等距安装在连接套筒（2）外侧的强力弹片（32），所述强力弹片（32）与扣槽（31）一一对应，并在所述强力弹片（32）端部均设置有扣座（33），所述扣座（33...

【专利技术属性】
技术研发人员：华洪良，籍伟杰，施勇刚，
申请(专利权)人：江阴丽晶电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：