【技术实现步骤摘要】
一种超纯氨制备系统中脱重精馏装置
[0001]本技术涉及一种超纯氨制备系统中脱重精馏装置。
技术介绍
[0002]超纯氨作为重要的特种气体之一，已被广泛用于电子电气、国防工业和科学研究等领域。超纯氨是微电子领域的重要原材料、在液晶面板和太阳能电池等领域也有大规模应用、还是制备三氟化氮与氮化硅的基础材料。随着国内微电子产业规模及设备规模的不断扩大，国产超纯氨的用量大规模攀升。
[0003]超纯氨生产常用的产业化工艺路线主要有吸附工艺、低压精馏工艺、中压精馏工艺。目前中压精馏工艺，运行稳定，运行成本低，单套装置规模较大，操作要求较高。其中，超纯氨制备系统中脱重精馏塔处理装置（见图1）生产过程中，脱重精馏塔进料口通入浓度大于99.8%，水分含量为19 ppm，温度为49℃~52℃的氨气，在脱重精馏塔中同时多次进行部分气化、部分冷凝。气液两相在塔内实现传热传质分离，经过反复的气液交换，将氨气与水分等重组分进行分离；脱重精馏塔的塔顶少量连续排放，以防止前序步骤中过来的微量的轻组分在塔顶聚集。生产过程中，所需要脱除的液氨、水、油...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超纯氨制备系统中脱重精馏装置，包括脱重精馏塔，其特征在于，所述脱重精馏塔的塔底与再沸器相连通，脱重精馏塔的塔顶与冷凝器相连通，所述再沸器的顶部和底部以及脱重精馏塔的塔底分别与氮气吹扫管路相连通，再沸器的底部以及脱重精馏塔的塔底还分别与吸收塔相连通，所述脱重精馏塔的塔底还连通有废氨处理装置。2.根据权利要求1所述的一种超纯氨制备系统中脱重精馏装置，其特征在于，所述脱重精馏塔设置有进料口。3.根据权利要求1或2所述的一种超纯氨制备系统中脱重精馏装置，其特征在于，所述再沸器设置有热水进口和冷水出口...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗利生，殷玲，高兆林，
申请(专利权)人：福建久策气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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