石英坩埚厚度自动检测装置制造方法及图纸

技术编号:33815723 阅读:21 留言:0更新日期:2022-06-16 10:31
本实用新型专利技术公开了石英坩埚厚度自动检测装置,包括检测机构和固定机构,检测机构设置在检测台支架上,固定机构安装在支架侧面,护栏安装在检测台顶端,检测台上安装槽内安装有传送带;石英坩埚生产完成后移动至厚度检测装置检测台上,在传送带转动带动石英坩埚进入检测台上支架内,支架两侧安装的固定机构液压电机将液压杆推动,使液压杆顶端安装的固定块将石英坩埚固定,防止检测过程中移动,影响检测结果和效率;然后支架顶部安装的检测机构上螺杆在检测电机的带动下,缓慢下移对石英坩埚厚度进行检测,若出现厚度不同,裂缝和气泡等,则提示工作人员,将石英坩埚残次品移除。将石英坩埚残次品移除。将石英坩埚残次品移除。

【技术实现步骤摘要】
石英坩埚厚度自动检测装置


[0001]本技术涉及石英坩埚自动检测
,具体涉及石英坩埚厚度自动检测装置。

技术介绍

[0002]石英坩埚,具有高纯度、耐温性强,尺寸大、精度高、保温性好以及质量稳定等优点,应用越来越广泛,石英坩埚是生产单晶硅的重要设备。在石英坩埚的生产过程中,需要通过检测设备检测石英坩埚的内部是否存在裂缝或裂纹,石英坩埚厚度是否均匀,众所周知,石英坩埚的质地比较脆,容易破碎,尤其是在检测过程中,需要将石英坩埚固定在检测台上,由于现有石英坩埚的体积较大,不方便固定石英坩埚,因此容易使其在检测台上晃动,从而存在使石英坩埚滑落的隐患,同时在全自动检测装置上,石英坩埚在传送带上运输时,为了防止石英坩埚在移动过程中发生位移和滑动,造成破碎,设置安全护栏,对移动中的石英坩埚进行保护,但是常用的护栏为固定式,不能适用不同尺寸大小的石英坩埚的保护,需要可调节的护栏,扩大检测设备的检测范围,提高检测效率和质量,减少资源的浪费,节约成本。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供石英坩埚厚度自动检测装置。
[0004]根据本申请实施例提供的技术方案,石英坩埚厚度自动检测装置,包括检测机构和固定机构,检测机构设置在检测台支架上,固定机构安装在支架侧面,护栏安装在检测台顶端,检测台上安装槽内安装有传送带;石英坩埚生产完成后移动至厚度检测装置检测台上,在传送带转动带动石英坩埚进入检测台上支架内,支架两侧安装的固定机构液压电机将液压杆推动,使液压杆顶端安装的固定块将石英坩埚固定,防止检测过程中移动,影响检测结果和效率;然后支架顶部安装的检测机构上螺杆在检测电机的带动下,缓慢下移对石英坩埚厚度进行检测,若出现厚度不同,裂缝和气泡等,则提示工作人员,将石英坩埚残次品移除。
[0005]检测机构包括螺杆、检测电机和厚度检测器,螺杆安装在支架顶端,螺杆一端连接检测电机,另一端连接厚度检测器,厚度检测器为超声波检测器;通过检测机构上超声波检测器,对石英坩埚进行检测,提高检测速度和效率。
[0006]固定机构包括液压电机、固定块、液压杆和回复件,液压电机安装在支架侧面,液压杆一端连接液压电机,另一端连接固定块,回复件安装在液压杆上;通过液压电机带动液压杆移动,将液压杆顶端连接的固定块将石英坩埚固定,同时在液压杆上设置回复件,在检测结束后,固定块回复,防止液压杆卡住后,影响对石英坩埚的固定和检测。
[0007]护栏包括支撑杆A、保护杆、支撑杆B、固定器A和固定器B,保护杆两端设置有保护机构,保护机构包括支撑杆A、支撑杆B、固定器A和固定器B。护栏有四个,分别设置在检测台上支架两侧,支撑杆A安装在检测台上,支撑杆B通过固定器A与支撑杆A垂直连接,固定器B
安装在支撑杆B上,保护杆与支撑杆B连接,支撑杆B为伸缩式支撑杆;通过在护栏上设置可调节高度和长度的保护机构,使检测机构适用不同大小的石英坩埚的保护,防止在自动检测装置传送带上移动时,石英坩埚发生位移、滑动,造成损坏。
[0008]固定块一侧呈弧形结构。
[0009]固定机构有两侧,呈对称状设置在支架两侧。
[0010]液压杆为液压伸缩杆。
[0011]回复件为金属材质弹簧。
[0012]综上所述,本申请的有益效果:
[0013]一、固定机构,通过液压电机带动液压杆移动,将液压杆顶端连接的固定块将石英坩埚固定,防止检测过程中移动,影响检测结果和效率,同时在液压杆上设置回复件,在检测结束后,固定块回复,防止液压杆卡住后,影响对石英坩埚的固定和检测;
[0014]二、护栏,通过在护栏上设置可调节高度和长度的保护机构,使检测机构适用不同大小的石英坩埚的保护,防止在自动检测装置传送带上移动时,石英坩埚发生位移、滑动,造成损坏。
附图说明
[0015]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0016]图1为本技术整体结构示意图;
[0017]图2为本技术前视结构示意图;
[0018]图3为本技术固定机构结构示意图;
[0019]图4为本技术护栏与检测台连接结构示意图;
[0020]图5为本技术护栏结构示意图。
[0021]图中标号:检测机构

1、支架

2、固定机构

3、护栏

4、传送带

5、检测台

6、螺杆

1.1、检测电机

1.2、厚度检测器

1.3、固定块

3.1、液压电机

3.2、液压杆

3.3、回复件

3.4、支撑杆A

4.1、保护杆

4.2、支撑杆B

4.3、固定器A

4.4、固定器B

4.5。
具体实施方式
[0022]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术,而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0023]需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0024]如图1所示,石英坩埚厚度自动检测装置,石英坩埚生产完成后移动至厚度检测装置检测台6上,在检测台6上设置的传送带5转动,带动石英坩埚进入检测台6上支架2内,支架2两侧安装的固定机构3液压电机3.2将液压杆3.3推动,使液压杆3.3顶端安装的固定块3.1将石英坩埚固定,防止检测过程中移动,影响检测结果和效率;然后支架2顶部安装的检测机构1上螺杆1.1在检测电机1.2的带动下,缓慢下移对石英坩埚厚度进行检测,若出现厚度不同,裂缝和气泡等,则提示工作人员,将石英坩埚残次品移除。
[0025]如图2所示,检测机构1上厚度检测器1.3为超声波检测器,通过超声波检测器的发射器和接收器,对石英坩埚厚度进行检测,厚度检测器1.3通过检测电机1.2带动螺杆1.1在支架2上上下移动,对石英坩埚进行全角度全高度检测,提高检测速度和效率。
[0026]如图3所示,石英坩埚通过传送带5移动至支架2内后,液压电机3.2带动液压杆3.3移动,将液压杆3.3顶端连接的固定块3.1将石英坩埚固定,防止检测过程中移动,影响检测结果和效率。同时在液压杆3.3上设置有回复件,在检测结束后,固定块3.1回复,防止液压杆3.3卡住后,影响对石英坩埚的固定和检测。
[0027]如图5所示,在石英坩埚移动过程中,通过设置在检测台6两侧的护栏4将传送带5上的石英坩埚进行保护,防止自动检测装置传送带5上移动时,石英坩埚发生位移、本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.石英坩埚厚度自动检测装置,包括检测机构(1)和固定机构(3),其特征是:所述检测机构(1)设置在检测台(6)支架(2)上,所述固定机构(3)安装在所述支架(2)侧面,护栏(4)安装在所述检测台(6)顶端,所述检测台(6)上安装槽内安装有传送带(5);所述固定机构(3)包括液压电机(3.2)、固定块(3.1)、液压杆(3.3)和回复件(3.4),所述液压电机(3.2)安装在支架(2)侧面,所述液压杆(3.3)一端连接所述液压电机(3.2),另一端连接所述固定块(3.1),所述回复件(3.4)安装在所述液压杆(3.3)上;所述护栏(4)包括支撑杆A(4.1)、保护杆(4.2)、支撑杆B(4.3)、固定器A(4.4)和固定器B(4.5),所述支撑杆A(4.1)安装在所述检测台(6)上,所述支撑杆B(4.3)通过固定器A(4.4)与支撑杆A(4.1)垂直连接,所述固定器B(4.5)安装在所述支撑杆B(4.3)上,所述保护杆(4.2)与所述支撑杆B(4.3...

【专利技术属性】
技术研发人员:贾建亮贾建恩孙艳孙丽娜贾建敏
申请(专利权)人:廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司
类型:新型
国别省市:

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